CTI Cryo-Torr CT-400 Cryopump 15k Charcoal Array Kit.
Kit de baie 15K uniquement
Il s'agit d'un kit de remplacement 15k Charcoal Array pour une pompe cryogénique CTI Cryo-Torr CT-400.
Les pompes CTI-Cryogenics Cryo-Torr CT-400 sont l'un des deux principaux composants du système de pompage Cryo-Torr. Le deuxième composant est le compresseur (également vendu sur ce site). La cryopompe Cryo-Torr CT-400 permet un pompage rapide et propre de tous les gaz dans la plage de 10-3 à 10-9 Torr. Les applications standard incluent les semi-conducteurs, l'aérospatiale et le revêtement sous vide ainsi que la R&D.
La pompe cryogénique fonctionne sur le principe que les gaz peuvent être condensés et maintenus à des pressions de vapeur extrêmement basses, atteignant des vitesses et des débits élevés. Cette pompe est une unité hautement fiable et robuste qui nécessite un minimum d'entretien. Étant donné que la cryo-pompe n'expose aucune pièce mobile, fluide de fonctionnement ou pompe auxiliaire au vide, la possibilité de contamination du système ou du processus par la cryo-pompe elle-même est éliminée.
Les procédures de description, d'installation, de régénération et de maintenance sont couvertes dans le fichier .pdf dans la section de téléchargement sur le côté.