Module Edwards Novellus C3 Micro TIM
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Novellus C3 Micro TIM fournit une interface d'outil aux plates-formes Novellus C3 pour les pompes sèches avec un slot MicroTIM. Un module Novellus C3 Micro TIM peut être utilisé pour assurer le contrôle et la surveillance d'une variété de pompes Edwards par votre Process Tool, en utilisant l'interface numérique parallèle. Le Novellus C3 Micro TIM est compatible avec les pompes Edwards suivantes.
- Série EPX
- Série iGX
- Série GX
- Série iXH
- Série iXL
- Également à utiliser sur les systèmes multi-pompes avec un contrôleur de système.
Lorsque ces modules existent déjà, ils peuvent être utilisés pour assurer le contrôle et la surveillance de la pompe par votre outil de traitement ou tout autre équipement de contrôle.
Consultez les manuels Micro TIM ou iTIM.pdf dans notre section de téléchargement à gauche pour les informations d'entrée de connexion parallèle et de compatibilité.