Pompe à vide sèche Edwards iXM 200 200-230 VAC 50/60 hz 3 ph. Numéro de pièce Edwards A56106958 L'iXM 200 d'Edwards est une nouvelle gamme de pompes sèches conçues pour la fabrication écologique. Utilisant une très faible consommation d'énergie, le mécanisme de racines efficace a été développé pour réduire considérablement la puissance d'entrée à 1,3 kW, soit 60 % de moins que la génération précédente de pompes sèches, réduisant ainsi l'impact environnemental et le coût de possession. La technologie de barrière aux gaz et les améliorations de la conception thermique permettent une résistance à la corrosion quatre fois supérieure à celle des produits de la série iH. Les fonctionnalités avancées de manipulation de la poudre signifient que l'iXM offrira une fiabilité maximale et une durée de vie prolongée de la pompe pour les processus de gravure multicouche et une consommation d'énergie réduite pour les processus CVD. Les pompes Edwards iXM série 200 sont compactes et de conception légère, combinées à un bruit et des vibrations exceptionnellement faibles, font d'iXM la pompe sèche la plus polyvalente de la gamme Edwards. iXM transformera vos attentes en matière de technologie de pompe à vide sèche, offrira de réels avantages et une disponibilité accrue, avec un impact environnemental minimal. Les pompes iXM sont conçues pour être utilisées dans la plupart des processus de semi-conducteurs tout en offrant des réductions significatives de la puissance d'entrée. Pour le manuel d'instructions complet, voir Téléchargements sur le côté. CARACTÉRISTIQUES et AVANTAGES : Principalement pour les applications chimiques dures propres à légères (voir le spectre d'application ci-dessous) Vitesse de pompage maximale 200 m3/h-1 (118 CFM) Pression ultime 1,5 X 10-2 Torr Contient uniquement la pompe primaire Aucune maintenance préventive requise 3/8 Pouces Remplissages d'eau à connexion rapide Raccords d'eau et d'alimentation Moitiés d'accouplement Système de refroidissement par eau en acier inoxydable Module de gaz Varimode APPLICATIONS : Transfert de verrouillage de charge Météorologie Lithographie Dépôt physique en phase vapeur Procédé PVD Dépôt physique en phase vapeur Pré-nettoyage PVD Recuit thermique rapide Gravure par décapage/incinération RTA Source d'implants Haute densité Plasma Chemical Vapor Deposition HDP CVD Rapid Thermal Processing RTP Sub-Atmospheric Chemical Vapor Deposition SACVD Tungsten Chemical Vapor Deposition WCVD Modified Chemical-Vapor Deposition MCVD Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition PECVD Low Pressure Chemical Vapor Deposition LPCVD

Pompe à vide sèche Edwards iXM 600 200-230 VAC 50/60 hz 3 ph. Numéro de pièce Edwards A56126958 L'iXM 600 d'Edwards est une nouvelle gamme de pompes sèches conçues pour la fabrication écologique. Utilisant une très faible consommation d'énergie, le mécanisme de racines efficace a été développé pour réduire considérablement la puissance d'entrée à 1,3 kW, soit 60 % de moins que la génération précédente de pompes sèches, réduisant ainsi l'impact environnemental et le coût de possession. La technologie de barrière aux gaz et les améliorations de la conception thermique permettent une résistance à la corrosion quatre fois supérieure à celle des produits de la série iH. Les fonctionnalités avancées de manipulation de la poudre signifient que l'iXM offrira une fiabilité maximale et une durée de vie prolongée de la pompe pour les processus de gravure multicouche et une consommation d'énergie réduite pour les processus CVD. Les pompes Edwards iXM série 600 sont compactes et de conception légère, combinées à un bruit et des vibrations exceptionnellement faibles, font d'iXM la pompe sèche la plus polyvalente de la gamme Edwards. iXM transformera vos attentes en matière de technologie de pompe à vide sèche, offrira de réels avantages et une disponibilité accrue, avec un impact environnemental minimal. Les pompes iXM sont conçues pour être utilisées dans la plupart des processus de semi-conducteurs tout en offrant des réductions significatives de la puissance d'entrée. Pour le manuel d'instructions complet, voir Téléchargements sur le côté. CARACTÉRISTIQUES et AVANTAGES : principalement pour les applications chimiques propres à légères (voir le spectre d'application ci-dessous) Vitesse de pompage maximale 600 m3/h-1 (353 CFM) Pression ultime 3,75 X 10-3 Torr Aucun entretien préventif requis Eau à connexion rapide 3/8" Remplissages Connexion eau et alimentation Moitiés d'accouplement SS Système de refroidissement par eau Module de gaz Varimode APPLICATIONS : Transfert de verrouillage de charge Météorologie Lithographie Dépôt physique en phase vapeur Procédé PVD Dépôt physique en phase vapeur Pré-nettoyage PVD Recuit thermique rapide Gravure par décapage/incinération RTA Source d'implant Plasma haute densité Dépôt chimique en phase vapeur HDP CVD Traitement thermique rapide RTP Dépôt chimique en phase vapeur sous-atmosphérique SACVD Dépôt chimique en phase vapeur de tungstène WCVD Dépôt chimique en phase vapeur modifié MCVD Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma PECVD Dépôt chimique en phase vapeur basse pression LPCVD

Pompe à vide sèche Edwards iXM 1200 200-230 VAC 50/60 hz 3 ph. Numéro de pièce Edwards A56146958 L'iXM 1200 d'Edwards est une nouvelle gamme de pompes sèches conçues pour la fabrication écologique. Utilisant une très faible consommation d'énergie, le mécanisme de racines efficace a été développé pour réduire considérablement la puissance d'entrée à 1,3 kW, soit 60 % de moins que la génération précédente de pompes sèches, réduisant ainsi l'impact environnemental et le coût de possession. La technologie de barrière aux gaz et les améliorations de la conception thermique permettent une résistance à la corrosion quatre fois supérieure à celle des produits de la série iH. Les fonctionnalités avancées de manipulation de la poudre signifient que l'iXM offrira une fiabilité maximale et une durée de vie prolongée de la pompe pour les processus de gravure multicouche et une consommation d'énergie réduite pour les processus CVD. Les pompes Edwards iXM série 1200 sont compactes et de conception légère, combinées à un bruit et des vibrations exceptionnellement faibles, font d'iXM la pompe sèche la plus polyvalente de la gamme Edwards. iXM transformera vos attentes en matière de technologie de pompe à vide sèche, offrira de réels avantages et une disponibilité accrue, avec un impact environnemental minimal. Les pompes iXM sont conçues pour être utilisées dans la plupart des processus de semi-conducteurs tout en offrant des réductions significatives de la puissance d'entrée. Pour le manuel d'instructions complet, voir Téléchargements sur le côté. CARACTÉRISTIQUES et AVANTAGES : principalement pour les applications chimiques propres à légères (voir le spectre d'application ci-dessous) Vitesse de pompage maximale 1030 m3/h-1 (606 CFM) Pression ultime 5,0 X 10-3 Torr Aucun entretien préventif requis Eau à connexion rapide 3/8" Remplissages Connexion eau et alimentation Moitiés d'accouplement SS Système de refroidissement par eau Module de gaz Varimode APPLICATIONS : Transfert de verrouillage de charge Météorologie Lithographie Dépôt physique en phase vapeur Procédé PVD Dépôt physique en phase vapeur Pré-nettoyage PVD Recuit thermique rapide Gravure par décapage/incinération RTA Source d'implant Plasma haute densité Dépôt chimique en phase vapeur HDP CVD Traitement thermique rapide RTP Dépôt chimique en phase vapeur sous-atmosphérique SACVD Dépôt chimique en phase vapeur de tungstène WCVD Dépôt chimique en phase vapeur modifié MCVD Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma PECVD Dépôt chimique en phase vapeur basse pression LPCVD

Terminal d'affichage de pompe Edwards GX, iGX, iXH, iXM et iXL, 5 voies, prise XLR, module d'affichage à clavier portatif. Numéro de pièce Edwards : D37280700 Terminal d'affichage de pompe Edwards GX, iGX, iXH, IXM et iXL Prise XLR 5 voies. Afficheur portatif pour les systèmes de pompes sèches Edwards GX, iGX et iXL120 avec connexion XLR 5 voies. Numéro de pièce de l'aspirateur Edwards D37280700.

Module Edwards SPI Micro TIMD37360310Le module SPI Micro TIM fournit une interface d'outil Edwards SPI pour les pompes sèches avec un emplacement Micro TIM. Un module SPI Micro TIM peut être utilisé pour assurer le contrôle et la surveillance d'une variété de pompes Edwards par votre Process Tool, en utilisant l'interface numérique parallèle. Le SPI Micro TIM est compatible avec les pompes Edwards suivantes. Série EPX Série iGX Série GX Série iXH Série iXL Également pour une utilisation sur des systèmes multi-pompes avec un contrôleur de système. Lorsque ces modules existent déjà, ils peuvent être utilisés pour assurer le contrôle et la surveillance de la pompe par votre outil de traitement ou tout autre équipement de contrôle. Consultez les manuels Micro TIM ou iTIM.pdf dans notre section de téléchargement à gauche pour les informations d'entrée de connexion parallèle et de compatibilité.

Module Edwards MCM Micro TIMD37360320MCM Le module MicroTIM fournit une interface d'outil Edwards MCM pour les pompes sèches avec un emplacement MicroTIM. Un module MCM Micro TIM peut être utilisé pour assurer le contrôle et la surveillance d'une variété de pompes Edwards par votre Process Tool, à l'aide d'une interface numérique parallèle. Le MCM Micro TIM est compatible avec les pompes Edwards suivantes. Série EPX Série iGX Série GX Série iXH Série iXL Série GXS (version MCM uniquement) Série CXS (version MCM uniquement) Lorsque ces modules existent déjà, ils peuvent être utilisés pour assurer le contrôle et la surveillance de la pompe par votre outil de traitement ou un autre équipement de contrôle. Par exemple, une pompe peut être mise à niveau d'un iH vers un iHs sans changer le module d'interface. Le MCM Micro TIM est compatible AUC avec les pompes des séries GXS et CXS. Équivalent à iH iTIM D37422000 - MCM. Consultez les manuels Micro TIM ou iTIM.pdf dans notre section de téléchargement à gauche pour les informations d'entrée de connexion parallèle et de compatibilité.

Module Edwards TEL Micro TIMD37360330Le module TEL Micro TIM fournit une interface d'outil Edwards TEL pour les pompes sèches avec un emplacement Micro TIM. Un module TEL Micro TIM peut être utilisé pour assurer le contrôle et la surveillance d'une variété de pompes Edwards par votre Process Tool, en utilisant l'interface numérique parallèle. Le TEL Micro TIM est compatible avec les pompes Edwards suivantes. Série EPX Série iGX Série GX Série iXH Série iXL Également pour une utilisation sur des systèmes multi-pompes avec un contrôleur de système. Lorsque ces modules existent déjà, ils peuvent être utilisés pour assurer le contrôle et la surveillance de la pompe par votre outil de traitement ou tout autre équipement de contrôle. Consultez les manuels Micro TIM ou iTIM.pdf dans notre section de téléchargement à gauche pour les informations d'entrée de connexion parallèle et de compatibilité.

Module Edwards Semi E73 Micro TIMD37360340Le module Semi E73 Micro TIM fournit une interface d'outil conforme Semi E73 pour les pompes sèches avec un emplacement MicroTIM. Un module Semi E73 Micro TIM peut être utilisé pour assurer le contrôle et la surveillance d'une variété de pompes Edwards par votre Process Tool, en utilisant l'interface numérique parallèle. Le Semi E73 Micro TIM est compatible avec les pompes Edwards suivantes. Série EPX Série iGX Série GX Série iXH Série iXL Également pour une utilisation sur des systèmes multi-pompes avec un contrôleur de système. Lorsque ces modules existent déjà, ils peuvent être utilisés pour assurer le contrôle et la surveillance de la pompe par votre outil de traitement ou tout autre équipement de contrôle. Consultez les manuels Micro TIM ou iTIM.pdf dans notre section de téléchargement à gauche pour les informations d'entrée de connexion parallèle et de compatibilité.

Module Edwards LAM Alliance Micro TIMD37360350LAM Alliance MicroTIM fournit une interface d'outil aux plates-formes LAM Alliance pour les pompes sèches avec un emplacement MicroTIM. Un module LAM Alliance Micro TIM peut être utilisé pour assurer le contrôle et la surveillance d'une variété de pompes Edwards par votre Process Tool, en utilisant l'interface numérique parallèle. Le LAM Alliance Micro TIM est compatible avec les pompes Edwards suivantes. Série EPX Série iGX Série GX Série iXH Série iXL Également pour une utilisation sur des systèmes multi-pompes avec un contrôleur de système. Lorsque ces modules existent déjà, ils peuvent être utilisés pour assurer le contrôle et la surveillance de la pompe par votre outil de traitement ou tout autre équipement de contrôle. Consultez les manuels Micro TIM ou iTIM.pdf dans notre section de téléchargement à gauche pour les informations d'entrée de connexion parallèle et de compatibilité.

Module Edwards Novellus C3 Micro TIMD37360360Novellus C3 Micro TIM fournit une interface d'outil aux plates-formes Novellus C3 pour les pompes sèches avec un emplacement MicroTIM. Un module Novellus C3 Micro TIM peut être utilisé pour assurer le contrôle et la surveillance d'une variété de pompes Edwards par votre Process Tool, en utilisant l'interface numérique parallèle. Le Novellus C3 Micro TIM est compatible avec les pompes Edwards suivantes. Série EPX Série iGX Série GX Série iXH Série iXL Également pour une utilisation sur des systèmes multi-pompes avec un contrôleur de système. Lorsque ces modules existent déjà, ils peuvent être utilisés pour assurer le contrôle et la surveillance de la pompe par votre outil de traitement ou tout autre équipement de contrôle. Consultez les manuels Micro TIM ou iTIM.pdf dans notre section de téléchargement à gauche pour les informations d'entrée de connexion parallèle et de compatibilité.

Module Edwards Hitachi Micro TIMD37360370Hitachi MicroTIM fournit une interface d'outil Hitachi pour les pompes sèches avec un slot MicroTIM. Un module Hitachi Micro TIM peut être utilisé pour assurer le contrôle et la surveillance d'une variété de pompes Edwards par votre Process Tool, en utilisant l'interface numérique parallèle. Le Hitachi Micro TIM est compatible avec les pompes Edwards suivantes. Série EPX Série iGX Série GX Série iXH Série iXL Également pour une utilisation sur des systèmes multi-pompes avec un contrôleur de système. Lorsque ces modules existent déjà, ils peuvent être utilisés pour assurer le contrôle et la surveillance de la pompe par votre outil de traitement ou tout autre équipement de contrôle. Consultez les manuels Micro TIM ou iTIM.pdf dans notre section de téléchargement à gauche pour les informations d'entrée de connexion parallèle et de compatibilité.

Câble Edwards EMO pour l'installation d'une pompe sèche à semi-conducteurs de la série iXL ou iXH de nouveau style sur un outil avec des pompes de la série iH de style ancien existantes. Ideal Vacuum fournit son propre câble d'interface, qui permet de remplacer une pompe de la série iH de style plus ancien par le style IXL120N, iXH100 ou iXH610. Ce câblage EMO est utile pour les applications où un outil à semi-conducteur a plusieurs pompes iH de style ancien attachées dans la sous-usine. Ce câble de module d'interface continue le circuit EMO à travers les pompes iH de style ancien restantes et à travers la pompe de remplacement iXL120N de nouveau style. Les connexions et les différents modules d'interface sont décrits en détail ci-dessous. Ce câble est généralement connecté de P2 (sortie) d'iTIM sur le côté gauche iH, au connecteur d'arrêt d'urgence (EMS) sur iXL120N, à J1 (entrée) d'iTIM sur le côté droit de la pompe iH (voir les détails dans notre note d'application au format pdf) . Le problème est que les pompes de la série Edwards iH sont désormais abandonnées et ne sont plus disponibles. Ideal Vacuum stocke les pompes de remplacement, iXL120N pour verrouillage de charge, iXH100 (remplace iH80), iXH610 (remplace iH600), etc. La nouvelle pompe iXL120N n'a pas de bouton EMO à l'avant comme les anciennes pompes IH (voir les détails dans notre note d'application). L'iTIM d'Edwards était souvent configuré avec des pompes à vide sèches à semi-conducteurs de la série Edwards iH de style plus ancien, où plusieurs pompes sont connectées à un seul outil à semi-conducteurs dans la sous-fabrication. Le câblage EMO est configuré pour arrêter l'outil si un EMO est pressé sur l'une des pompes de la série iH, ils sont généralement câblés en série, dans une configuration en guirlande.