Vanne de purge turbo Agilent Varian, 20 SCCM KF-16 x M12, convient à la plupart des pompes à vide turbomoléculaires Agilent de taille moyenne, PN 969-9241

Ces vannes de purge turbo Agilent Varian ont un débit fixe de 20 SCCM, un raccord d'alimentation en gaz KF-16 et sont conçues pour fonctionner avec la plupart des pompes à vide turbomoléculaires de taille moyenne dotées d'un filetage d'orifice d'évent M12. Veuillez consulter les deuxième et troisième photos de l'orifice d'évent et le dessin montrant l'installation. Les instructions sont également indiquées dans le manuel du TwisTorr 305 FS à la page 247. La vanne de purge de gaz est un dispositif de protection pour protéger les roulements de la pompe contre les particules et les gaz corrosifs qui pourraient entrer dans la pompe. Chaque valve est fabriquée avec un mince orifice en saphir calibré monté dans une cartouche pour fournir un petit taux de fuite précis, avec deux membranes spéciales en PTFE de chaque côté du tube. Ceci afin d'éviter que des particules, des poudres et des liquides n'entrent et n'obstruent le trou fin. Chaque version de la vanne est adaptée à une application particulière : - la petite fuite (~ 10 sccm à 1000 mbar) pour un fonctionnement légèrement corrosif lorsque la pression partielle du gaz corrosif est de 10-5 mbar maximum (instruments analytiques, implanteurs ioniques) ; - la Grande fuite (~ 20 sccm à 1000 mbar) pour les opérations fortement corrosives (gravure, CVD), lorsque la pression partielle du gaz corrosif est >10-5 mbar. Si vous souhaitez utiliser un débit différent, vous pouvez modifier la pression d'alimentation. Pour une pression d'alimentation donnée, la vanne de purge de gaz peut vous donner une valeur de débit fixe. Veuillez noter que le débit ne dépend pas de la pression côté vide de la vanne. Ces vannes de purge turbo portent la référence Agilent Varian PN 969-9241.

Fonctionne avec les turbopompes Agilent Varian suivantes :

• Twister 74 FS
• Twister 84 FS
• Twist Torr 305 FS
• Twist Torr 305-IC
• Twister 404 FS
• Twister 704 FS
• Twister 804 FS
• Turbo-V 1001