Vanne à guillotine pneumatique à 3 positions UHV idéale pour le vide, étranglée en 3ème position, avec solénoïde et capteurs Reed, 24 V CC, bride CF 10,0 pouces (DN CF200), joint torique standard Viton, corps SUS304

Cette vanne papillon à 3 positions Ideal Vacuum est à commande pneumatique avec une bride Conflat CF 10,0 pouces (DN CF200). Elle possède une 3ème position qui peut être réglée pour une ouverture partielle. Elle est conçue pour un vide ultra-élevé (UHV) et est livrée avec un joint torique Viton standard pour la vanne et un joint torique Viton ou un joint en cuivre OFHC pour le capot avec une électrovanne à commande pneumatique. Les vannes ont une durée de vie typique de 50 000 cycles avant de nécessiter un entretien. Elles sont fabriquées avec des vannes et des corps de vanne en acier inoxydable 304 résistants à la corrosion. Cette commande à 3 positions offre flexibilité et précision dans le maintien de conditions optimales pour divers processus de dépôt sous vide, en particulier dans les systèmes de chambre de traitement de dépôt de couches minces.

Application dans les chambres de revêtement par dépôt physique en phase vapeur
Cette vanne à guillotine à 3 positions est conçue pour des applications fiables à vide élevé et ultra-élevé (UHV) et est souvent utilisée en combinaison avec des pompes à vide cryogénique, turbo et ionique à vide élevé. Elle est de plus en plus utilisée dans les processus à vide étranglé comme le dépôt par pulvérisation magnétron PVD. Dans une chambre de revêtement PVD, comme dans les systèmes de pulvérisation cathodique, une vanne à guillotine à 3 positions est souvent utilisée pour contrôler la connexion entre la pompe turbomoléculaire et la chambre de traitement principale. Ces vannes à guillotine permettent un contrôle précis du système de vide et peuvent isoler la pompe, protéger la chambre et ajuster la vitesse de pompage. Les trois positions d'une vanne à guillotine à 3 positions typique sont :

1. Position entièrement ouverte :
Conductance maximale, vitesse de pompage turbo maximale, utilisée pour l'évacuation initiale ou pour maintenir un vide élevé pendant le dépôt.

2. Partiellement ouvert (position d'étranglement) :
Objectif : En position partiellement ouverte, la vanne à guillotine n'est que partiellement ouverte, limitant la conductance entre la chambre et la turbopompe. La limitation est importante lorsque vous travaillez avec des gaz réactifs (par exemple, l'oxygène ou l'azote dans la pulvérisation réactive) ou lorsque vous devez affiner la pression pour une croissance optimale du film.

Cette position partiellement ouverte est définie et ajustée manuellement une fois lors de l'installation et peut être modifiée à tout moment pour exécuter une condition de processus différente.

3. Position entièrement fermée :
Objectif : En position entièrement fermée, la vanne à guillotine isole complètement la turbopompe de la chambre principale. Cas d'utilisation : Cette position est utilisée pour protéger la turbopompe pendant des processus tels que la ventilation de la chambre, le chargement d'échantillons dans la chambre à sas ou lorsque la chambre est exposée à la pression atmosphérique. Elle empêche les contaminants ou l'air atmosphérique de pénétrer dans la turbopompe, ce qui pourrait l'endommager.

Caractéristiques:
Spécifications et caractéristiques :

• Matériel
• Corps
• SUS304
• Transport
• Type de liaison - SUS304
• Type de boule Taille inférieure à 10" - SUS304
• Type de boule Taille supérieure à 10” (incluse) - SUS304, A6061-T6
• Grille
• Type de liaison - SUS304
• Type de boule Taille inférieure à 10" - SUS304
• Type de boule Taille supérieure à 10" (incluse) - A6061-T6
• Soufflet
• AM350
• Cycle de vie
• HT : DN200 - 300 000 cycles
• UHT : DN200 - 50 000 cycles
• Taux de fuite d'hélium à 1 atm différentiel
• <2×10 ^-9 mbar·l/sec pour joint torique
• <5×10 ^-10 mbar·l/sec pour joint d'étanchéité
• Température de cuisson
• Ouvert - 200 °C Joint de chapeau Viton
• Joint de capot Viton fermé - 150 °C
• Plage de pression (mbar)
• HT : 1x10 ^-8 ~ 1000
• Ultraviolet : ^1x10-10 ~1000
• Delta P maximal (mbar)
• < 30 avant ouverture
• Joint standard
• Porte - Joint torique en Viton
• Capot - Joint torique en Viton ou joint en cuivre OFHC
• Actionneur - Pneumatique
• Alimentation en air comprimé
• Raccord de tube - 6 mm
• Plage de pression - 4-6 kg/cm2 (surpression)
• Traitement de surface - Poli Scotch
• Options
• Indicateur de position
• Électrovanne à commande pneumatique
• Port d'ébauche
• Autre matériau Joint torique de porte

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