Edwards CTI Brooks Cryo-Torr 250F Cryopompe à semi-conducteur à ultra-vide, non embarquée, LF ISO 250, triphasée, reconstruite

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Edwards CTI Brooks Cryo-Torr 250F Cryopompe à semi-conducteur à ultra-vide, LF ISO 250, triphasé, reconstruit, 6500 l/s d'eau, 2200 l/s d'air, 1800 l/s d'argon, reconstruit. Numéro de pièce Edwards CTI Brooks : 8116086G002. La cryopompe triphasée Edwards CTI-Cryogenics (maintenant Edwards) Cryo-Torr OB250F est spécialement conçue et construite pour des performances améliorées et des exigences d'espace restreint pour une utilisation dans l'industrie des semi-conducteurs. Cette cryopompe est équipée d'une bride d'entrée ISO 250 et d'une bride de prévidage standard KF-25. Il est capable de 10-8 Torr ultra-vide (UHV) avec des vitesses de pompage nominales de : Eau ………. 6500 l/s Air ………..…. 2200 l/sec Hydrogène ..…. 3200 l/s Argon ………. 1800 l/sec Cette pompe triphasée Brooks/Edwards CTI Cryo-Torr OB250F fonctionne UNIQUEMENT sur une alimentation triphasée. L'alimentation électrique est fournie par un contrôleur de moteur triphasé spécial CTI. La cryopompe triphasée Cryo-Torr 250F de CTI n'expose aucune pièce mobile, fluide de fonctionnement ou pompe auxiliaire au vide, ce qui élimine la possibilité d'un retour du système ou d'une contamination du processus par la cryopompe elle-même.