Capteur de tube de jauge de mesure de pression de vide à thermocouple Agilent Varian 531, KF16, SS, PN F0472315

Le capteur à tube de jauge à thermocouple Varian 531 fournit une indication précise et continue de la pression totale de 1 x 10-3 torr à 2,0 torr (1X10-3 mbar à 2,7 mbar). Développé pour combiner une fiabilité robuste et des performances exceptionnelles pour la mesure de la pression d'ébauche et de pression initiale. Les vacuomètres à thermocouple Varian 531 sont un capteur de mesure de pression à faible coût. Les capteurs à tube thermocouples Varian 531 offrent une haute résistance aux vibrations. Ce modèle est en acier inoxydable et soudé au laser. Numéro de pièce Varian F0472315.

Manomètres à vide à thermocouple, par Wikiapedia.org
Les jauges de conductivité thermique reposent sur le fait que la capacité d'un gaz à conduire la chaleur diminue avec la pression. Dans ce type de jauge, un filament métallique est chauffé en y faisant passer un courant. Un thermocouple ou un détecteur de température à résistance (RTD) peut ensuite être utilisé pour mesurer la température du filament. Cette température dépend de la vitesse à laquelle le filament perd de la chaleur au profit du gaz environnant, et donc de la conductivité thermique. Une variante courante est la jauge Pirani qui utilise un seul filament de platine comme élément chauffant et RTD. Ces jauges sont précises de 20 Torr à 10-3 Torr (selon le modèle de capteur et de contrôleur acheté). Cependant, ils sont sensibles à la composition chimique des gaz mesurés et sont appelés méthodes de mesure de pression relative, c'est-à-dire qu'ils déterminent la pression indirectement à partir de la propriété de conductivité thermique du milieu gazeux.