Profilomètre à stylet Bruker DektakXT-A, système de mesure de profil de surface DXT. Ce profilomètre à stylet Bruker DektakXT® est un profilomètre à stylet avancé (DXT-A) doté d'une capacité de cartographie et d'analyse de surface automatisée en 3D qui comprend l'assemblage pour des numérisations jusqu'à 200 mm. Il présente une conception de paillasse révolutionnaire qui permet une répétabilité inégalée de 4 Å et une amélioration jusqu'à 40 % des vitesses de numérisation. En plus de toutes les fonctionnalités nécessaires pour collecter des mesures précises de la hauteur de marche et de la rugosité de surface.
Ce système DektakXT-A comprend :- Ordinateur Dell OptiPlex, avec système d'exploitation Win10 Pro et logiciel Bruker Vision64
- Quatre pieds isolés de l'air
- Platine X/Y motorisée avec déplacement de 6 pouces, rotation motorisée à 360 degrés
- comprend un mandrin à vide de 2-3, 4-6 ou 8" en standard avec le système
- LIS 3, capteur à faible inertie avec force de 1 à 15 mg
- Caméra couleur 3,1 Mpixels avec grossissement sélectionnable
- Stylet de démarrage (choisissez 2 um ou 12,5 um)
- Bloc de numérisation optiquement plat avec une longueur de numérisation de 55 mm
- Répétabilité de la hauteur de pas de 4 Å, 1 sigma sur un pas de 1 um
- Couture pour des numérisations jusqu'à 200 mm
- Collecte de cartes 3D et analyse approfondie des données
- Capacités de collecte automatisées avec un nombre illimité d'emplacements
- Garantie d'usine limitée d'un an
Exigences relatives à l'installation Dektak XT, dimensions, poids et charge thermique Le tableau 1 répertorie les exigences d'installation du système DektakXT. Le tableau 2 répertorie ses dimensions, son poids et sa charge thermique. POUVOIR DXT-110V - FONCTIONNEMENT 100/115 VCA
Configurez l'alimentation pour un fonctionnement à 100/115 VCA. Prêt à fonctionner aux États-Unis et dans les pays fonctionnant sur 100/115 volts avec des prises américaines standard à 3 broches.
BOÎTIER ENVIRONNEMENTAL DXT-ENC - Le boîtier environnemental DXT est inclus.
ORDINATEUR Un ordinateur de bureau 64 bits de Bruker est inclus. Dell OptiPlex, système d'exploitation Win10 Pro, processeur 3,2 GHz, Intel Core i5, 4 Go (1x4 Go) de mémoire DDR3L 1600 MHz, disque dur 500 Go avec logiciel d'analyse et d'exploitation Vision64#.
MONITEUR D'ORDINATEUR Un moniteur compatible VGA est requis. Le moniteur DOIT prendre en charge la résolution 1920x1080 à 60 Hz, inclure un port DVI-D et être compatible DisplayPort. Le système n'est pas fourni avec le moniteur et n'est pas inclus dans le prix de base. Cependant, sur demande, un tout nouveau moniteur compatible peut être facturé et fourni.
STADE XY DXT-AUTO - PLATINE MOTORISÉE XY 150 X 150 MM,
PLATINE R DXT-R-AUTO - OPTIONS DE PLATEAU D'ÉCHANTILLONS MOTORISÉ R-THETA DXT-S/A DXT-SET-WVC - ENSEMBLE DE MANDRIN À VIDE POUR WAFER 1 620,00 1 620,00
Ensemble de mandrin à vide pour gaufrettes
Cet ensemble de mandrins à vide pour plaquettes comprend : des mandrins à vide pour plaquettes de 2 à 3 po (838-203), 4 à 6 po (838-189) et 8 po (838-195). Le prix s'ajoute au prix de base du système.
STYLET DE DÉMARRAGE
DXT-STYL-2UM-B - STYLET, LIS 3, 2UM RAD-TYPE B Ce stylet de démarrage avec pointe de stylet de 2 µm de rayon est fourni gratuitement avec ce système pour une utilisation immédiate après l'installation. Il n'inclut pas d'image SEM de la pointe.
PACKAGES D'APPLICATION
DXT-STITCH - CAPACITÉ DE COUTURE La capacité de couture Vision64# permet aux systèmes DXT-A de coudre plusieurs numérisations ensemble, générant une numérisation homogène qui couvre 6 pouces (150 mm) de déplacement motorisé. Elle est particulièrement utile dans la mesure de la contrainte de film 2D sur des plaquettes de silicium et des échantillons de planéité similaire. La capacité de couture est incluse sur ce système avancé DektakXT (DXT-A).
DXT-3D MAP - CAPACITÉ DE CARTOGRAPHIE ET D'ANALYSE 3D La capacité de cartographie 3D Vision64 comprend la visualisation en temps réel des cartes 3D telles qu'elles sont collectées sur les systèmes avancés DXT-A. La cartographie 3D offre la possibilité de générer des ensembles de données 3D de toutes tailles, y compris de grandes cartes à l'aide de la couture. La suite complète d'analyses 3D Vision64 est disponible avec cette capacité pour un filtrage et une manipulation avancés des ensembles de données.
DXT-2D STRESS - CAPACITÉ DE MESURE DE CONTRAINTE 2D La capacité de mesure de contrainte 2D du Vision64 calcule simultanément la contrainte de traction et de compression. En utilisant un ajustement polynomial du 5ème ordre et une constante d'élasticité sélectionnable par l'utilisateur, la capacité de contrainte 2D permet d'obtenir des résultats précis. Elle peut être utilisée en combinaison avec la capacité de couture pour mesurer des zones plus grandes sur des plaquettes plates sur les systèmes DXT-Advanced. Les systèmes commandés avec un mandrin à vide pour plaquettes comprennent des roulements à billes chromés et un aimant à stylo.
DXT-AUTOMATION - COLLECTE AUTOMATISÉE DES MESURES La fonction d'automatisation Vision64 permet la collecte automatique de balayages de lignes et de cartes 3D à plusieurs endroits. Les opérateurs peuvent effectuer une série d'analyses d'un simple clic sur un bouton à l'aide de recettes d'automatisation. Cette fonctionnalité standard DXT-A est avantageuse dans les environnements de contrôle qualité/assurance qualité de production où des mesures répétitives à plusieurs endroits sur un échantillon sont nécessaires.
KIT D'INSTALLATION CLIENT Le DektakXT est conçu pour être auto-installable avec ce kit. Une vidéo d'instruction sera fournie pour guider nos clients dans le déballage, l'installation et la vérification initiale des fonctionnalités du système. Un ensemble supplémentaire de vidéos est fourni pour guider les opérateurs dans la collecte et l'analyse des données. Cet ensemble complet de courtes vidéos permet aux opérateurs de maîtriser rapidement le fonctionnement du DXT et peut être utilisé comme référence tout au long de la durée de vie opérationnelle du système.