Agilent Varian Turbo Purge Valve, 20 SCCM KF-16 x M12, si adatta alla maggior parte delle pompe per vuoto turbomolecolari Agilent di medie dimensioni, PN 969-9241

Queste valvole di spurgo turbo Agilent Varian hanno una portata fissa di 20 SCCM, un raccordo di alimentazione del gas KF-16 e sono progettate per funzionare con la maggior parte delle pompe per vuoto turbomolecolari di medie dimensioni dotate di una filettatura della porta di sfiato M12. Si prega di vedere la seconda e la terza foto della porta di sfiato e il fumetto che mostra l'installazione, le istruzioni sono anche mostrate nel manuale TwisTorr 305 FS a pagina 247. La valvola di spurgo del gas è un dispositivo di protezione per proteggere i cuscinetti della pompa da particolato e gas corrosivi che potrebbero entrare nella pompa. Ogni valvola è realizzata con un sottile orifizio in zaffiro calibrato montato in una cartuccia per fornire una piccola portata di perdita precisa, con due speciali membrane in PTFE su ciascun lato del tubo. Questo per evitare che qualsiasi particolato, polvere e qualsiasi liquido entri e ostruisca il foro sottile. Ciascuna versione della valvola è adatta per una particolare applicazione: - la Piccola perdita (~ 10 sccm a 1000 mbar) per operazioni leggermente corrosive quando la pressione parziale del gas corrosivo è al massimo di 10-5 mbar (strumenti analitici, impiantatori ionici); - la Grande perdita (~ 20 sccm a 1000 mbar) per operazioni fortemente corrosive (incisione, CVD), quando la pressione parziale del gas corrosivo è >10-5 mbar. Se si desidera utilizzare una portata diversa, è possibile modificare la pressione di alimentazione. Per una data pressione di alimentazione, la valvola di spurgo del gas può fornire un valore di portata fisso. Si noti che la portata non dipende dalla pressione del lato vuoto della valvola. Queste valvole di spurgo turbo hanno il numero di parte Agilent Varian PN 969-9241.

Funziona con le seguenti turbopompe Agilent Varian:

• TwisTorr 74FS
• TwisTorr 84FS
• TwisTorr 305FS
• TwisTorr 305-IC
• TwisTorr 404FS
• TwisTorr 704FS
• TwisTorr 804FS
• Turbo-V 1001