Edwards CTI Brooks Cryo-Torr 250F Pompa per criopompa a semiconduttore ad altissimo vuoto, non integrata, LF ISO 250, tre fasi trifase, ricostruita

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Edwards CTI Brooks Cryo-Torr 250F Pompa criogenica a semiconduttore per vuoto ultraelevato, LF ISO 250, trifase trifase, ricostruita, 6500 l/s acqua, 2200 l/s aria, 1800 l/s argon, ricostruita. Numero parte Edwards CTI Brooks: 8116086G002. La pompa criogenica Edwards CTI-Cryogenics (ora Edwards) Cryo-Torr OB250F, trifase, è appositamente progettata e costruita per le migliori prestazioni e i requisiti di spazio ristretto per l'uso nell'industria dei semiconduttori. Questa criopompa ha una flangia di ingresso ISO 250 e una flangia della pompa per vuoto primaria KF-25 standard. È in grado di raggiungere un vuoto ultraelevato (UHV) da 10-8 Torr con velocità di pompaggio nominali di: Acqua ………. 6500 l/sec Aria ………..…. 2200 l/sec Idrogeno .....…. 3200 l/sec Argon ………. 1800 l/sec Questa pompa trifase Brooks/Edwards CTI Cryo-Torr OB250F funziona SOLO con alimentazione trifase. L'energia elettrica è fornita da uno speciale controllore motore trifase CTI. La criopompa trifase CTI Cryo-Torr 250F non espone al vuoto parti in movimento, fluidi operativi o pompe di prevuoto, il che elimina la possibilità di flusso di ritorno del sistema o contaminazione del processo dalla criopompa stessa.