Descrizione

Questo è il nostro sistema di camere di prova per vuoto ad alto vuoto ExploraVAC TVAC, ideale per processi ad alto vuoto e ottimizzato per stabilità e facilità d'uso. Si tratta di un sistema ad alto vuoto completamente integrato, chiavi in mano, caratterizzato da una grande camera a vuoto in acciaio inossidabile saldata a cubo da 20 pollici, una porta incernierata in acciaio inossidabile con oblò e un volume di 4,6 piedi cubi. Il sistema comprende una pompa turbomolecolare Pfeiffer HiPace 300, una pompa per vuoto scroll a secco Edwards nXDS20i e un controller integrato per microioni e manometro Convectron che fornisce misurazioni della pressione della camera di sgrossatura e ad alto vuoto. Questo sistema ExploraVAC TVAC ad alto vuoto può raggiungere una pressione finale di 1x10 ^-7 Torr, pesa 862 libbre e richiede 208-240 V CA monofase, 50/60 Hz, a 19 A.

Le camere ad alto vuoto sono utilizzate per molti processi scientifici e industriali. Gran parte della strumentazione scientifica viene eseguita sotto vuoto, soprattutto quando vengono utilizzati fasci di elettroni o altre particelle cariche. I processi di rivestimento sotto vuoto di precisione, come lo sputtering sotto vuoto, la deposizione fisica in fase di vapore (PVD) e la deposizione chimica in fase di vapore (CVD) vengono utilizzati per applicare rivestimenti ottici o protettivi molto sottili a semiconduttori o substrati ottici rettificati di precisione. L'alto vuoto è necessario anche per i processi di incisione di precisione dei semiconduttori. L'alto vuoto può essere utilizzato per rimuovere acqua o altri vapori residui da campioni estremamente freddi senza deformarli, come nella liofilizzazione di campioni biologici per scopi di imaging. L'alto vuoto è necessario per testare componenti o dispositivi pronti per lo spazio per determinare che non degasseranno se esposti alle pressioni estremamente basse avvertite nello spazio. Consulta il download del PDF del grafico delle prestazioni di seguito per i dati sulle prestazioni di tutte le opzioni.

Configurazione del sistema ad alto vuoto ExploraVAC :

Camera in acciaio inossidabile saldata a cubo da 20 pollici
Porta della camera anteriore in acciaio inossidabile con oblò
Pompa turbomolecolare Pfeiffer HiPace 300
Pompa per vuoto a scorrimento a secco Edwards nXDS20i
QTY2 Porte laterali LF-200 (consentono di aggiungere una varietà di passanti da entrambi i lati della camera)

La serie ExploraVAC di strumenti di test e processo per camere a vuoto termico TVAC crea ambienti precisi offrendo all'operatore il controllo completo sulla pressione e sulla temperatura interna della camera. Sono costruiti pensando all'innovazione. Consentono l'esplorazione del prototipo del dispositivo sotto vuoto durante la fase di ricerca e sviluppo del prodotto e il controllo preciso del processo nella lavorazione di piccoli lotti. Questi strumenti per camere di prova a vuoto termico sono progettati per consentire agli utenti di personalizzare rapidamente gli esperimenti per raccogliere dati diagnostici e di analisi del prodotto poiché il prodotto è soggetto a fattori di stress estremi quali vuoto e temperatura.

Le camere per prove di vuoto termico ExploraVAC TVAC sono completamente configurabili con molte opzioni di sistema disponibili (vedere il configuratore del prodotto sopra).

Opzioni di configurazione del sistema ExploraVAC :

Pompa per sgrossatura (scroll a secco o radici a secco multistadio, varie velocità)
Alto vuoto (varie velocità)
Controllo completo della pressione del vuoto
Piastra riscaldata e raffreddata
Riscaldamento a parete della camera
Illuminazione integrata della camera
Sistema di raffreddamento refrigerato a circuito chiuso o criogenico LN ₂
Controllo software automatizzato
Funzionamento tramite telecomando
Porti di spurgo, scaffali per camere e molto altro ancora

Per ExploraVAC è disponibile un'ampia selezione di camere a vuoto, comprese camere saldate in acciaio inossidabile con dimensioni cubiche (interne) (12, 16, 20 o 24 pollici) o camere modulari Ideal Vacuum Cube™ con dimensioni cubiche (interne) (9, 12 o 24 pollici). Le camere possono essere configurate con porte in alluminio o acciaio inossidabile, con o senza oblò.

L'armadio del sistema ExploraVAC TVAC è dotato di una superficie di controllo del pannello frontale opportunamente angolata con interfaccia a pulsanti LED colorati che controlla tutte le funzioni della camera. I controller e gli indicatori PID sono installati come richiesto per le opzioni selezionate dall'utente. Un PLC gestisce le funzioni del sistema, incluso il sequenziamento di pompe e valvole per cicli di pompaggio efficienti e interblocchi di sicurezza per prevenire danni alle apparecchiature. L'involucro in stile NEMA integrato, accessibile frontalmente, ospita l'elettronica necessaria per il funzionamento del sistema.

È disponibile una spaziosa porta laterale LF-200 per accessori selezionati o progettati dall'utente, come un feedthrough elettronico per il monitoraggio del dispositivo o test di shock, un array di lampade a infrarossi per test di riscaldamento radiante o differenziale di temperatura o un array di lampade a raggi ultravioletti per test di radiazioni ionizzanti . Questo sistema può essere personalizzato per ottenere qualsiasi velocità di aumento desiderata aggiungendo ulteriori pompe per vuoto montate all'esterno dell'armadio.

Sul retro dell'armadio è presente un pannello passante per lo sfiato della camera, lo scarico della pompa e l'opzione del gas di spurgo. Un pannello posteriore feedthrough digitale dispone di più porte, incluso un connettore DB9 per l'esecuzione del sistema in remoto da una workstation o un laptop con Microsoft Windows 10 o 11 con il nostro software Auto Explor ™.

La versione base (senza scadenza) di AutoExplor (P1012102) consente all'utente di controllare manualmente i dispositivi proteggendo il sistema. AutoExplor sequenzia correttamente le pompe e aziona automaticamente le valvole corrette per una determinata richiesta. L'utente può programmare i setpoint di pressione e temperatura, le velocità di rampa, i tempi di assorbimento e lo sfiato (se il sistema è dotato di tali opzioni hardware). Il software fornisce streaming di dati grafici in tempo reale in modo che l'utente possa visualizzare il comportamento del sistema. AutoExplor mantiene un programma interno di manutenzione preventiva e avvisa l'utente quando è necessario intervenire sul sistema. Ad esempio, avvisa quando è necessaria la sostituzione della guarnizione della punta della pompa scroll e quando è necessaria la calibrazione del sensore. Ciò aiuta a mantenere il sistema al massimo delle prestazioni operative. Fornisce inoltre messaggi di guasto ed errore insieme a informazioni specifiche sulla risoluzione dei problemi in caso di guasto del dispositivo in modo che il problema possa essere corretto il prima possibile.

La versione premium di AutoExplor (P1012100) include tutte le funzionalità del pacchetto software di base (sopra) e aggiunge il controllo automatizzato delle ricette, la registrazione dei dati e le funzionalità di esportazione dei registri. È possibile creare ricette di test complesse come un processo passo passo, in cui ogni passo può controllare lo stato di accensione/spegnimento, i setpoint e le velocità di rampa di più dispositivi. È possibile impostare una o più condizioni finali per ogni passaggio della ricetta utilizzando gli operatori logici. La versione premium consente all'utente di generare rapidamente rapporti sui test TVAC ambientali dai file di registro dei dati delle ricette. I registri possono essere esaminati per garantire il raggiungimento dei parametri di processo mirati. La versione premium include anche AutoExplor IP Client , che offre al software la possibilità di essere utilizzato come host in grado di gestire più client di rete esterni, e AutoExplor API (interfaccia di programmazione dell'applicazione), che consente a uno scienziato o un programmatore di integrare uno strumento ExploraVac in la loro suite di test software esistente senza utilizzare l’interfaccia software di AutoExplor . La versione premium deve essere rinnovata ogni anno oppure ritorna alla versione base.

La serie ExploraVAC di camere di prova TVAC a pressione e temperatura controllata è una soluzione perfetta per molte esigenze di test dei prodotti.

Applicazioni di esempio