Valvola a saracinesca a 3 posizioni Ideal Vacuum UHV a comando pneumatico, 3a posizione con strozzatura, con solenoide e sensori Reed, 24 V CC, flangia CF da 10,0 pollici (DN CF200), guarnizione standard O-ring in Viton, 1x10-10 mbar, corpo SUS304, 50.000 cicli Flangia imbullonata CF da 10,0 pollici con filettature UNF da 5/16-24 Questa valvola a saracinesca a 3 posizioni Ideal Vacuum è azionata pneumaticamente con una flangia Conflat CF da 10,0 pollici (DN CF200). Ha una 3a posizione che può essere impostata su parzialmente aperta. È classificata per ultra alto vuoto (UHV) e viene fornita con una guarnizione O-ring in Viton standard per la saracinesca e una guarnizione O-ring in Viton o in rame OFHC per il cofano con una valvola a solenoide controllata pneumaticamente. Le valvole hanno una durata tipica di 50.000 cicli prima di dover essere riparate. Sono realizzate con saracinesche e corpi valvola in acciaio inossidabile 304 resistenti alla corrosione. Questo controllo a 3 posizioni offre flessibilità e precisione nel mantenimento delle condizioni ottimali per vari processi di deposizione sotto vuoto, in particolare nei sistemi di camere di processo di deposizione di film sottili. Applicazione in camere di rivestimento con deposizione fisica da vapore Questa valvola a saracinesca a 3 posizioni è progettata per applicazioni affidabili ad alto e ultra alto vuoto (UHV) e viene spesso utilizzata in combinazione con pompe criogeniche, turbo e ioniche ad alto vuoto. Ha trovato un utilizzo crescente nei processi di vuoto a strozzatura come la deposizione mediante sputtering magnetron PVD. In una camera di rivestimento PVD, come nei sistemi di sputtering, una valvola a saracinesca a 3 posizioni viene spesso utilizzata per controllare la connessione tra la pompa turbo-molecolare e la camera di processo principale. Queste valvole a saracinesca consentono un controllo preciso del sistema di vuoto e possono isolare la pompa, proteggere la camera e regolare la velocità di pompaggio. Le tre posizioni di una tipica valvola a saracinesca a 3 posizioni sono: 1. Posizione completamente aperta: conduttanza massima, velocità di pompaggio turbo completa, utilizzata per l'evacuazione iniziale o quando si mantiene un vuoto elevato durante la deposizione. 2. Parzialmente aperta (posizione di strozzatura): scopo: nella posizione parzialmente aperta, la valvola a saracinesca è solo parzialmente aperta, strozzando la conduttanza tra la camera e la pompa turbo. La strozzatura è importante quando si lavora con gas reattivi (ad esempio, ossigeno o azoto nello sputtering reattivo) o quando è necessario regolare la pressione per una crescita ottimale del film. Questa posizione parzialmente aperta viene impostata e regolata manualmente una volta durante l'installazione e può essere modificata in qualsiasi momento per eseguire una diversa condizione di processo. 3. Posizione completamente chiusa: scopo: nella posizione completamente chiusa, la valvola a saracinesca isola completamente la pompa turbo dalla camera principale. Caso d'uso: questa posizione viene utilizzata per proteggere la pompa turbo durante processi come lo sfiato della camera, il caricamento del campione della camera di carico o quando la camera è esposta alla pressione atmosferica. Impedisce ai contaminanti o all'aria atmosferica di entrare nella pompa turbo, il che potrebbe danneggiarla. Specifiche: Specifiche e caratteristiche: Materiale Corpo SUS304 Carrello Tipo di collegamento - SUS304 Tipo a sfera Dimensioni inferiori a 10" - SUS304 Tipo a sfera Dimensioni superiori a 10" (incluse) - SUS304, A6061-T6 Cancello Tipo di collegamento - SUS304 Tipo a sfera Dimensioni inferiori a 10" - SUS304 Tipo a sfera Dimensioni superiori a 10" (incluse) - A6061-T6 Soffietto AM350 Ciclo di vita HV: DN200 - 300.000 cicli UHV: DN200 - 50.000 cicli Perdite di elio a 1 atm di differenziale <2×10-9 mbar·l /sec per O-ring <5×10-10 mbar·l /sec per guarnizione Temperatura di cottura Aperto - 200 °C Guarnizione del cofano in Viton Chiuso - 150 °C Guarnizione del cofano in Viton Intervallo di pressione (mbar) HV: 1x10-8 ~ 1000 UHV: 1x10-10 ~1000 Delta P massimo (mbar) < 30 prima dell'apertura Guarnizione standard Saracinesca - O-ring in Viton Coperchio - O-ring in Viton o guarnizione in rame OFHC Attuatore - Pneumatico Alimentazione aria compressa Collegamento tubo - 6 mm Campo di pressione - 4-6 Kg/cm2 (sovrapressione) Trattamento superficiale - Scotch Polished Opzioni Indicatore di posizione Elettrovalvola di controllo pneumatico Porta di sgrossatura Altro materiale Guarnizione O-ring della saracinesca Per ulteriori informazioni su questa valvola a saracinesca e altre configurazioni di valvole correlate, consultare i download.

Valvola a saracinesca a 3 posizioni Ideal Vacuum HV a comando pneumatico, 3a posizione con strozzatura, con solenoide e sensori Reed, 24 V CC, flangia ISO-F 200 (DN 200), guarnizione standard O-ring in Viton, 1x10-8 Torr, corpo SUS304, 300.000 cicli Questa valvola a saracinesca a 3 posizioni Ideal Vacuum è azionata pneumaticamente con una flangia ISO-F 200 (DN CF200). Ha una 3a posizione che può essere impostata su parzialmente aperta. È classificata per alto vuoto (HV) e viene fornita con una guarnizione O-ring in Viton standard per la saracinesca e una guarnizione O-ring in Viton o in rame OFHC per il cofano con una valvola solenoide controllata pneumaticamente. Questa valvola a saracinesca flangiata ISO-F utilizza O-ring in Viton per i soffietti e le guarnizioni della piastra del coperchio ed è pertanto limitata ad applicazioni ad alto vuoto (HV) con pressioni massime fino a 1x10-8 Torr. Le valvole hanno una durata tipica di 300.000 cicli prima di dover essere sottoposte a manutenzione. Sono realizzate con saracinesche e corpi valvola in acciaio inossidabile 304 resistenti alla corrosione. Questo controllo a 3 posizioni offre flessibilità e precisione nel mantenimento di condizioni ottimali per vari processi di deposizione sotto vuoto, in particolare nei sistemi di camere di processo di deposizione di film sottili. Applicazione in camere di rivestimento con deposizione fisica da vapore Questa valvola a saracinesca a 3 posizioni è progettata per applicazioni affidabili ad alto vuoto e viene spesso utilizzata in combinazione con pompe criogeniche, turbo e ioniche ad alto vuoto. Ha trovato un utilizzo crescente nei processi di vuoto a strozzatura come la deposizione mediante sputtering magnetron PVD. In una camera di rivestimento PVD, come nei sistemi di sputtering, una valvola a saracinesca a 3 posizioni viene spesso utilizzata per controllare la connessione tra la pompa turbo-molecolare e la camera di processo principale. Queste valvole a saracinesca consentono un controllo preciso del sistema di vuoto e possono isolare la pompa, proteggere la camera e regolare la velocità di pompaggio. Le tre posizioni di una tipica valvola a saracinesca a 3 posizioni sono: 1. Posizione completamente aperta: conduttanza massima, velocità di pompaggio turbo completa, utilizzata per l'evacuazione iniziale o quando si mantiene un vuoto elevato durante la deposizione. 2. Parzialmente aperta (posizione di strozzatura): scopo: nella posizione parzialmente aperta, la valvola a saracinesca è solo parzialmente aperta, strozzando la conduttanza tra la camera e la pompa turbo. La strozzatura è importante quando si lavora con gas reattivi (ad esempio, ossigeno o azoto nello sputtering reattivo) o quando è necessario regolare la pressione per una crescita ottimale del film. Questa posizione parzialmente aperta viene impostata e regolata manualmente una volta durante l'installazione e può essere modificata in qualsiasi momento per eseguire una diversa condizione di processo. 3. Posizione completamente chiusa: scopo: nella posizione completamente chiusa, la valvola a saracinesca isola completamente la pompa turbo dalla camera principale. Caso d'uso: questa posizione viene utilizzata per proteggere la pompa turbo durante processi come lo sfiato della camera, il caricamento del campione della camera di carico o quando la camera è esposta alla pressione atmosferica. Impedisce ai contaminanti o all'aria atmosferica di entrare nella pompa turbo, che potrebbe danneggiarla. Specifiche: Specifiche e caratteristiche: Materiale Corpo SUS304 Carrello Tipo di collegamento - SUS304 Tipo a sfera Dimensioni inferiori a 10" - SUS304 Tipo a sfera Dimensioni superiori a 10" (incluse) - SUS304, A6061-T6 Cancello Tipo di collegamento - SUS304 Tipo a sfera Dimensioni inferiori a 10" - SUS304 Tipo a sfera Dimensioni superiori a 10" (incluse) - A6061-T6 Soffietto AM350 Ciclo di vita HV: DN200 - 300.000 cicli UHV: DN200 - 50.000 cicli Perdite di elio a 1 atm di differenziale <2×10-9 mbar·l /sec per O-ring <5×10-10 mbar·l /sec per guarnizione Temperatura di cottura Aperto - 200 °C Guarnizione del coperchio in Viton Chiuso - 150 °C Guarnizione del coperchio in Viton Intervallo di pressione (mbar) HV: 1x10-8 ~ 1000 UHV: 1x10-10 ~1000 Delta P massimo (mbar) < 30 prima dell'apertura Guarnizione standard Saracinesca - O-ring in Viton Coperchio - O-ring in Viton o guarnizione in rame OFHC Attuatore - Pneumatico Alimentazione aria compressa Collegamento tubo - 6 mm Campo di pressione - 4-6 Kg/cm2 (sovrapressione) Trattamento superficiale - Scotch Polished Opzioni Indicatore di posizione Elettrovalvola di controllo pneumatico Porta di sgrossatura Altro materiale Guarnizione O-ring della saracinesca Per ulteriori informazioni su questa valvola a saracinesca e altre configurazioni di valvole correlate, consultare i download.