Valvola a saracinesca pneumatica ad alta tensione a 3 posizioni Ideal Vacuum, flangia ISO-F 200, (DN 200), 3a posizione strozzata, con solenoide e sensori Reed, 24 V CC, guarnizione standard O-ring in Viton, corpo in acciaio inox SUS304

Questa valvola a saracinesca a 3 posizioni Ideal Vacuum è azionata pneumaticamente con una flangia ISO-F 200 (DN CF200). Ha una terza posizione che può essere impostata su parzialmente aperta. È classificata per alto vuoto (HV) e viene fornita con una guarnizione O-ring Viton standard per la saracinesca e una guarnizione O-ring Viton o in rame OFHC per il cappello con una valvola solenoide a controllo pneumatico. Questa valvola a saracinesca flangiata ISO-F utilizza guarnizioni O-ring Viton per i soffietti e le guarnizioni della piastra del cappello ed è quindi limitata ad applicazioni ad alto vuoto (HV) con pressioni massime fino a 1x10 ^-8 Torr. Le valvole hanno una durata tipica di 300.000 cicli prima di dover essere sottoposte a manutenzione. Sono realizzate con saracinesche e corpi valvola in acciaio inossidabile 304 resistenti alla corrosione. Questo controllo a 3 posizioni fornisce flessibilità e precisione nel mantenimento di condizioni ottimali per vari processi di deposizione sotto vuoto, in particolare nei sistemi di camere di processo di deposizione di film sottili.

Applicazione in camere di rivestimento per deposizione fisica da vapore
Questa valvola a saracinesca a 3 posizioni è progettata per applicazioni affidabili ad alto vuoto e viene spesso utilizzata in combinazione con pompe criogeniche, turbo e ioniche ad alto vuoto. Ha trovato un utilizzo crescente nei processi a vuoto strozzato come la deposizione PVD magnetron sputtering. In una camera di rivestimento PVD, come nei sistemi di sputtering, una valvola a saracinesca a 3 posizioni viene spesso utilizzata per controllare la connessione tra la pompa turbomolecolare e la camera di processo principale. Queste valvole a saracinesca consentono un controllo preciso del sistema a vuoto e possono isolare la pompa, proteggere la camera e regolare la velocità di pompaggio. Le tre posizioni di una tipica valvola a saracinesca a 3 posizioni sono:

1. Posizione completamente aperta:
Conduttanza massima, massima velocità di pompaggio turbo, utilizzata per l'evacuazione iniziale o quando si mantiene un vuoto elevato durante la deposizione.

2. Parzialmente aperto (posizione di strozzatura):
Scopo: nella posizione parzialmente aperta, la valvola a saracinesca è solo parzialmente aperta, limitando la conduttanza tra la camera e la pompa turbo. La limitazione è importante quando si lavora con gas reattivi (ad esempio, ossigeno o azoto nello sputtering reattivo) o quando è necessario regolare con precisione la pressione per una crescita ottimale della pellicola.

Questa posizione parzialmente aperta viene impostata e regolata manualmente una volta durante l'installazione e può essere modificata in qualsiasi momento per eseguire una condizione di processo diversa.

3. Posizione completamente chiusa:
Scopo: in posizione completamente chiusa, la valvola a saracinesca isola completamente la pompa turbo dalla camera principale. Caso d'uso: questa posizione è utilizzata per proteggere la pompa turbo durante processi come lo sfiato della camera, il caricamento del campione della camera di carico o quando la camera è esposta alla pressione atmosferica. Impedisce ai contaminanti o all'aria atmosferica di entrare nella pompa turbo, il che potrebbe danneggiarla.

Specifiche:
Specifiche e caratteristiche:

• Materiale
• Corpo
• SUS304
• Trasporto
• Tipo di collegamento - SUS304
• Tipo di palla Dimensioni inferiori a 10" - SUS304
• Tipo di sfera Dimensioni superiori a 10" (incluse) - SUS304, A6061-T6
• Cancello
• Tipo di collegamento - SUS304
• Tipo di palla Dimensioni inferiori a 10" - SUS304
• Tipo di palla Dimensioni superiori a 10" (incluse) - A6061-T6
• Soffietto
• AM350
• Ciclo vitale
• HV:DN200 - 300.000 cicli
• UHV:DN200 - 50.000 cicli
• Perdite di elio a 1 atm di differenza
• <2×10 ^-9 mbar·l /sec per O-ring
• <5×10 ^-10 mbar·l /sec per la guarnizione di tenuta
• Temperatura di cottura
• Aperto - 200 °C Guarnizione del cofano in Viton
• Chiuso - 150 °C Guarnizione cofano Viton
• Campo di pressione (mbar)
• Alta tensione: 1x10 ^-8 ~ 1000
• Altoparlante: 1x10 ^-10 ~1000
• Delta P massimo (mbar)
• < 30 prima dell'apertura
• Sigillo standard
• Cancello - O-ring in Viton
• Bonnet - O-ring in Viton o guarnizione in rame OFHC
• Attuatore - Pneumatico
• Fornitura di aria compressa
• Collegamento tubo - 6mm
• Campo di pressione - 4-6 Kg/cm2 (sovrapressione)
• Trattamento superficiale - Scotch Polished
• Opzioni
• Indicatore di posizione
• Elettrovalvola di controllo pneumatico
• Porta di sbozzatura
• Altro materiale Guarnizione O-ring di tenuta

Per ulteriori informazioni su questa valvola a saracinesca e altre configurazioni di valvole correlate, consultare i download.