ExploraVAC PVD Box Coater, 20 pollici cubici in acciaio inossidabile, deposizione di metalli da vapore, VMD forense, film sottile di metallo, deposizione di evaporazione termica, co-deposizione, 4 barche termiche, modalità di funzionamento manuale automatica, interfaccia touchscreen Questo sistema di rivestimento sottovuoto a scatola è progettato per il processo di deposizione di metalli da vapore forense (VMD), in particolare lo sviluppo di impronte digitali latenti in un ambiente di laboratorio. La camera è di 20 x 20 x 20 pollici cubici di volume ed è realizzata in acciaio inossidabile. Ha 4 fonti di evaporazione termica: per barche di evaporazione, barre o crogioli. È dotato di molte caratteristiche, tra cui un supporto per substrato rotante da 6 pollici per substrati piatti come tessuti, vetro e carta. Questo è intercambiabile con un mandrino orizzontale per campioni irregolari come bossoli di proiettile, bicchieri d'acqua, coltelli, maniglie delle porte e armi. Ha 2 riscaldatori radianti a piastra di substrato, 2 sensori Inficon QCM, controller di spessore integrato con modalità di processo manuale e automatica. Il processo di deposizione può essere sequenziale o codeposizione a 2 tasche. Altre caratteristiche sono 2 porte di ingresso gas di deposizione reattiva, oblò porta con otturatore a gravità e illuminazione della camera per osservare lo sviluppo delle stampe, otturatori pneumatici per sorgente e substrato, passanti per elettrodi raffreddati ad acqua, meccanismi di sicurezza, indicatori di stato visivi e acustici sotto forma di spie luminose e allarmi. Il sistema include un display touch screen da 15,5" integrato dotato di una versione base non in scadenza del software AutoExplor™, gestito da un computer Windows di bordo in grado di controllare tutte le funzioni della camera e del processo di deposizione. Tutti i componenti elettronici sono certificati UL per il Nord America. Il sistema ha 2 alimentatori da sorgente barca (4kW, 400A), 2 variac - 45A. Il sistema è installato con alimentazione barca apparente diretta, moduli di misurazione della tensione e della corrente di carico e unità display nell'armadio inferiore. Il sistema può vaporizzare metalli comuni per VMD: oro, rame, nichel, zinco, cromo, alluminio. La camera viene pompata grossolanamente da una pompa a spirale a secco Edwards nXDS20i e pompata finemente dalla pompa molecolare turbo Pfeiffer HiPace 300 a una pressione di base di 3 x 10-7 Torr quando opportunamente condizionata. Possiamo personalizzare le ricette per i tuoi processi VMD. Eseguiamo test approfonditi sui tuoi processi prima della spedizione. Su richiesta, viene fornita anche una formazione di persona o virtuale della SOP. Il nostro sistema è dotato di una garanzia standard di un anno. Il tempo di consegna è di 90 giorni dalla conferma dell'ordine di acquisto. ExploraVAC PVD Box Coater, 20 pollici: camera a vuoto in acciaio inox saldata da 20" completamente chiusa con schermi interni 4 sorgenti, 1,0 cc, 2 barche da 4'' - tungsteno, molibdeno, tantalio, barre, crogioli Metalli VMD: Au, Zn, Cu, Ni, Ti, Cr, Al, Sn, Ag, In Supporto/mandrino del substrato rotante Otturatori pneumatici 2 sensori QCM Riscaldatori radianti del substrato Porta con oblò da 6'' con otturatore a gravità Chiusura rapida dello sportello anteriore tramite oblò Illuminazione della camera a LED Display LCD touch screen da 15,5" Pompa per vuoto a spirale a secco Edwards nXDS20i Pompa turbo Pfeiffer HiPace 300 Misurazione e visualizzazione della potenza apparente della barca Potenza della sorgente dell'evaporatore - 4 kVA, 400 A Indicatori visivi e acustici dello stato di esecuzione Meccanismi a prova di guasto Panoramica PVD termico Figura 1. Diagramma schematico dell'evaporazione termica di materiale di destinazione in una barca durante un processo PVD. Evaporazione termica La deposizione fisica da vapore (PVD) è un metodo semplice utilizzato per depositare sottili pellicole di materiale su substrati in un ambiente sotto vuoto. Con questo metodo è possibile depositare sia pellicole metalliche che non metalliche. Durante il processo di deposizione, un materiale viene riscaldato termicamente fino a fondersi e vaporizzare, quindi il vapore si solleva e si condensa su un substrato più freddo, formando una pellicola sottile. Alcuni materiali come il Cr sublimano semplicemente senza fondersi, raggiungendo la pressione di vapore di deposizione ottimale. Il percorso libero medio delle molecole di vapore deve essere sufficientemente lungo da evitare collisioni con i gas residui nella camera. Ciò si ottiene assicurando che la pressione di base scenda al di sotto di una soglia calcolata prima di avviare l'evaporazione. Le nostre camere vengono pompate finemente dalle pompe molecolari turbo Pfeiffer HiPace a meno di 10-7 Torr in pochi minuti, a questa pressione del gas, il percorso libero medio del vapore aumenta oltre i 40 pollici, che è circa quattro volte maggiore della distanza di lancio del processo di deposizione. Ciò garantisce una deposizione efficiente e priva di contaminazione dei nostri sistemi. Un sensore QCM è un comune monitor dello spessore della pellicola incorporato nelle camere PVD per fornire costantemente un feedback sulla velocità di deposizione e sullo spessore della pellicola. Applicazione: Forensics, Fingerprint Mark Imaging mediante deposizione di metalli sotto vuoto (VMD) L'imaging delle impronte digitali è un potente strumento utilizzato dalle forze dell'ordine e da altre agenzie governative e organizzazioni private associate nelle loro indagini criminali forensi. Nella deposizione di metalli sotto vuoto (VMD), una coppia di sottili pellicole metalliche viene utilizzata per rivestire e sviluppare impronte digitali latenti che potrebbero essere presenti su materiali recuperati dalla scena di un crimine. I residui di impronte digitali sono composti principalmente da composti organici come sudore, oli e altre secrezioni corporee. Queste sostanze creano uno strato che è fisicamente e chimicamente diverso da substrati come carta, vetro, tessuti, legno e superfici metalliche. Nella VMD, normalmente la prima pellicola a essere depositata è l'oro, seguita dallo zinco. Anche cromo, argento, stagno, rame, alluminio sono stati utilizzati per sviluppare impronte digitali latenti. Figura 2. (a) Impronte digitali latenti sviluppate da VMD su un bossolo di proiettile, una banconota da un dollaro, un vetro di una finestra e una ricevuta cartacea di un fast food. (b) Immagine al microscopio delle impronte digitali sviluppate che mostra le regioni in cui il DNA può essere estratto per ulteriori analisi forensi. Lo zinco, essendo un metallo, non si lega efficacemente ai materiali organici residui delle impronte digitali. Quindi, nella tecnica VMD per lo sviluppo delle impronte digitali latenti, spesso viene depositata prima una pellicola d'oro principalmente per migliorare l'adesione e il contrasto, dove l'oro crea uno sfondo ad alto contrasto rispetto ai residui delle impronte digitali. L'eccitazione delle pellicole rivestite a un intervallo di 300-400 nm fornisce i migliori risultati visivi dei segni di stampa. Quando viene depositato un secondo strato di metallo (tipicamente zinco), evidenzia le creste dell'impronta digitale aderendo più fortemente alle aree senza residui, creando un modello chiaro e distinto che può essere preso per l'analisi forense. L'oro è anche chimicamente inerte e non reagisce con i residui delle impronte digitali o con i successivi strati di metallo. Ciò aiuta a preservare l'integrità dell'impronta digitale latente, garantendo uno sviluppo e un recupero del DNA accurati e affidabili (Figura 2(b). Figura 3. Impronte digitali su vetro di finestra sviluppate da VMD utilizzando una pila di pellicole di rame e cromo su ExploraVAC PVD Box Coater. L'immagine è stata elaborata da un software di elaborazione delle immagini per migliorare il contrasto. VMD ha dimostrato di essere finora l'unico metodo in grado di sviluppare impronte su tessuti e grandi pezzi di prova come biancheria da letto o reperti invecchiati per diversi mesi come un'arma gettata sott'acqua. Ciò rende questo strumento utile nel tentativo di risolvere casi criminali irrisolti con pezzi di reperti fisici appena scoperti. CATEGORIE DI ARTICOLI POROSO SEMI-POROSO NON POROSO VARIE

Evaporatore termico organico ExploraVAC PVD VLTE, acciaio inossidabile cubico da 20", evaporatore a bassa temperatura di sostanze organiche, deposizione LTE di coloranti organici, deposizione di film sottili organici per strati emissivi OLEDS, 6 crogioli termici. Questo sistema di rivestimento sotto vuoto a scatola è progettato per l'evaporazione a bassa temperatura sotto vuoto e la deposizione di composti organici e organometallici sensibili alla temperatura in un ambiente di laboratorio. La camera è di 20 x 20 x 20 pollici cubici di volume ed è realizzata in acciaio inossidabile. Ha 6 crogioli di evaporazione termica che hanno una capacità di carico di 10 cc e un volume totale di 15 cc. È dotato di molte funzionalità, tra cui un supporto per substrato rotante personalizzato da 6 pollici. Ha 2 sensori Inficon QCM e un controller di spessore Inficon STM-2 integrato con modalità di processo manuale e automatica. È prevista la possibilità di aggiungere riscaldatori radianti per il supporto del substrato, se necessario. Il processo di deposizione può essere sequenziale o di co-deposizione. Altre caratteristiche sono 2 porte di ingresso gas di deposizione reattiva, oblò porta con otturatore a gravità e illuminazione della camera per osservare l'avanzamento del rivestimento, otturatori pneumatici per sorgente e substrato, meccanismi di sicurezza, indicatori di stato visivi e acustici sotto forma di spie luminose e allarmi. Il sistema include un display touch screen da 15,5" integrato dotato di versione base non in scadenza del software AutoExplor™, gestito da un computer Windows di bordo in grado di controllare tutte le funzioni della camera e del processo di deposizione. Tutti i componenti elettronici sono certificati UL per il Nord America. Il sistema è installato con moduli di misurazione della corrente di carico, tensione e alimentazione della bobina del crogiolo apparente diretta e unità di visualizzazione nell'armadio inferiore. Il sistema può vaporizzare materiali organici e organometallici comuni come PMMA, AIQ3, CuPc, MAI, fullerene - C60 e derivati del perilene come PTCDA e PDI. È possibile vaporizzare anche una varietà di precursori organici per la deposizione di materiale dielettrico di SiO2, TiO2, Al2O3, GeO2. La camera viene pompata grossolanamente da una pompa a spirale a secco Edwards nXDS20i e pompata finemente dalla pompa molecolare turbo Pfeiffer HiPace 300 a una pressione di base di 3 x 10-7 Torr quando opportunamente condizionata. Prima della deposizione, i crogioli possono essere riscaldati a 100 °C per asciugare i campioni. È installata una criopompa per intrappolare l'umidità. Ogni tasca del crogiolo in ceramica è avvolta in una serpentina riscaldante dotata di un regolatore di temperatura PID per garantire che non si verifichi alcun surriscaldamento del campione. Possiamo personalizzare le ricette per i tuoi processi VLTE. Eseguiamo test approfonditi sui tuoi processi prima della spedizione. Su richiesta, viene fornita anche una formazione di persona o virtuale della SOP. Il nostro sistema è dotato di una garanzia standard di un anno. Il tempo di consegna è di 90 giorni dalla conferma dell'ordine di acquisto. Evaporatore termico organico ExploraVAC PVD VLTE: camera a vuoto in acciaio inox saldata da 20" completamente chiusa con schermi interni 6 crogioli, capacità di carico di 15,0 cc, 10 cc Intervallo di temperatura del crogiolo: 30 – 800 °C Compatibile con crogioli in allumina, zirconia, tungsteno, grafite, quarzo Supporto per substrato rotante (personalizzato) Otturatori pneumatici 2 sensori QCM Riscaldatori radianti del substrato (opzionali) Porta con oblò da 6'' con otturatore a gravità Chiusura rapida dello sportello anteriore tramite oblò Illuminazione della camera a LED Display LCD touch screen da 15,5" Pompa per vuoto a spirale a secco Edwards nXDS20i Pompa turbo Pfeiffer HiPace 300 Misurazione e visualizzazione della potenza apparente della bobina del crogiolo Potenza massima della bobina: 160 W Controllo della temperatura PID per ciascun crogiolo Indicatori visivi e acustici dello stato di esecuzione Meccanismi a prova di guasto Panoramica della deposizione per evaporazione termica PVD Figura 1. Diagramma schematico della deposizione termica evaporazione del materiale target in una barca durante un processo PVD. Evaporazione termica La deposizione fisica da vapore (PVD) è un metodo semplice utilizzato per depositare sottili pellicole di materiale su substrati in un ambiente sotto vuoto. Con questo metodo è possibile depositare sia pellicole metalliche che non metalliche. Durante il processo di deposizione, un materiale viene riscaldato termicamente fino a fondersi e vaporizzare, quindi il vapore si solleva e si condensa su un substrato più freddo, formando una pellicola sottile. Alcuni materiali come il Cr sublimano semplicemente senza fondersi, raggiungendo la pressione di vapore di deposizione ottimale. Il percorso libero medio delle molecole di vapore deve essere sufficientemente lungo da evitare collisioni con i gas residui nella camera. Ciò si ottiene assicurando che la pressione di base scenda al di sotto di una soglia calcolata prima di avviare l'evaporazione. Le nostre camere vengono pompate finemente dalle pompe molecolari turbo Pfeiffer HiPace a meno di 10-7 Torr in pochi minuti, a questa pressione del gas, il percorso libero medio del vapore aumenta oltre i 40 pollici, che è circa quattro volte maggiore della distanza di lancio del processo di deposizione. Ciò garantisce una deposizione efficiente e priva di contaminazione dei nostri sistemi. Un sensore QCM è un comune monitor dello spessore del film incorporato nelle camere PVD per fornire costantemente un feedback sulla velocità di deposizione e sullo spessore del film. Principio di VLTE per la deposizione di materiali organici L'evaporazione termica a vuoto basso (VLTE) è un metodo utilizzato per depositare sottili film di materiali su substrati in condizioni di vuoto a temperature relativamente basse. Il materiale sorgente viene riscaldato quanto basta per evaporare senza decomporsi o reagire. Quando si tratta di materiali organici, questa tecnica è particolarmente utile perché molti composti organici sono sensibili alle alte temperature e possono degradarsi se esposti a troppo calore. Nella VLTE, il materiale da depositare viene riscaldato in un crogiolo sotto vuoto fino a quando non evapora o sublima. Il materiale non è a diretto contatto con l'elemento riscaldante come nel caso dell'evaporazione termica convenzionale. L'ambiente sotto vuoto riduce il punto di ebollizione del materiale, consentendogli di evaporare a una temperatura inferiore. Questo vapore si condensa quindi sul substrato, formando un film sottile. Per i materiali organici, questo processo è attentamente controllato per prevenire la decomposizione e garantire un film di alta qualità. L'intervallo di temperatura di esercizio del processo VTLE arriva fino a circa 800 °C, al di sopra del quale la maggior parte dei composti organici termicamente stabili inizia a decomporsi modificando la struttura chimica del rivestimento della pellicola, causando difetti della pellicola. Esempi di materiali di rivestimento a film sottile a base organica VLTE Figura 2. Tris(chinolin-8-olato) di alluminio AlQ3AlQ3 è una polvere gialla con un punto di fusione di 410 – 430 °C. AlQ3 è comunemente utilizzato come strato di trasporto di elettroni negli OLED. Facilita il trasporto di elettroni dal catodo allo strato emissivo. AlQ3 può anche fungere da materiale per strato emissivo, dove emette luce in seguito alla ricombinazione di elettroni e lacune. In genere emette luce verde. Figura 3. Derivati del perilene I derivati del perilene sono una classe di composti organici derivati dal perilene, spesso utilizzati nel fotovoltaico organico e nei fotodetector grazie alle loro eccellenti proprietà di trasporto di carica e di emissione di luce. Un esempio di derivato del perilene è il perilene tetracarbossilico dianidride (PTCDA). Il PTCDA è una polvere rosso scuro con un punto di fusione di 403 °C. Viene utilizzato nei transistor organici a effetto di campo (OFET), nei pannelli fotovoltaici organici (OPV) e nei diodi organici a emissione di luce (OLED). Ha un'elevata stabilità termica, una buona mobilità degli elettroni e un forte assorbimento nello spettro visibile. Utilizzato per conferire pigmento rosso ai rivestimenti. Figura 4. Fullerene - C60I fullereni, ad esempio C60, hanno un colore viola intenso e un punto di fusione di ~600 °C (sublime). I fullereni sono comunemente utilizzati come accettori di elettroni nei pannelli fotovoltaici organici, OPV. Accettano elettroni dal materiale donatore, facilitando un'efficiente separazione e trasporto della carica. Hanno un'elevata affinità e mobilità degli elettroni, il che migliora l'efficienza complessiva delle celle solari. Il C60 è anche ampiamente utilizzato nella produzione di celle solari perovskite, fotodetector, diodi organici a emissione di luce (OLED) e transistor organici a effetto di campo (OFET). Figura 5. Polimetilmetacrilato (PMMA)Il PMMA è un polimero termoplastico trasparente utilizzato nei rivestimenti ottici e come materiale resist nella litografia, con una fusione di 160 °C. Il PMMA è ampiamente utilizzato come resist positivo nella litografia a fascio di elettroni. Quando esposto a un fascio di elettroni, il PMMA subisce una scissione a catena, rendendo le aree esposte più solubili in una soluzione di sviluppo. Ciò consente la creazione di modelli ad alta risoluzione sui substrati. Il PMMA può essere utilizzato per formare modelli sui substrati mediante esposizione alla luce UV, seguita da sviluppo per rimuovere le aree esposte. È anche utilizzato come materiale dielettrico in dispositivi elettronici e optoelettronici in cui il PMMA agisce come strato isolante tra strati o componenti conduttivi. Ha il vantaggio di fornire un buon isolamento elettrico e può essere depositato in strati sottili e uniformi. L'eccellente chiarezza ottica e le proprietà di trasmissione della luce del PMMA lo rendono adatto per rivestimenti ottici. Applicazioni: Evaporazione a bassa temperatura di materiali organici (VLTE) 1. Fotovoltaico organico (OPV): I film sottili organici sono utilizzati nelle celle solari per assorbire la luce e convertirla in elettricità. VLTE consente la deposizione precisa di strati attivi, migliorando l'efficienza degli OPV. 2. Transistor a film sottile organico (OTFT): Utilizzati in elettronica flessibile e display. VLTE fornisce strati semiconduttori organici di alta qualità per migliori prestazioni del dispositivo. 3. Sensori: I materiali organici possono essere utilizzati in sensori chimici e biologici. VLTE consente la deposizione di film organici sensibili che possono interagire con analiti target. 4. Laser organici: Sviluppo di laser semiconduttori organici per l'uso in varie applicazioni ottiche. Richiede un controllo preciso sullo spessore e sulla composizione del film organico, ottenibile tramite VLTE. 5. Diodi organici a emissione di luce (OLED): VLTE viene utilizzato per depositare strati organici negli OLED, che sono fondamentali per display e illuminazione. Garantisce pellicole sottili uniformi necessarie per un'emissione di luce efficiente e prestazioni del dispositivo. La disposizione degli strati in un semplice OLED (diodo organico a emissione di luce) può essere descritta come segue, dal basso verso l'alto: Figura 6. Struttura di base del diodo organico a emissione di luce Substrato: è in genere realizzato in vetro o un materiale plastico flessibile, che fornisce supporto meccanico per l'OLED. Anodo: uno strato trasparente, solitamente realizzato in ossido di indio e stagno (ITO), che consente il passaggio della luce e inietta portatori di carica positiva (buchi) nel dispositivo. Strato di trasporto buchi (HTL): questo strato facilita il trasporto dei buchi dall'anodo allo strato emissivo. Strato emissivo (EML): il nucleo dell'OLED in cui viene generata la luce. Questo strato contiene le molecole organiche o i polimeri che emettono luce quando viene applicata una tensione attraverso gli elettrodi. Electron Transport Layer (ETL): questo strato facilita il trasporto di elettroni dal catodo allo strato emissivo. Catodo: uno strato metallico, solitamente costituito da materiali come alluminio o calcio, che inietta elettroni nel dispositivo. Gli OLED (diodi organici a emissione di luce) hanno diverse applicazioni grazie ai loro colori vivaci, all'elevato contrasto, alla flessibilità e all'efficienza energetica. Le applicazioni principali includono: Schermi di visualizzazione: Smartphone: display di fascia alta. Televisori: qualità delle immagini superiore. Dispositivi indossabili: smartwatch e fitness tracker. Monitor: lavoro visivo professionale. Segnaletica digitale: display pubblicitari e informativi pubblici. Display flessibili: schermi pieghevoli e arrotolabili. Riepilogo L'evaporazione termica a vuoto è una tecnica critica per la deposizione di film sottili organici, che offre vantaggi in termini di controllo della temperatura e uniformità del film. Svolge un ruolo fondamentale nella produzione di dispositivi elettronici e optoelettronici organici avanzati, nonostante le sfide legate alla sensibilità dei materiali e alla complessità del processo. L'ottimizzazione e il controllo adeguati dei parametri di deposizione sono essenziali per ottenere film di alta qualità e garantire le prestazioni e l'affidabilità dei dispositivi basati su materiali organici.

Evaporatore termico MBraun - MB Evap S/A, sistema di co-deposizione di film sottile, camera a campana in acciaio inossidabile - 13 x 17 pollici, 4 sorgenti termiche e 2 monitor di spessore Inficon QCM con nuovo Pfeiffer HiPace 300 Turbo, ricondizionato. Questa camera di rivestimento sotto vuoto Mbraun Evap S/A ricondizionata (anno di fabbricazione 2012) è dotata di una nuovissima pompa turbo HiPace 300 e di una nuovissima pompa rotativa per sgrossatura Edwards 12. Lo strumento è in eccellenti condizioni di lavoro. L'interno della camera è stato sabbiato per rimuovere tutti i possibili contaminanti dall'uso precedente. Lo strumento è adatto per l'evaporazione termica di metalli ad alto punto di fusione e dielettrici come oro, titanio e ossidi. Ha una camera a campana in acciaio inossidabile con un diametro di 13" x 17" di altezza. La distanza massima di lancio dell'evaporazione è di 10" con rotazione del supporto del substrato, può essere aumentata a 12" senza gruppo di rotazione del substrato, adatta per la deposizione di metallo lift-off. Il supporto del substrato può contenere un massimo di campioni di dimensioni 4" x 4" con rotazione durante la deposizione o campioni di 6" x 6" senza rotazione. La camera ha 4 fonti di evaporazione termica che hanno una capacità di carico di circa 1 cc ciascuna. Questo evaporatore termico MBraun è dotato di molte funzionalità, tra cui un nuovo supporto del substrato rotante da 4 pollici personalizzato. Ha 2 sensori Inficon QCM e due nuovi cristalli di quarzo installati, un controller di co-deposizione Inficon SQC-310C con modalità di processo manuale e automatica. Il processo di deposizione può essere sequenziale o di co-deposizione. Altre caratteristiche includono una finestra da 6" per osservare l'avanzamento del rivestimento, otturatori pneumatici per sorgente e substrato, meccanismi di sicurezza, una tenda di sicurezza ottica, indicatori di stato visivi e acustici sotto forma di allarmi. Questo evaporatore MBraun è stato prodotto nel 2012 e ha le seguenti caratteristiche e capacità: Camera a campana in acciaio inossidabile (diametro 13" x altezza 17") Le dimensioni dell'utensile sono 48"L x 32"W x 80"H Supporto per substrato rotante da 4" (alimentatore da 24 V CC non incluso) 4 tasche riscaldanti resistive Distanza di lancio dell'evaporazione di 10" Paranco motorizzato per camera a campana 2 sensori di spessore del film QCM e un controller di posizionamento del codice SQC-310C di Inficon Otturatori pneumatici per sorgente e substrato Finestra di visualizzazione da 6" Schermo GUI touchscreen Pompa turbo Pfeiffer HiPace 300 Misurazione e visualizzazione della potenza apparente della barca opzionale (non inclusa) Termocoppia e lettura della temperatura della barca opzionale (multimetro non incluso) Meccanismi di sicurezza, velocità di deposizione, alimentazione, porte, interblocchi di sicurezza del vuoto Esecuzione visiva e audio indicatori di stato Sistema di alimentazione elettrica - 3 x 208 V CA, 60 Hz (3 fasi/N/PE) Carico totale - 16 A 4 fonti di alimentazione per imbarcazioni - 2 kW, temperatura dell'imbarcazione da 30 a 1800 °C Pressione di base 5 x 10-7 Torr, potrebbe essere necessario sostituire il vacuometro a catodo freddo Pfeiffer Pressione di esercizio massima - impostata dall'utente, 5 x 10-3 Torr Materiale, forma e dimensioni del substrato - wafer di Si fino a 4" Velocità di rotazione del substrato - impostata dall'utente Dimensioni delle aste/barre di evaporazione - lunghezza da 1 a 4", capacità di carico di 1 cc Memorizzazione di 100 ricette, la maggior parte delle ricette di deposizione di film metallici già installate Modalità di funzionamento manuale e automatica Materiali dell'imbarcazione - qualsiasi, W, Moly, Ta, crogioli Garanzia limitata di 1 anno Sistema di rivestimento evaporativo MBraun