Modulo Micro TIM Edwards Novellus C3
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Novellus C3 Micro TIM fornisce un'interfaccia strumento alle piattaforme Novellus C3 per pompe a secco con uno slot MicroTIM. È possibile utilizzare un modulo Novellus C3 Micro TIM per fornire il controllo e il monitoraggio di una varietà di pompe Edwards tramite lo strumento di processo, utilizzando l'interfaccia digitale parallela. Novellus C3 Micro TIM è compatibile con le seguenti pompe Edwards.
- Serie EPX
- Serie iGX
- Serie GX
- Serie iXH
- Serie iXL
- Anche per l'uso su sistemi a più pompe con un controller di sistema.
Laddove questi moduli esistono già, possono essere utilizzati per fornire il controllo e il monitoraggio della pompa mediante lo strumento di processo o altre apparecchiature di controllo.
Controlla Micro TIM o iTIM manuals.pdf nella nostra sezione download a sinistra per l'input di connessione parallela e informazioni sulla compatibilità.