Pompa per vuoto a secco Edwards iXM 200 200-230 VAC 50/60 hz 3 ph. Numero parte Edwards A56106958 La Edwards iXM 200 è una nuova gamma di pompe a secco realizzate per la produzione ecologica. Utilizzando un'energia molto bassa, l'efficiente meccanismo Roots è stato sviluppato per ridurre drasticamente la potenza in ingresso a 1,3 kW, il 60% in meno rispetto alla precedente generazione di pompe a secco, riducendo l'impatto ambientale e abbassando i costi di proprietà. La tecnologia della barriera ai gas e i miglioramenti del design termico consentono una resistenza alla corrosione quattro volte superiore rispetto ai prodotti della serie iH. Le avanzate caratteristiche di gestione delle polveri significano che iXM fornirà la massima affidabilità e una maggiore durata della pompa per i processi di attacco multistrato e un consumo energetico ridotto per i processi CVD. Le pompe della serie Edwards iXM 200 sono compatte e dal design leggero, combinate con livelli di rumorosità e vibrazioni eccezionalmente bassi, fanno di iXM la pompa a secco più versatile della gamma Edwards. iXM trasformerà le vostre aspettative sulla tecnologia delle pompe per vuoto a secco, offrendo vantaggi reali e maggiore tempo di attività, con un impatto ambientale minimo. Le pompe iXM sono progettate per l'uso nella maggior parte dei processi di semiconduttori, offrendo allo stesso tempo significative riduzioni della potenza in ingresso. Per il Manuale di istruzioni completo vedere Download a lato. CARATTERISTICHE e VANTAGGI: Principalmente per applicazioni chimiche aggressive da pulite a leggere (vedere lo spettro delle applicazioni di seguito) Velocità di pompaggio di picco 200 m3/h-1 (118 CFM) Pressione massima 1,5 X 10-2 Torr Contiene solo pompa primaria Nessuna manutenzione preventiva richiesta 3/8 pollici Riempimenti acqua a connessione rapida Connessione acqua e alimentazione Metà di accoppiamento Sistema di raffreddamento ad acqua SS Modulo gas Varimode APPLICAZIONI: Blocco del carico Trasferimento Meteorologia Litografia Deposizione fisica in fase di vapore Processo PVD Deposizione fisica in fase di vapore Pre-pulizia PVD Ricottura termica rapida RTA Striscia/incisione con incenerimento Sorgente di impianto ad alta densità Plasma Chemical Vapor Deposition HDP CVD Rapid Thermal Processing RTP Sub-Atmospheric Chemical Vapor Deposition SACVD Tungsteno Chemical Vapor Deposition WCVD Modified Chemical-Vapore Deposition MCVD Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition PECVD Low Pressure Chemical Vapor Deposition LPCVD

Pompa per vuoto a secco Edwards iXM 600 200-230 VAC 50/60 hz 3 ph. Numero parte Edwards A56126958 La Edwards iXM 600 è una nuova gamma di pompe a secco realizzate per la produzione ecologica. Utilizzando un'energia molto bassa, l'efficiente meccanismo Roots è stato sviluppato per ridurre drasticamente la potenza in ingresso a 1,3 kW, il 60% in meno rispetto alla precedente generazione di pompe a secco, riducendo l'impatto ambientale e abbassando i costi di proprietà. La tecnologia della barriera ai gas e i miglioramenti del design termico consentono una resistenza alla corrosione quattro volte maggiore rispetto ai prodotti della serie iH. Le caratteristiche avanzate di gestione delle polveri significano che iXM fornirà la massima affidabilità e una maggiore durata della pompa per i processi di attacco multistrato e un consumo energetico ridotto per i processi CVD. Le pompe Edwards serie iXM 600 sono compatte e dal design leggero, combinate con livelli di rumorosità e vibrazioni eccezionalmente bassi, fanno di iXM la pompa a secco più versatile della gamma Edwards. iXM trasformerà le vostre aspettative sulla tecnologia delle pompe per vuoto a secco, offrendo vantaggi reali e maggiore tempo di attività, con un impatto ambientale minimo. Le pompe iXM sono progettate per l'uso nella maggior parte dei processi di semiconduttori, offrendo allo stesso tempo significative riduzioni della potenza in ingresso. Per il Manuale di istruzioni completo vedere Download a lato. CARATTERISTICHE e VANTAGGI: Principalmente per applicazioni chimiche aggressive da pulite a leggere (vedere lo spettro delle applicazioni di seguito) Velocità di pompaggio massima 600 m3/h-1 (353 CFM) Pressione massima 3,75 X 10-3 Torr Nessuna manutenzione preventiva richiesta Acqua a connessione rapida da 3/8 di pollice Riempimenti Connessione acqua ed energia Metà di accoppiamento SS Sistema di raffreddamento ad acqua Modulo gas Varimode APPLICAZIONI: Caricamento Blocco Trasferimento Meteorologia Litografia Deposizione fisica in fase di vapore Processo PVD Deposizione fisica in fase di vapore PVD Pre-pulizia Rapid Thermal Anneal RTA Strip/Incenerimento Etching Sorgente di impianto Plasma ad alta densità Deposizione chimica in fase di vapore HDP CVD Elaborazione termica rapida RTP Deposizione chimica da vapore sub-atmosferica SACVD Deposizione chimica da vapore di tungsteno WCVD Deposizione chimica da vapore modificata MCVD Deposizione chimica da vapore potenziata dal plasma PECVD Deposizione chimica da vapore a bassa pressione LPCVD

Pompa per vuoto a secco Edwards iXM 1200 200-230 VAC 50/60 hz 3 ph. Numero parte Edwards A56146958 La Edwards iXM 1200 è una nuova gamma di pompe a secco realizzate per la produzione ecologica. Utilizzando un'energia molto bassa, l'efficiente meccanismo Roots è stato sviluppato per ridurre drasticamente la potenza in ingresso a 1,3 kW, il 60% in meno rispetto alla precedente generazione di pompe a secco, riducendo l'impatto ambientale e abbassando i costi di proprietà. La tecnologia della barriera ai gas e i miglioramenti del design termico consentono una resistenza alla corrosione quattro volte superiore rispetto ai prodotti della serie iH. Le avanzate caratteristiche di gestione delle polveri significano che iXM fornirà la massima affidabilità e una maggiore durata della pompa per i processi di attacco multistrato e un consumo energetico ridotto per i processi CVD. Le pompe Edwards serie iXM 1200 sono compatte e dal design leggero, combinate con livelli di rumorosità e vibrazioni eccezionalmente bassi, fanno di iXM la pompa a secco più versatile della gamma Edwards. iXM trasformerà le vostre aspettative sulla tecnologia delle pompe per vuoto a secco, offrendo vantaggi reali e maggiore tempo di attività, con un impatto ambientale minimo. Le pompe iXM sono progettate per l'uso nella maggior parte dei processi di semiconduttori, offrendo allo stesso tempo significative riduzioni della potenza in ingresso. Per il Manuale di istruzioni completo vedere Download a lato. CARATTERISTICHE e VANTAGGI: Principalmente per applicazioni chimiche aggressive da pulite a leggere (vedere lo spettro delle applicazioni di seguito) Velocità di pompaggio massima 1030 m3/h-1 (606 CFM) Pressione massima 5,0 X 10-3 Torr Nessuna manutenzione preventiva richiesta Acqua a connessione rapida da 3/8 di pollice Riempimenti Connessione acqua ed energia Metà di accoppiamento SS Sistema di raffreddamento ad acqua Modulo gas Varimode APPLICAZIONI: Caricamento Blocco Trasferimento Meteorologia Litografia Deposizione fisica in fase di vapore Processo PVD Deposizione fisica in fase di vapore PVD Pre-pulizia Rapid Thermal Anneal RTA Strip/Incenerimento Etching Sorgente di impianto Plasma ad alta densità Deposizione chimica in fase di vapore HDP CVD Elaborazione termica rapida RTP Deposizione chimica da vapore sub-atmosferica SACVD Deposizione chimica da vapore di tungsteno WCVD Deposizione chimica da vapore modificata MCVD Deposizione chimica da vapore potenziata dal plasma PECVD Deposizione chimica da vapore a bassa pressione LPCVD

Terminale display pompa Edwards GX, iGX, iXH, iXM e iXL, 5 vie, connettore XLR, modulo display con tastierino portatile. Numero parte Edwards: D37280700 Terminale display pompa Edwards GX, iGX, iXH, IXM e iXL Spina XLR a 5 vie. Display portatile per sistemi con pompa a secco serie Edwards GX, iGX e iXL120 con connessione XLR a 5 vie. Numero di parte del vuoto Edwards D37280700.

Modulo Edwards SPI Micro TIMD37360310Il modulo SPI Micro TIM fornisce l'interfaccia dello strumento Edwards SPI per le pompe a secco con uno slot Micro TIM. È possibile utilizzare un modulo SPI Micro TIM per fornire il controllo e il monitoraggio di una varietà di pompe Edwards tramite lo strumento di processo, utilizzando l'interfaccia digitale parallela. SPI Micro TIM è compatibile con le seguenti pompe Edwards. Serie EPX Serie iGX Serie GX Serie iXH Serie iXL Anche per l'uso su sistemi multipompa con un controller di sistema. Laddove questi moduli esistono già, possono essere utilizzati per fornire il controllo e il monitoraggio della pompa mediante lo strumento di processo o altre apparecchiature di controllo. Controlla Micro TIM o iTIM manuals.pdf nella nostra sezione download a sinistra per l'input di connessione parallela e informazioni sulla compatibilità.

Modulo Micro TIM MCM EdwardsD37360320Il modulo MicroTIM MCM fornisce l'interfaccia dello strumento MCM Edwards per le pompe a secco con uno slot MicroTIM. È possibile utilizzare un modulo MCM Micro TIM per fornire il controllo e il monitoraggio di una varietà di pompe Edwards tramite lo strumento di processo, utilizzando un'interfaccia digitale parallela. MCM Micro TIM è compatibile con le seguenti pompe Edwards. Serie EPX Serie iGX Serie GX Serie iXH Serie iXL Serie GXS (solo versione MCM) Serie CXS (solo versione MCM) Se questi moduli sono già presenti, possono essere utilizzati per fornire il controllo e il monitoraggio della pompa mediante lo strumento di processo o altre apparecchiature di controllo. Ad esempio, una pompa può essere aggiornata da iH a iHs senza cambiare il modulo di interfaccia. MCM Micro TIM ha compatibilità AUC con le pompe della serie GXS e CXS. Equivalente a iH iTIM D37422000 - MCM. Controlla Micro TIM o iTIM manuals.pdf nella nostra sezione download a sinistra per l'input di connessione parallela e informazioni sulla compatibilità.

Modulo Edwards TEL Micro TIMD37360330Il modulo TEL Micro TIM fornisce l'interfaccia dello strumento Edwards TEL per le pompe a secco con uno slot Micro TIM. È possibile utilizzare un modulo TEL Micro TIM per fornire il controllo e il monitoraggio di una varietà di pompe Edwards tramite lo strumento di processo, utilizzando l'interfaccia digitale parallela. TEL Micro TIM è compatibile con le seguenti pompe Edwards. Serie EPX Serie iGX Serie GX Serie iXH Serie iXL Anche per l'uso su sistemi multipompa con un controller di sistema. Laddove questi moduli esistono già, possono essere utilizzati per fornire il controllo e il monitoraggio della pompa mediante lo strumento di processo o altre apparecchiature di controllo. Controlla Micro TIM o iTIM manuals.pdf nella nostra sezione download a sinistra per l'input di connessione parallela e informazioni sulla compatibilità.

Modulo Micro TIM Edwards Semi E73D37360340Il modulo Micro TIM Semi E73 fornisce un'interfaccia strumento conforme a Semi E73 per pompe a secco con slot MicroTIM. È possibile utilizzare un modulo Micro TIM Semi E73 per fornire il controllo e il monitoraggio di una varietà di pompe Edwards tramite lo strumento di processo, utilizzando l'interfaccia digitale parallela. Il Semi E73 Micro TIM è compatibile con le seguenti pompe Edwards. Serie EPX Serie iGX Serie GX Serie iXH Serie iXL Anche per l'uso su sistemi a più pompe con un controller di sistema. Se questi moduli esistono già, possono essere utilizzati per fornire il controllo e il monitoraggio della pompa mediante lo strumento di processo o altre apparecchiature di controllo. Controlla Micro TIM o iTIM manuals.pdf nella nostra sezione download a sinistra per l'input di connessione parallela e informazioni sulla compatibilità.

Modulo Edwards LAM Alliance Micro TIMD37360350LAM Alliance MicroTIM fornisce un'interfaccia strumento alle piattaforme LAM Alliance per pompe a secco con uno slot MicroTIM. È possibile utilizzare un modulo LAM Alliance Micro TIM per fornire il controllo e il monitoraggio di una varietà di pompe Edwards tramite lo strumento di processo, utilizzando l'interfaccia digitale parallela. LAM Alliance Micro TIM è compatibile con le seguenti pompe Edwards. Serie EPX Serie iGX Serie GX Serie iXH Serie iXL Anche per l'uso su sistemi multipompa con un controller di sistema. Laddove questi moduli esistono già, possono essere utilizzati per fornire il controllo e il monitoraggio della pompa mediante lo strumento di processo o altre apparecchiature di controllo. Controlla Micro TIM o iTIM manuals.pdf nella nostra sezione download a sinistra per l'input di connessione parallela e informazioni sulla compatibilità.

Modulo Edwards Novellus C3 Micro TIMD37360360Novellus C3 Micro TIM fornisce un'interfaccia strumento alle piattaforme Novellus C3 per pompe a secco con uno slot MicroTIM. È possibile utilizzare un modulo Novellus C3 Micro TIM per fornire il controllo e il monitoraggio di una varietà di pompe Edwards tramite lo strumento di processo, utilizzando l'interfaccia digitale parallela. Novellus C3 Micro TIM è compatibile con le seguenti pompe Edwards. Serie EPX Serie iGX Serie GX Serie iXH Serie iXL Anche per l'uso su sistemi multipompa con un controller di sistema. Laddove questi moduli esistono già, possono essere utilizzati per fornire il controllo e il monitoraggio della pompa mediante lo strumento di processo o altre apparecchiature di controllo. Controlla Micro TIM o iTIM manuals.pdf nella nostra sezione download a sinistra per l'input di connessione parallela e informazioni sulla compatibilità.

Modulo Edwards Hitachi Micro TIMD37360370Hitachi MicroTIM fornisce l'interfaccia strumento Hitachi per pompe a secco con uno slot MicroTIM. È possibile utilizzare un modulo Hitachi Micro TIM per fornire il controllo e il monitoraggio di una varietà di pompe Edwards tramite lo strumento di processo, utilizzando l'interfaccia digitale parallela. Hitachi Micro TIM è compatibile con le seguenti pompe Edwards. Serie EPX Serie iGX Serie GX Serie iXH Serie iXL Anche per l'uso su sistemi multipompa con un controller di sistema. Laddove questi moduli esistono già, possono essere utilizzati per fornire il controllo e il monitoraggio della pompa mediante lo strumento di processo o altre apparecchiature di controllo. Controlla Micro TIM o iTIM manuals.pdf nella nostra sezione download a sinistra per l'input di connessione parallela e informazioni sulla compatibilità.

Cavo Edwards EMO per l'installazione di una pompa a semiconduttore a secco serie iXL o iXH di nuovo tipo su un attrezzo con pompe serie iH vecchio stile esistenti. Ideal Vacuum fornisce il nostro cavo di interfaccia, che consente la sostituzione di una pompa della serie iH di vecchio stile con lo stile IXL120N, iXH100 o iXH610. Questo cablaggio EMO è utile per le applicazioni in cui uno strumento per semiconduttori ha più pompe iH vecchio stile collegate nel sottofab. Questo cavo del modulo di interfaccia continua il circuito EMO attraverso le rimanenti pompe iH vecchio stile e attraverso la nuova pompa sostitutiva iXL120N. Le connessioni ei diversi moduli di interfaccia sono descritti in dettaglio di seguito. Questo cavo è generalmente collegato da P2 (uscita) di iTIM sul lato sinistro iH, al connettore di arresto di emergenza (EMS) su iXL120N, a J1 (ingresso) di iTIM sulla pompa iH lato destro (vedere i dettagli nella nostra nota applicativa in formato pdf) . Il problema è che le pompe della serie Edwards iH sono ora fuori produzione e non sono più disponibili. Ideal Vacuum dispone delle pompe sostitutive, iXL120N per blocco del carico, iXH100 (sostituisce iH80), iXH610 (sostituisce iH600) e così via. La nuova pompa iXL120N non ha un pulsante EMO sulla parte anteriore come le vecchie pompe IH (vedere i dettagli nella nostra nota applicativa). L'iTIM di Edwards è stato spesso configurato con pompe per vuoto a semiconduttore a secco della serie Edwards iH di vecchio stile, in cui più pompe sono collegate a un singolo utensile a semiconduttore nel sub-fab. Il cablaggio EMO è impostato per arrestare lo strumento se viene premuto un EMO su una qualsiasi delle pompe della serie iH, in genere sono cablati in serie, in una configurazione a margherita.