Pompe a sublimazione in titanio Agilent Varian (TSP) Filamento 2,75 in flangia Conflat. Codice 9160050

La cartuccia TSP è fornita su una flangia ConFlat OD 2-3/4 in e contiene tre filamenti di titanio-molibdeno, ciascuno con 1,1 grammi di titanio utilizzabile. Il gruppo cartuccia è riscaldabile fino a 400° C. Massimo. Le pompe a sublimazione del titanio (TSP) sono tipicamente utilizzate come un modo efficace per pompare gas getterable come idrogeno e azoto nei sistemi UHV. I TSP sono spesso combinati con il pompaggio ionico, poiché la pompa ionica è efficace con gas UHV non getterable come argon e metano. Il TSP può essere aggiunto all'interno della pompa ionica o come unità di pompaggio separata. Se il TSP viene utilizzato in combinazione con un cryopanel raffreddato con azoto liquido, si otterrà una velocità di pompaggio dell'acqua estremamente elevata.

Varian offre due diversi tipi di pompe a sublimazione del titanio: sorgenti a filamento e sfere in titanio. Le sorgenti TSP a filamento sono più popolari con i sistemi UHV poiché possono essere disattivate tra le sublimazioni e quindi non aggiungono degassamento indotto termicamente. Le sorgenti a sfera contengono maggiori quantità di titanio, il che significa una maggiore durata se utilizzate in condizioni che utilizzano più titanio, come pressioni di esercizio più elevate. Tuttavia, le sorgenti a sfera richiedono alimentazione in standby tra le sublimazioni per evitare la formazione di crepe nella sfera in titanio. I fattori che influenzano l'efficienza di pompaggio della sublimazione del titanio includono velocità di sublimazione, frequenza, area superficiale e temperatura. La velocità di pompaggio della sublimazione è generalmente un valore costante inferiore a 10 ^-7 mbar.