エバラ EV-A03-2 空冷ドライ真空ポンプ 208-240VAC、単相、9cfm、ガスバラストポート。 PN: 202549

これらのエバラ EV-A 03 シリーズ ドライ ロータリー ローブ真空ポンプは空冷式で、軽負荷のドライ真空用途向けに設計されています。 EV-A 03 ポンプ ドライ ポンプは、9 cfm (250 L/分) という大きなポンピング速度を備え、KF-25 吸気口および排気ポートを備え、動作騒音レベル 56 dB (A) で非常に静かに動作し、到達圧力が高くなります。のガスバラストは 7.5 mTorr (ガスバラストがオンの場合は 75 mTorr)。到達圧力でわずか 1.1 kW という低い動作消費電力でコストを節約します。このユニットには荏原参照番号 EV-A03-2 があり、垂直排気方向、外部サイレンサと内蔵逆止弁、単相 200 ～ 240 VAC で動作、オプションのガスバラスト用ポートなどの標準付属品が含まれています。エバラモデル EV-A03-2、部品番号 202549 です。

Ebara EVA 03 ドライポンプは、完全にクリーンなドライ真空を実現するための多段ルーツ粗引きポンプ技術を採用しており、6 つの内部ポンピングステージが含まれています。ポンプは、ガスを入口から出口排気ポートに移送しながら、所定のクリアランスを維持するために同期して回転する一対のハイブリッド ルートで動作します。潤滑油を使用するローターの反対側には歯車が取り付けられています。これらはドライ真空ポンプであり、オイルはポンプの真空容積内にはなく、ギアセクション内にのみ存在します。 EV-A 03 および EV-A 06 モデルはミネラルギアオイルを使用し、EV-A 10 モデルは Fomblin PFPE ギアオイルを使用します。

エバラ EV-A ポンプは、摩擦のない設計によりクリーンなドライ真空を生成し、非接触、多段ルート、信頼性が高く、粒子のない真空生成を実現します。スクロール ポンプとは異なり、EV-A ポンプには、磨耗してサックバック問題が発生した際に荒引きラインやプロセス チャンバーの汚染物質となる可能性がある粒子状の粉塵を生成するチップ シールがありません。エバラ EV-A 真空ポンプは信頼性の高い設計により、より低い所有コストでドライ真空を実現できます。これらのポンプは、チップシールとベアリング交換の煩わしさを排除し、ドライスクロールポンプでチップシールが摩耗するときに発生するベース圧力ドリフトがありません。改良されたロータリーローブポンプ設計により、ポンプの寿命全体にわたって一定の到達圧力、7 mTorr のベース圧力が提供されます。

エバラのEV-Aポンプはファン冷却されていますが、より高い内部温度で動作するように設計されており、EV-A 03モデルでは1時間あたり水1個あたり250グラムという大きな凝縮性蒸気のポンピング能力を実現します。シャフトシールとベアリングからの摩擦と、ガスの圧縮時に発生する熱により、真空ポンプの内部動作温度が上昇します。凝縮性蒸気をポンピングする場合、ポンプ内の凝縮を防ぐために、オプションのガスバラストの取り付けが必要です。ガスバラストによって導入された空気または窒素は、汲み上げられたガスの分圧を下げて飽和蒸気圧を超えます（ガスを蒸気相に保ちます）。不燃性の蒸気や凝縮性溶剤をポンプ輸送する場合は、大気ガスバラストを使用することをお勧めします。可燃性溶剤のガス蒸気をポンピングする場合は、操作マニュアルに従って N ₂バラストを正しく使用する必要があります。水蒸気などの凝縮性ガスを圧送する場合は、ガスバラストバルブを開いた状態で、処理終了後約1時間ポンプを運転し続けると効果的です。これは、ポンプの電源がオフになる前に、水の痕跡をすべて除去するのに役立ちます。

Ebara EV-A 設計の主な改良点は、最初の真空ステージがローターの 2 番目の位置に配置されていることです。ポンピングステージ設計のこの方向により、ローターベアリングが高真空にさらされることがなくなり、その動作寿命が長くなります。改良されたポンプ設計には、硬質陽極酸化アルミニウムの本体、ステンレス鋼のローター、内部排気逆止弁も含まれており、これらの機能は荏原 EV-A ポンプが凝縮性蒸気のポンピングを処理するのに役立ちます。オプションのガスバラストは、ポンプのベース圧力への影響を制限しながら、ポンプの蒸気処理能力を高めるために最適な位置で 3 段および 4 段に注入するように設計されています。エバラ EV-A ポンプの堅牢な設計により、用途とポンプの使用方法に応じて通常 3 ～ 5 年の耐用年数が得られます。

Ebara EV-A ドライロータリーローブ真空ポンプには、ポンプの状態を調整し、運転周波数、電流、運転時間、エラー監視などのポンプ設定を制御するための操作パネルと LED ディスプレイが含まれています。これらのポンプ モーターには可変周波数ドライブ (VFD) が組み込まれており、静止状態からフルスピードまでポンプをゆっくりと始動させ、低始動電流を提供しながら騒音と振動を低減します。ポンプには、リモートスタートやアラームステータス監視などのドライコンタクタ機能を提供する I/O コネクタ D-sub ポートも含まれています。

エバラ EV-A 03 シリーズ ドライ真空ポンプは使い方が簡単で、接続して電源を入れるだけです (とても簡単です)。単相 115、単相 208 VAC、または三相 208 VAC で動作するように注文できます。ここで販売されている現在の部品番号 202549 は、単相 200 ～ 240 VAC ポンプ用です。エバラ EV-A ポンプは、過熱やロックアップを起こすことなく、大気圧で継続的に動作できます。エバラ EV-A 真空ポンプはコンパクトで、動作中の圧力は 56dB(A) 未満です。オプションのローリングキャスターを使用すると、施設内を簡単に移動できます。以下のユーザーズマニュアルおよび製品パンフレットのダウンロードで追加情報を参照してください。

エバラ EV-Aシリーズ 乾式ロータリーローブポンプのメリットと特長。


• 空冷式の
• 小型、コンパクトなサイズ
• 非接触設計
• 一定の到達圧力
• チップシール粉が出ない
• 高い大気排気速度
• CEおよびNRTL定格
• 単相モデルと三相モデルをご用意
• 低振動
• 低ノイズ
• メンテナンスフリー
• 空冷式ドライポンプの中で最も高い水蒸気ポンピング (ガスバラストが開いている状態)

アプリケーション


• ロードロック
• 分析機器 (LCMS 液体クロマトグラフィー - 質量分析計、GCMS ガスクロマトグラフィー質量分析計)
• 計測学 - SEM (走査型電子顕微鏡)、TEM (透過型電子顕微鏡)
• PVD (物理蒸着) スパッタ システム
• 乾燥真空オーブン
• 酸素プラズマシステム
• ウェットポンプの交換
• スクロールポンプの交換
• クリーンなアプリケーション
• グローブボックス
• 凍結乾燥（フリーズドライ）
• 滅菌器 (過酸化水素蒸気滅菌器、医療機器、病院用途の真空蒸気滅菌)。
• リークディテクタ
• ビームラインとシンクロトロン
• 高エネルギー物理学 (研究所 – R&D)
• 宇宙シミュレーションチャンバー
• ターボポンプバッキング
• フレキシブル LED ビデオ ディスプレイの製造
• 医療機器および PCB 基板製造向けの完全クリーン & ドライ真空
• 中負荷、PFPE ロータリー ベーン ポンプと競合し、酸素をポンピングするアプリケーション。血漿 O2 CF4