これらの小型の Ideal Vacuum Super-Seal 空気圧ベローズ インライン バルブには、回転可能なフランジが付いた CF 3-3/8 インチの入口ポートと出口ポートが付いています。これらは主に超高真空範囲 (10 ^-10 Torr) で使用するように設計されています。リーク率は 10 ^-11 Torr l/s (He) ですが、正圧 60 ～ 80 psi まで使用可能です。これらのバルブは、304L ステンレス鋼のバルブ本体と機構、アルミニウム製アクチュエータで構成されており、銅製のボンネット シールが付いています。スーパーシールバルブは 100°C までベーキング可能 (バルブ本体のみ) これらのバルブは任意の方向に取り付けることができます。

これらの小型スーパーシールバルブは開くのに空気が必要で、スプリング開閉機構を備えています。 60 ～ 80 psi の範囲の低容量の乾燥した圧縮空気が必要です。これらは自動的に閉じるため、電源または空気供給が失われた場合にチャンバーの真空を維持するための故障保護を提供する安全弁として役立ちます。

バルブを開くための空気の流れは、単動式の電動ソレノイドによって制御されます。ソレノイド電圧は 12 VDC、24 VDC、110 VAC、220 VAC の 4 つから選択できます。

スーパーシール バルブには、機械式リード スイッチと 2 つのトランジスタ タイプ (NPN および PNP) を含む 3 つの位置インジケータ センサーが用意されています。各センサーには LED が付いており、バルブの状態 (開いているか閉じているか) を視覚的に確認できます。これらのセンサーは、補助デバイスの切り替えやトリガーにも使用できます。

Super-Seal バルブ ファミリには、外径 3/4 インチ チューブ (KF-16) から外径 10 インチ チューブ (ISO-K 250) までの溶接可能なチューブ、KF、ISO-K、およびコンフラット (CF) フランジ オプションが含まれています。多くは直角 (90°) バージョンとインライン バージョンで利用可能です。

これらのバルブは非常に価値があり、非常に信頼性が高いため、半導体製造、プラズマ物理研究、核加速器などの用途に役立ちます。これらは真空プロセス オートメーションの主要コンポーネントであり、平均故障率 (MTTF) が 100 万サイクルを超えています。

ソレノイドと位置表示センサーは別売りです。

Ideal Vacuum Super-Seal ファミリの空気圧ベローズ バルブおよびアクセサリの詳細については、技術仕様については以下を参照し、ユーザー マニュアルをダウンロードしてください。