非照明ビューポート用の HALO ビュー交換/アップグレード ウィンドウ、ISO-100、LF100、3/8 インチ溶融石英

この溶融石英ウィンドウは、Ideal Vacuum ISO-80 HALO 非照明ビューポート ウィンドウ アセンブリの代替品またはアップグレードです。非照明型 HALO ビュー ウィンドウは現場で修理可能です。ウィンドウ メディアの交換手順については、ダウンロードで入手可能な HALO View ウィンドウ マニュアルを参照してください。

当社の溶融石英ウィンドウは最高品質の天然石英を使用して製造されており、最高レベルの純度、最小限のインクルージョンと気泡レベルを実現します。 Heraeus TSC-3 と比較して、これらのウィンドウは透過率が向上し、標準のガラスよりも有効波長範囲が広くなります。屈折率変化が少ない、熱膨張係数が低いなどの特徴があります。溶融石英は、プラズマ エッチングおよび堆積システムなどの半導体アプリケーションに使用され、低アルカリおよび低アルミニウム含有量が指定されている場合に推奨されます。高いレーザー損傷閾値が必要とされる可視および近～中赤外線波長の透過光学系によく使用されます。溶融石英には 2600 ～ 2900 nm の領域に吸収帯があり、溶融石英に似ていますが、それほど強力ではありません。 270 nm 領域に吸収があるため、UV 作業には適していません。

当社では、標準の低鉄強化ガラスまたは溶融シリカを使用した HALO ビュー ウィンドウ アセンブリおよび交換用窓ガラスも提供しています。強化ガラスは、粗加工または高真空チャンバープロセスの一般的な直接観察に一般的に使用され、チャンバーコンポーネントの光学的位置合わせを容易にしたり、流体の脱気を観察したり、直接観察によって真空内プロセスを指導したりするために使用できます。ガラス材質は標準的な低鉄フロートガラスです。表面品質と平坦度は ASTM 1036-06 および 1048-04 に基づく Q4 です。ガラスの鉄含有量が低いため、わずかに青みがかった色合いになります。この経済的なガラスは、可視波長以下または近赤外 (NIR) 波長を超えるレーザー実験には適していません。

当社の高純度溶融シリカウィンドウは、両面とも光学グレードに研削および研磨されており、全厚さ変動 (TTV) は 10μm 未満、表面仕上げは S/D 40/20、表面粗さは Ra < 1 nm (同等の性能) です。コーニングHPFS 7980まで）。これらの窓は、標準のガラスよりも透過率が大幅に向上し、有効波長範囲が広くなります。特徴としては、非常に低い屈折率変化、低い複屈折値、および超低い熱膨張係数が挙げられます。溶融シリカは、高いレーザー損傷閾値が必要な透過光学系に使用されます。溶融シリカは、深紫外、可視、および近赤外の波長範囲で動作する光学部品に使用されます。

Ideal Vacuum はプレミアム ウィンドウ製品として溶融シリカに移行しているため、溶融石英の在庫は限られていることに注意してください。また、溶融石英ウィンドウには、誤って溶融シリカ部品番号がラベル付けされている場合があることにも注意してください。販売請求書を確認することで、窓の材質を確認できます。

非照明型 HALO ビューポートは現場で保守可能です。実験要件が変更された場合は、窓ガラスを交換したり、別の素材に変更したりできます。強化ガラス、溶融石英、および溶融シリカの透過率曲線については、以下のグラフを参照してください。

非照明型 HALO 表示ウィンドウは ISO 63、80、100、160、200、250 サイズで利用でき、ブランク ISO フランジの代わりに使用されます。他の ISO フィッティングと同様に、これらの ISO フランジ付き窓は、O リングが取り付けられたセンタリング リングとともに、一重または二重爪クランプを使用します。 ISO-K から ISO-K への接続には二重爪クランプを使用してください。 ISO-K から ISO-F (ボルト締め) 接続には片爪クランプを使用してください。必要な爪クランプとセンタリングリングの推奨数と種類を以下の表に示します。

当社の ISO 表示窓は、革新的な金属とガラスの接触がゼロの設計を採用しており、厚さ 3/8 インチの窓ガラスをステンレス鋼の取り付けフランジに固定します。このクッション付きウィンドウ取り付けシステムは、オペレーターの安全を確保し、高真空圧でも他のビューポート ウィンドウ構成よりも漏れが発生しにくくなっています。理想的な真空 ISO HALO 表示ウィンドウは完全に組み立てられた状態で納品され、バイトン O リングとテフロン スペーサーを使用します。ベークアウト温度は 150 °C まで許容されます。

注:すべての表示ウィンドウまたはビューポートは本質的に壊れやすいため、慎重に取り扱う必要があり、使用前に必ず検査してください。理想的な真空観察窓は真空専用に設計および定格されており、急激な温度変化 (>10°C/分) にさらされると熱衝撃を受けやすくなります。窓を通してレーザー光線を照射する場合は、レーザーの波長が窓の材質を適切に透過できることを確認してください。 HALO ビュー ウィンドウ ユーザー マニュアルにある安全上の警告をすべてダウンロードして読んでください。