6X6x12 不活性雰囲気ドライグローブボックス保管前室用途用の長方形モジュラー真空加熱キューブ

通常、グローブ ボックス内のエンクロージャは周囲の大気よりも低い圧力に維持されており、微細な漏れ (通常は手袋を通して発生する) があると、大気が内部に流れ込みます。このタイプのグローブ ボックスを使用すると、ユーザーは有害な可能性のある物質 (放射性物質、有毒物質、感染症の病原体、または高バイオセーフティ レベルの病原体など) を扱うことができます。負圧グローブ ボックスでは、危険な物質がエンクロージャから逃げてユーザーの作業スペースに侵入し、危害を引き起こすことはありません。 HEPA グローブ ボックス排気フィルターは、危険物の封じ込めに必要です。一部の危険物グローブ ボックスには、以下に説明するものと同様の不活性ガス グローブ ボックスが使用されていることに注意してください。

2 番目のタイプのグローブ ボックスは、ドライ ボックス、または場合によっては不活性雰囲気グローブ ボックス、窒素グローブ ボックス、低酸素および/または湿度のグローブ ボックス、または嫌気ボックスと呼ばれ、通常は空気または水と反応する材料を扱うために使用されます。通常、周囲大気と比較してわずかに高い圧力に維持されます。

O2 または H2O のない条件を必要とする実験やプロセスまたは製品の場合、置換および希釈のプロセスにより、グローブ ボックス内の雰囲気が、アルゴン、窒素、水素、ヘリウム、またはそれらの組み合わせなどの高純度の不活性ガスで置き換えられます。これらのガスの。アルゴンまたは窒素は、最も安価で最も豊富に存在する不活性ガスであり、自然に乾燥しており、水分を保持しないため、このようなドライ ガス パージ システムで最も一般的に使用されます。ドライボックス内では酸素・湿度を1%以下に保つことができます。ボックス内に確立された不活性雰囲気は、サンプルや製品の劣化による酸化や加水分解などの望ましくない化学反応を防ぎます。陽圧ドライボックス内で発生する可能性のある小さな漏れは、空気や粒子状汚染物質が侵入する代わりに、不活性ガス (少量では無害) がボックスの外に押し出される開口部となります。

不活性ガスドライボックスは、リチウムイオン電池、原子層堆積などの新興技術の研究開発のために大学、工業研究所、メーカーによって使用されています。 、幹細胞研究、OLED/PLED、太陽光発電、その他の半導体、チタンのレーザー溶接を含む、3D プリンティング/積層造形、医薬品、医療機器、組織培養作業。

ドライボックス内の不活性雰囲気を維持するために、前室として知られる小さな筐体、またはロードロックまたはエアロックと呼ばれることもありますが、その側面に取り付けられています。アンチチャンバー ロード ロックには、ドライ ボックス内に開くことができる密閉内部ドアと、周囲雰囲気に開く密閉外部ドアがあります。前室内扉は閉めたままにし、材料を大気扉側から反室に投入します。外側のドアが閉じられ、通常は真空下で不活性ガスが導入されます。 O2 と H20 を含んだ空気はパージされ、不活性ガスに置き換えられます。真空により空気の排出が促進され、筐体から粉塵やその他の不要な物質が除去されます。 O2 と H2O が望ましいレベルまで減少したら、ドライボックスの内側から内側のドアを開けます。ユーザーまたはロボットマニピュレーターは、材料を不活性雰囲気のドライボックスに運び、そこで処理します。

ここにリストされている理想的な真空キューブ、または別のサイズのモジュラー キューブは、あらゆるドライ ボックス システムに最適な前室となるようにカスタム構成できます。 2 番目のドア、ドライ ボックス ドッキング プレート、および真空と不活性ガスの導入用のポートを備えたサイド プレートを追加します。 Cube は、前室を自動的にポンプで汲み上げてパージするように設定できます。当社の素早い開閉と簡単なラッチのキューブ ドア メカニズムにより、プロセスがさらに高速化されます。 Ideal Vacuum モジュラー Cube システムは、スルーフロー作業プロセスに使用でき、複数の Cube を積み重ねて接続して、長い材料でも前室を作成できます。

多くの場合、ユーザーは不活性ガス真空環境で製品やサンプルをさらに処理する必要があります。製品を加熱または冷却したり、制御された条件下で敏感な材料を硬化したり、さらなる処理のためにサンプルを保管したり、複数のサンプルを異なる環境条件にさらしたりする必要がある場合があります。

当社の真空保管 Cube カスタム ソリューションは、最大 140°C まで制御された一定の温度を安全に提供できるプレート ヒーターを使用して構成できます。これらの加熱プレートは、サンプルのベークアウトや、サンプルの乾燥や低蒸気圧の除去などの用途に使用できます。固体製品またはサンプルの表面から溶剤が除去されます。

他のさまざまなサーマルプレートオプションも利用できます。 -150 °C ～ 150 °C の冷却または加熱ウォーターバスを再循環するための真空絶縁熱試験治具が提供されています。極寒環境での保管や、加工された材料からガスとして放出される高水分や溶剤を捕捉するために、当社は液体窒素 (LN2) 高真空ポンプ トラップと -196°C までの温度を提供する極低温試験治具を提供しています。

当社の拡張可能な Ideal Vacuum モジュラー Cube システムを使用すると、1 つ以上のカスタム保管チャンバーを使用でき、それぞれを異なる真空圧、温度、制御された雰囲気条件に設定でき、すべて不活性雰囲気ドライ ボックス システムに接続できます。 (下記の当社のカスタムメイドの 9 コンパートメント真空保管 Cube グローブ ボックス製品の 1 つの図を参照してください)。たとえば、チャンバー コンパートメント 4 内の製品またはサンプルを、4x10-5 Torr、90°C のアルゴン ガスの乾燥超高純度 (UHP) 雰囲気下に 4 時間保持し、コンパートメント内のサンプルを保管したい場合、パージバックフィルが窒素であることを除いて、同じ条件にさらされる図 6 では、真空ポンプ、パージバックフィル、温度制御、時間制御、自動システムを設計できます。

複数の Cube 真空コンパートメント システムの各チャンバーには、パージ ガスの種類を選択することもできます。たとえば、チャンバー コンパートメント 4 内の製品またはサンプルをアルゴン ガスの乾燥した超高純度 (UHP) 雰囲気下に維持したい場合です。当社の真空キューブ保管コンパートメントは、真空ポンプを使用して設計し、UHP アルゴンでパージバックフィルすることができます。これはすべて自動化できるでしょう。