6x6 真空チャンバー 3/8" 溶融石英用理想的な真空キューブ ビューイング ウィンドウ プレート アセンブリ

この Ideal Vacuum Cube 6x6 インチ真空チャンバー溶融石英表示ウィンドウ プレート アセンブリは、当社の 6x6x6 または 6x6x12 モジュラー キューブ チャンバーに適合するように設計されています。

溶融石英ウィンドウ表示プレートアセンブリは、光学的透明度の向上、可視範囲を超えた波長透過率の拡張、およびコストが考慮される実験でよく選択されます。

当社の石英ガラス窓は最高品質の天然石英を使用して製造されており、最高レベルの純度と最低レベルの含有物および気泡レベルを実現しています。Heraeus TSC-3 に匹敵するこれらの窓は、透過率が向上し、標準ガラスよりも広い波長範囲で使用できます。特性として、屈折率の変化が少なく、熱膨張係数が低いことが挙げられます。石英ガラスはプラズマエッチングや堆積システムなどの半導体用途に使用され、アルカリ含有量とアルミニウム含有量が低いことが指定されている場合に推奨されます。高いレーザー損傷閾値が求められる可視光線および近赤外線から中赤外線の波長の透過光学系によく使用されます。石英ガラスは 2600 ～ 2900 nm の領域に吸収帯があり、石英ガラスに似ていますが、それほど強くはありません。270 nm 領域で吸収するため、UV 作業には適していません。

Ideal Vacuum はプレミアム ウィンドウの提供を溶融シリカに移行しているため、溶融石英の在庫は限られていることに注意してください。また、溶融石英ウィンドウに誤って溶融シリカの部品番号が付けられている場合もあります。販売請求書を確認することで、ウィンドウの材質を確認できます。

また、当社では、標準の低鉄強化ガラスまたは溶融シリカを使用したキューブ ウィンドウ プレート アセンブリおよび交換用ウィンドウ ペインも提供しています。強化ガラスは、一般的に、粗加工または高真空チャンバー プロセスの直接観察に使用され、チャンバー コンポーネントの光学的な位置合わせを容易にしたり、流体の脱ガスを観察したり、直接観察による真空内プロセスの指導に役立てたりすることができます。ガラスの材質は、標準の低鉄フロート ガラスです。表面品質と平坦性は、ASTM 1036-06 および 1048-04 の Q4 です。ガラスの鉄含有量が低いため、わずかに青みがかった色合いになっています。この経済的なガラスは、可視光線以下または近赤外線 (NIR) 波長を超えるレーザー実験には適していません。

当社の高純度フューズドシリカ交換用ウィンドウは、両面とも光学グレードに研磨されており、総厚さ変動 (TTV) は 10µm 未満、表面仕上げは S/D 40/20、表面粗さは Ra 1 nm 未満です。これらのウィンドウは透過率が大幅に向上し、標準ガラスよりも広い波長範囲で使用できます。特性として、屈折率変動が非常に低いこと、複屈折値が低いこと、熱膨張係数が極めて低いことが挙げられます。フューズドシリカは、高いレーザー損傷閾値が求められる透過光学系に使用されます。フューズドシリカは、深紫外線、可視光線、近赤外線の波長範囲で動作する光学系に使用されます。


当社のキューブ ビューイング ウィンドウは、革新的な金属とガラスの接触のない設計を採用しており、3/8 インチ厚のウィンドウ ペインをアルミニウムの取り付けプレートに固定します。このクッション付きのウィンドウ取り付けシステムにより、オペレーターの安全性が確保され、高真空圧でも他のビューポート ウィンドウ構成よりも漏れが発生しにくくなります。Ideal Vacuum Cube ウィンドウは完全に組み立てられた状態で出荷され、Viton O リングと Teflon スペーサーを使用します。150 °C までのベークアウト温度が許容されます。

表示ウィンドウ プレート アセンブリは他の Cube プレートと交換可能で、いつでも Ideal Vacuum Cube システムに追加できます。表示ウィンドウは、Cube チャンバーの固定側またはドア (オプションのヒンジ アセンブリとハードウェア キットP106868を使用) として実装できます。

表示ウィンドウ プレート アセンブリは、他のすべてのキューブ プレートと同様に、真空シール面の損傷を防ぐための傾斜シール機能を組み込んだ特許取得済みのテーパー シール技術を使用して構築されています。すべての Ideal Vacuum Cube プレートは、軽量の 6061-T6 アルミニウム合金の単一ブロックから CNC フライス加工されています。

出荷前に、すべての表示ウィンドウ プレート アセンブリは、ウィンドウ メディアの欠陥がないか目視検査され、ヘリウム漏れテスト、洗浄、密封が行われ、正しく安全に動作し、納品後すぐに設置できる状態であることが保証されます。

注意:すべての表示ウィンドウまたはビューポートは本質的に壊れやすいため、慎重に取り扱い、使用前に必ず検査する必要があります。Ideal Vacuum 表示ウィンドウは真空専用に設計および評価されており、急激な温度変化 (>10° C /分) にさらされると熱衝撃の影響を受けやすくなります。ウィンドウを通してレーザー ビームを照射する場合は、レーザーの波長がウィンドウの素材を適度に透過できることを確認してください。IVP Cube 表示ウィンドウ アセンブリ マニュアルのすべての安全警告をダウンロードしてお読みください。