Agilent TPS-Flexy 真空システム (84FS ターボ、ISO63 インレット、IDP3 スクロール ラフィング、ラック続き付き) 240V

TPS-flexy: 自分で掃除機をかける! Twistorr 84 FS Con flat ISO63 インレット、ラック コントローラー、IDP3 スクロール粗引きポンプを使用して、統合ターボ ポンプ システムを作成します。これらはプラグアンドポンプの高真空システムおよび超高真空システムです。コンパクトで信頼性の高い、完全に統合された真空ソリューションは、大気から UHV 1x10-9 Torr までの幅広い排気速度を備えた大容量として利用可能です。革新的に信頼性が向上した TwisTorr FS ターボ分子真空ポンプ (84FS または 304FS) が登場しました。この Agilent TPS-Flexy は 240VAC ですが、120VAC モデルも利用可能です。システムをすぐに起動して実行するには、Flexy キットに付属の簡単な組み立て説明書に従ってください。

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アプリケーションには以下が含まれます:

• UHV システムのポンプダウン
• イオンポンプ荒加工
• ランプとチューブの加工
• クライオポンプ再生
• 高真空システムの操作
• 高真空および超高真空システムのベークアウト

この Agilent Varian TPS-Flexy には次のコンポーネントが含まれています。

• Agilent Varian 84 FS TwisTorr ターボ分子ポンプ、ISO63 インレット、49 l/s 窒素、部品番号 X3502-64000
• Agilent Varian 84 ラック コントローラ、PN X3508-64001
• Agilent Varian ラック&オンボードコントローラ用空冷ファンキット、PN 9699290
• Agilent Varian IDP3 240V ドライスクロール粗引きポンプ、PN IDP3A01
• ISO63 インレットスクリーン、部品番号 x3502-68001
• AC 電源コード、3 メートル、部品番号 9699958

この Agilent Varian TPS-Flexy は完全な自己完結型真空システムで、プラグを差し込んでポンプを下げるだけです。必要なのは、チャンバーまたは真空プロセスに接続するために必要なハードウェアと圧力計だけです。

Agilent Varian 84 FS ターボ分子真空ポンプに関する注意事項
これらの Agilent Varian TwisTorr 84 FS ターボ分子高真空ポンプは、以前の V-81M、V-81T ターボ ポンプに比べて新しく驚くべき改良が施されています。これらの改善には、Twistorr ドラッグ ステージ テクノロジーと Agilent フローティング サスペンションが含まれます。 TwisTorr ドラッグ ステージは、水素やヘリウムなどの軽ガスの高い圧縮比を生み出し、高スループットと高いフォアライン圧力耐性を実現し、それによってより小型でより経済的な補助ポンプの使用を可能にします。この技術により、エネルギー効率が高く、低い動作温度を維持するコンパクトなローター設計が実現します。 Agilent フローティング サスペンション システムは、騒音と振動を低減し、最適なベアリング動作条件を確保して動作寿命を延ばし、システムのダウンタイムを最小限に抑え、長期にわたり安定したポンプ性能を保証します。 Agilent TwisTorr 84 FS の独自のベアリングと乾式潤滑により、オイルとメンテナンスが不要になり、どの向きでもポンプを操作できます。

Agilent Varian TwisTorr ターボ ポンプは、実際のアプリケーションで最適なパフォーマンスを発揮できるように設計されており、Agilent TPS ベンチ真空システムにうまく統合されます。これらの新しい Agilent TwisTorr 84 FS ターボ ポンプは、メンテナンスを最小限またはまったく必要とせず、誤使用から保護します。これらのポンプには銅製の水冷チャネルがあり、熱伝達を最適化し、水の消費量と所有コストを削減します。 ISO63 インレットフランジを備えた Agilent Varian TwistTorr 84 FS ターボポンプは、窒素の排気速度 49 l/s、KF-16 フォアラインフランジ、周囲動作温度 5 °C ～ +35 °C を備えています。これらの 84 FS ポンプの起動時間は 2 分未満、回転速度は 81000 rpm です。冷却要件は、周囲温度が 5 ～ 35 °C の条件の場合は最小限の強制空気、または最小流量: 65 l/h (0.30 GPM)、水温が +15 °C ～ +25 °C の場合の水冷です。水圧は45〜75 psi。 TwisTorr 84 FS ターボ ポンプの PDF ユーザー取扱説明書は、以下からダウンロードできます。

Agilent Varian 84FS AG ラック コントローラに関する注意事項
TwisTorr 84FS AG ラック コントローラーは、より優れた制御機能と通信機能を可能にする新しい拡張機能を備えたマイクロプロセッサー制御の周波数コンバーターです。これは、100 ～ 240 VAC の世界的な完全な互換性を実現するように設計されたコンパクトな 1/4 ラック ユニットです。このコントローラには RS 232/485 接続があり、冷却ファンに電力を供給し、ベント バルブ制御を駆動し、Agilent Varian ワイドレンジ ゲージの圧力を提供および取得し、TwisTorr 84FS シリーズ ターボ ポンプのポンプ動作パラメータを制御します。自己診断機能と保護機能も含まれています。このコントローラは、10-3 ～ 10-9 Torr まで測定する Agilent アクティブ ゲージを自動的に認識します。 TwisTorr 84 FS AG コントローラーの PDF ユーザー取扱説明書は、以下からダウンロードできます。バルブ。バルブ。
Agilent Varian IDP3 ドライスクロール粗引きポンプに関する注意事項
Agilent Varian IDP-3 ドライ スクロール真空ポンプは、オイルフリー真空を手頃な価格で提供するコンパクトで高性能のドライ ポンプです。 TPS ベンチ システムと簡単に統合でき、さまざまなアプリケーションに適しています。 Agilent Varian IDP-3 は、モーターとベアリングが真空空間の外側にある革新的な気密設計を採用しており、ポンプで送られるすべてのガスを完全に隔離できます。 IDP-3 スクロールポンプには排気バルブが付いており、電源を切ったときに大気への急激な漏れを防ぎます。ただし、どの真空ポンプでも、オフにすると入口ライン圧力がわずかに増加します。ポンプをオフにすると、少量のポンプの破片が真空ラインまたはチャンバーに持ち戻される可能性があります。これを防ぐために、IDP3 には外部入口隔離バルブが装備されており、電源がオフになると自動的に閉じて汚染を排除します。 IDP3 は、60 l/m (2.1 CFM) の強力なポンピング速度と 2.5x10-1 Torr 未満の非常に低いベース圧力を実現します。 Agilent Varian IDP-3 は、Agilent Varian の特許取得済みのスクロール ポンプ技術のすべての利点を、コンパクト、軽量、コスト効率の高いパッケージで提供します。 IDP-3 用の使いやすい交換用チップ シール再構築キットは、この Web サイト PN P102813 で入手できます。 IDP-3 の PDF ユーザー取扱説明書は、以下からダウンロードできます。