Agilent Varian チタンサブリメーションポンプ (TSP) フィラメント交換用、ゲッタリング可能ガス、外径 2.75 (2-3⁄4) コンフラット フランジ。 Agilent Varian 部品番号 9160050 TSP カートリッジは、外径 2-3⁄4 インチの ConFlat フランジで提供され、3 本のチタン - モリブデン フィラメントが含まれており、それぞれに 1.1 グラムの使用可能なチタンが含まれています。カートリッジ アセンブリは最大 400°C までベーキング可能です。チタンサブリメーションポンプ (TSP) は通常、UHV システムで水素や窒素などのゲッタリング可能ガスを汲み上げる効果的な方法として使用されます。イオン ポンプはアルゴンやメタンなどの取得不可能な UHV ガスに対して効果的であるため、TSP はイオン ポンプと組み合わせて使用されることがよくあります。 TSP はイオン ポンプの内部に追加することも、別個のポンプ ユニットとして追加することもできます。 TSP を液体窒素冷却クライオパネルと組み合わせて使用すると、非常に高い水ポンピング速度が達成されます。
Varian は、フィラメント ソースとチタン ボール ソースという 2 つの異なるタイプのチタン サブリメーション ポンプを提供しています。フィラメントタイプの TSP ソースは、昇華の合間にオフにすることができ、熱によるガス放出を追加しないため、UHV システムで最も一般的です。ボールタイプのソースには大量のチタンが含まれているため、より高い操作圧力など、より多くのチタンを使用する条件下で操作すると寿命が長くなります。ただし、ボールソースでは、チタンボールに亀裂が生じるのを防ぐために、昇華の間に待機電力が必要です。チタンの昇華ポンピング効率に影響を与える要因には、昇華速度、周波数、表面積、温度が含まれます。昇華ポンピング速度は通常、10 -7 mbar 未満の一定値です。