XGS-600 マルチゲージ真空コントローラ用 Agilent Varian 反転マグネトロン イオン ゲージ (IMG)、Agilent Varian 部品番号 R3080301これは Agilent Varian (IMG) 反転マグネトロン ボードで、超高真空 IMG-100 および IMG-300 ゲージを操作します。ゲージの感度値とガス補正係数を設定できます。 (UHV) 超高真空範囲は、放出および 0 ~ 10 V アナログ出力のリモート I/O 制御と同様に標準です。
10-9 ~ 10-10 の超高真空範囲の以下のゲージと互換性があります。
- IMG-100、IMG-300(UHV)
- 競合他社のゲージとも互換性があります (以下の相互参照については、XGS-600 取扱説明書/ユーザー マニュアル .pdf ページ 2-4 を参照してください)。
これは倒立マグネトロン イオン ゲージ (IMG) のみです。完全なボード仕様/説明については、以下の XGS-600 取扱説明書/ユーザー マニュアル .pdf ページ A-3 を参照してください。 XGS-600 コントローラー、その他のカード、ゲージ、ケーブルはこの Web サイトで別売りです。
PCB ボード/カードの取り付け:アドオン カードの取り付け手順:
- スロットには、XGS-600 コントローラの正面から見て左から右に番号が付けられています。
- オプション スロット 1 ~ 4 は長くて目立つスロットで、あらゆるカード/ボードを収容できます。 HFIG ボードは長いハイプロファイル カードであり、スロット 1 ~ 4 にのみ取り付けることができます。
- オプション スロット 5 ~ 6 は短く薄型のスロットで、以下の制限がある対流または IMG ボードのみを収容できます。スロット 4 に他のボードが取り付けられている場合、IMG ボードはスロット 5 に取り付けられない場合があります。スロット 5 に他のボードが取り付けられている場合、IMG ボードはスロット 6 に取り付けられない場合があります。
アドオン カードのフィールド インストールの詳しい説明については、利用可能なダウンロードまで下にスクロールして、.pdf (交換カード説明書 .pdf および真空測定パンフレット .pdf ページ 11) を参照してください)