Agilent Varian 真空ポンプ アンチサックバック分離バルブ - 電源切断時に真空システムを保護 - KF25 - 115VAC -
PN: VPI251205060真空ポンプ遮断弁 KF25 AC115V。電源が遮断されると急速に閉じ、オイルの逆流や真空システムへの粒子の侵入を防ぎます。また、バルブはポンプを入口側から通気して出口に向かってゴミを押し出し、ポンプの再起動時にゴミがシステム内に押し込まれるのを防ぎます。この隔離バルブ本体は軽量アルミニウムで構成されており、本体設計と直角構成により最大のコンダクタンスが得られます。上の中央の図は、考えられる電気接続の例を示しています。バルブの電気接続コネクタは付属していませんが、ご要望に応じて入手可能です。 Agilent Varian 真空ポンプ分離バルブは、次の機能をユーザーに提供します。
- 漏れ率が 1x10 未満のロックオーバーセンター機構を備えた信頼性と再現性の高いシール標準 cc/秒 He
- 即効性があり、停電時に真空システムを即座に保護します。バルブは 30 ミリ秒未満で閉じます。
- ポンプ入口でポンプの通気が可能になり、流れの方向が維持されます。オイルや破片がシステム内に流入しない
- ポンプ入口圧力がシステム圧力に戻るまで閉じたままにすることで、継続的な保護と簡単な再起動を提供します
- 大気圧で動作し、電力が失われると作動します。動作に圧縮空気は必要ありません。
- 排気速度を低下させることなく、NW25 バルブでは 13 l/s、NW40 バルブでは 33 l/s の最大コンダクタンスを提供します。
- バルブの温度範囲は 0 ~ 100 ℃、ソレニッドの場合は 0 ~ 50 ℃