Agilent Varian TPS モバイル真空システム、74 FS ターボ、CF 4.5 インチ入口、モバイル カート上の IDP-07 ドライ スクロール ポンプ付き

これらの Agilent Varian TPS モバイル システムには、排気速度 60 l/s の Agilent 74 FS ターボ ポンプ、Conflat CF 4.50 インレット フランジ、IDP-7 ドライ スクロール粗引きポンプ、および 74-FS AG ラックマウント コントローラが付属しています。これらはプラグアンドプレイであり、プラグを差し込んでポンプダウンするだけの、完全な自己完結型の超高真空ポンプ システムです。必要なのは、チャンバーまたは真空プロセスに接続するために必要なハードウェアと圧力計だけです。 CF フランジ付きの Agilent 74 FS ターボポンプは、到達圧力が 10 ～ 10 Torr の範囲の真の超高真空 (UHV) ポンプです (全金属吸気シールガスケットが使用され、真空チャンバが完全にクリーンでベーキングされている場合)外）。 ISO-K フランジを備えた Agilent 74 FS ターボ ポンプは、(ゴム/エラストマー O リング シールの浸透とガス放出によって) 到達圧力が 10-8 Torr の範囲に制限されます。これらのポンプの吸気フランジ (CF フランジのみ) は、ターボが水冷されている場合、最大 100 °C までベーキングされる可能性があります。

アプリケーションには以下が含まれます:

• UHV システムのポンプダウン
• イオンポンプ荒加工
• ランプとチューブの加工
• クライオポンプ再生
• 高真空システムの操作
• 高真空および超高真空システムのベークアウト

この Agilent Varian TPS モバイルには、次のコンポーネントが含まれています。

• Agilent Varian 74 FS TwisTorr ターボ分子ポンプ、CF 4.50 インチ注入口、60 l/s 窒素
• Agilent Varian 74 AG FS ラック コントローラ
• Agilent Varian ラックコントローラ用空冷ファンキット
• Agilent Varian IDP-07 ドライスクロール粗引きポンプ
• CF 4.50インチインレットスクリーン
• 車輪とポンプの高さを調整できる移動式カート
• AC 電源コード、3 メートル

Agilent Varian 74 FS ターボ分子真空ポンプに関する注意事項
これらの Agilent Varian TwisTorr 74-FS ターボ分子高真空ポンプは、新しく設計されたラビリンス Twistor ドラッグ ステージ テクノロジーや Agilent フローティング サスペンション (AFS)、最適化された熱設計マッピングなど、新しく改良された性能を備えています。 TwisTorr ドラッグ ステージは、水素やヘリウムなどの軽ガスの高い圧縮比を生み出し、高スループットと高いフォアライン圧力耐性を実現し、それによってより小型でより経済的な補助ポンプの使用を可能にします。この技術により、エネルギー効率が高く、低い動作温度を維持するコンパクトなローター設計が実現します。 Agilent フローティング サスペンション システムは、騒音や振動を低減し、最適なベアリング動作条件を確保して寿命を延ばし、システムのダウンタイムを最小限に抑え、長期間にわたって安定したポンプ性能を保証します。永続的な潤滑を備えた独自のセラミック ボール ベアリングにより、オイルやメンテナンスが不要になり、どの方向でもポンプを操作できます。 Agilent ターボ ポンプは、コンパクトなサイズでスペース要件が厳しい業界のニーズを満たす実際のアプリケーションで最適なパフォーマンスを発揮できるように設計されています。これらの新しい Agilent TwisTorr 74 FS ターボ ポンプは、メンテナンスを最小限またはまったく必要としません。 TwisTorr 74 FS ターボ ポンプの PDF ユーザー取扱説明書は、以下からダウンロードできます。

Agilent Varian 74FS AG ラック コントローラに関する注意事項
TwisTorr 74FS AG ラック コントローラーは、より優れた制御機能と通信機能を可能にする新しい拡張機能を備えたマイクロプロセッサー制御の周波数コンバーターです。これは、100 ～ 240 VAC の世界的な完全な互換性を実現するように設計されたコンパクトな 1/4 ラック ユニットです。このコントローラには RS 232/485 接続があり、冷却ファンに電力を供給し、ベント バルブ制御を駆動し、Agilent Varian ワイドレンジ ゲージの圧力を提供および取得し、TwisTorr 74FS シリーズ ターボ ポンプのポンプ動作パラメータを制御します。自己診断機能と保護機能も含まれています。このコントローラは、10-3 ～ 10-9 Torr まで測定する Agilent アクティブ ゲージを自動的に認識します。 TwisTorr 74 FS AG コントローラーの PDF ユーザー取扱説明書は、以下からダウンロードできます。

IDP-7 ドライスクロールラフィングポンプに関する注意事項
新しい Agilent Varian IDP-07 ドライ スクロール真空ポンプは、55 dBA 未満の極めて静かな動作と低振動動作を実現するように設計されており、60 Hz で 5.4 cfm (9.1 m3/h) のピーク排気速度を実現し、20 mTorr の到達圧力を生成します。 。これらの新しい Agilent IDP-07 ドライ スクロール ポンプは密閉されており、ヘリウム再循環、真空オーブン、およびバッキング ポンプのアプリケーションに適しています。密閉設計により、ポンプを通るクリーンなガス経路が提供され、オイルやグリースによる汚染のリスクが排除され、モーターとベアリングが大気圧で動作し、真空プロセスガスや水蒸気への曝露から隔離されます。 Agilent IDP-07 は、動作電圧範囲を 50/60Hz で 100 ～ 120V または 200 ～ 230 VAC の間で簡単に切り替えられるグローバル単相モータをサポートしています。 IDP-7 の PDF ユーザー取扱説明書は、ダウンロード用に用意されています。