Agilent Varian TPS-Mini 74FS ターボ分子真空ポンプ システム、KF 40 インレット フランジ
製品番号 G8703A-020 (X3502-64000) Agilent Varian TPS-Mini は、ドライ高真空ターボ分子ポンプ システムです。TPS-Mini は、最新の twistorr テクノロジ (最大排気速度 250 l/s) を搭載した TwisTorr 74 FS Turbo または 304 FS Turblo と一緒に注文できます。TPS-Mini システムは、その名前が示すように、小型でコンパクト、使いやすい、完全に統合された真空ポンプ システムです。TPS-Mini は、到達圧力が 1x10-7 Torr の完全ドライ高真空ポンプ システムです。TPS-Mini 内の補助ポンプは、10 l/分のドライ ダイヤフラム ポンプです。Varian TPS-Mini は、コスト効率に優れながら、要求の厳しいアプリケーションに対応するように設計されています。これらのユニットは、KF 40、ISO 63、CF 4.5 構成で注文できます。これらのユニットは新品で、Agilent Varian の工場保証が付いています。1 相または 3 相 90V ~ 240V AC、50Hz / 60Hz で動作するように注文できます。
オプションの Agilent Varian FRG-700 フルレンジ (アクティブ ピラニおよび逆マグネトロン ゲージ) は、大気圧から 3.8x10-9 Torr までの真空圧を測定できます。Varian MiniTask、TPS Compact、および Varian AG ターボ ポンプ コントローラは、FRG-700 ゲージを制御でき、圧力の読み取り値はデバイスの前面に表示されます。これらのゲージは、TPS-Compact ユニットの前面にある内蔵ディスプレイとインターフェイスし、圧力の読み取り値は mbar、Torr、または Pascal で表示できます。これらのシステムのコントローラ ディスプレイは、RS-232 またはアナログ通信と互換性があります。また、Agilent Varian FRG-700 アクティブ ピラニおよび逆マグネトロン ゲージ、ゲージ接続用ケーブル、接続ハードウェア付き真空 T 字継手を含むフルレンジ ゲージ キットも提供しています。
すべての TPS-Mini ユニットは、PC (付属していません) 経由で T-Plus ソフトウェアを使用して操作できます。完全な仕様とアプリケーション パンフレット (PDF 形式) は、以下からダウンロードできます。74 FS ターボ分子ポンプ G8703A-020 (X3502-64000) を搭載した TPS Mini は、現在製造中止となっている Varian Mini Task V81M (部品番号 9698220) の後継品です。