Agilent Varian TwisTorr 305-FS ターボ分子真空ポンプ、Conflat 6 インチ入口、排気速度 255 l/s、空冷式。
空冷キットは別売りです。Agilent Varian 部品番号 X3513-64009。これらの Agilent Varian TwisTorr 305 FS ターボ分子真空ポンプは、空冷式で、Conflat CF 6 インチ入口フランジを備え、特許取得済みの TwisTorr ドラッグ ステージを備えた Agilent フローティング サスペンションを備えています。これらの Agilent Varian TwisTorr 305 FS ターボ分子高真空ポンプは、新しく設計されたラビリンス Twistorr ドラッグ ステージ テクノロジーと Agilent フローティング サスペンション (AFS)、および最適化された熱設計マッピングなど、新しく改善されたパフォーマンスを備えています。TwisTorr ドラッグ ステージは、水素やヘリウムなどの軽いガスに対して高い圧縮比を生み出し、高いスループットとフォアライン圧力に対する高い耐性を実現し、より小型で経済的な補助ポンプの使用を可能にします。 Agilent Varian TwisTorr 305 FS ターボ ポンプは、コンフラット吸気口を備え、正しく使用すれば到達圧力が 1x10-10 Torr まで低下する真の超高真空 (UHV) ポンプです。たとえば、これらのポンプのコンフラット バージョンでは、吸気フランジを 100 ℃ まで加熱できます。必要なファン空気冷却キットは別売りです。
この技術により、エネルギー効率に優れ、動作温度を低く保つコンパクトなローター設計が実現しました。Agilent フローティング サスペンション システム (AFS) は、ノイズと振動を低減し、最適なベアリング動作条件を確保して動作寿命を延ばし、システムのダウンタイムを最小限に抑え、長期間にわたって安定したポンプ性能を保証します。永久潤滑を備えた独自のセラミック ボール ベアリングにより、オイルとメンテナンスが不要になり、ポンプをどの方向でも操作できます。このモデルは 305-FS で、操作には外部リモート コントローラー ユニットが必要です。305-IC バージョンも用意されており、ポンプの側面に洗練されたオンボード統合コントローラーが組み込まれています。
Agilent ターボ ポンプは、実際のアプリケーションで最適なパフォーマンスを発揮するように設計されており、ポンプ システムとマルチフロー ポンプの統合が含まれています。コンパクトなサイズのポンプは、厳しいスペース要件を持つ業界のニーズを満たします。これらの新しい Agilent TwisTorr 305 FS ターボ ポンプは、メンテナンスがほとんどまたはまったく必要なく、誤用から保護します。これらのポンプは、長寿命、衝撃、振動、パッケージング、熱、および騒音を含むさまざまな品質および信頼性テストを受けています。
Conflat CF 6 インチ入口フランジを備えた Agilent Varian TwistTorr 305 FS ターボポンプは、窒素の排気速度が 255 l/s、KF-16 フォアライン フランジを備え、周囲動作温度が 5 °C ~ +35 °C です。これらの 305 FS ポンプの起動時間は 3 分、回転速度は 60,000 rpm です。推奨されるフォアライン ポンプは、ドライ IDP-3、IDP-7、IDP-10、またはウェット DS-102、DS-302 です。冷却要件は、周囲温度が 5 ~ 35 °C の場合は強制空気、または水圧が最大 5 bar (75 psi) で水温が +15 °C ~ +30 °C の場合は最小流量 50 l/h (0.22 GPM) の水冷です。このユニットは周囲空気冷却ですが、水冷ユニットも利用できます。
新しい Agilent Twistorr 305FS は、幅広いアプリケーションに適したパフォーマンスと機能を兼ね備えています。非常に汎用性の高いターボで、さまざまな分野で使用できます。
一般的なターボポンプの用途は次のとおりです。- 質量分析
- ガスクロマトグラフィー質量分析法 (GC/MS)
- 液体クロマトグラフィー質量分析法(LC/MS)
- 誘導結合プラズマ質量分析法 (ICP-MS)
- 飛行時間型質量分析法 (TOF)
研究開発における真空:- 高エネルギー物理学
- 融合技術
- 一般的なUHV研究
- シンクロトロン光源粒子加速器
ナノテクノロジー機器:- 電子顕微鏡法
- 走査型電子顕微鏡(SEM)
- 透過型電子顕微鏡(TEM)
- 集束イオンビームシステム (FIB)
- 表面分析
- 半導体製造
工業用真空処理:- 薄膜堆積
- ガラスコーティング装置(建築用・自動車用ガラス、フラットパネルディスプレイ)
- 薄膜太陽電池の製造(光起電)
- 光データメディア(CD、DVD、光磁気ディスク)
- 磁気記憶媒体
- 表面処理
- 光学コーティング(眼科用、精密光電子工学)
- フィルムまたは箔へのロール/ウェブコーティング
デバイス処理:- テレビ・モニター用ブラウン管製造
- ランプの避難(高速道路照明、プロジェクター)
- X線管と電子装置
一般的なプロセス: