Agilent Varian TwisTorr 84 FS ターボ ポンプ パッケージには、KF-40 インレットおよび IDP-3 ドライ スクロール バッキング ポンプ、84FS AG リモート コントローラ、および空冷キットが含まれます。

この Agilent TwisTorr 84-FS ターボ真空ポンプ パッケージは、ドライ スクロール粗引きポンプを備えており、実験室でのアプリケーションに最適です。パッケージ契約には、ポンプ速度 49 l/s の KF40 (NW40) インレット フランジ、KF-16 フォアライン フランジ、およびインレット スクリーンを備えた Agilent Varian TwistTorr 84-FS ターボ ポンプが含まれています。この 84 FS ターボ ポンプの起動時間は 2 分未満、最大回転速度は 81,000 rpm で、Agilent 部品番号は X3502-64001 です。このパッケージ取引には、IPD-3 ドライ スクロール バッキング ポンプと 120V 主電源ケーブル (NEMA 5-15P プラグ) が含まれています。 IDP-3 は、60 Hz で 2.1cfm (3.6 m ³ /h) のピーク ポンピング速度を持ち、250 mTorr の到達圧力を生成し、非常に静かです (< 55 dBA)。この取引には、120V 主電源ケーブル (NEMA 5-15P プラグ) 付きの TwisTorr 84FS AG リモート コントローラーも含まれています。コントローラーには、ポンプに接続してポンプに電力を供給する 5 m のケーブルが付属しています。このコントローラーには RS232/485 シリアル通信と、空冷ファン、通気バルブ、および圧力計に電力を供給するための専用 24 VDC 出力が備わっています。コントローラはラックまたはベンチトップに取り付けることができます。このパッケージ取引には、コントローラーに接続するための長さ 5 m の延長ケーブルを備えたラジアルマウント型強制空冷キットも含まれています。ご要望に応じて水冷バージョンもご利用いただけます。このターボ ポンプ パッケージ取引には粗引きポンプが含まれていますが、粗引きライン、真空チャンバー、圧力測定ゲージ、またはベント バルブは含まれていません。これらはすべて、Ideal Vacuum によって個別に入手および販売されています。このパッケージ取引は、多くの個別の部品で構成されるキットとして在庫に保管されており、各部品は以下の「キット コンポーネントの入手可能性」セクションにリストされています。

これらの Agilent Varian TwisTorr 84-FS ターボ分子高真空ポンプは、新しく設計されたラビリンス Twistor ドラッグ ステージ技術や Agilent フローティング サスペンション (AFS)、最適化された熱設計マッピングなど、新しく改良された性能を備えています。 TwisTorr ドラッグ ステージは、水素やヘリウムなどの軽ガスの高い圧縮比を生み出し、高スループットと高いフォアライン圧力耐性を実現し、それによってより小型でより経済的な補助ポンプの使用を可能にします。この技術により、エネルギー効率が高く、低い動作温度を維持するコンパクトなローター設計が実現します。 Agilent フローティング サスペンション システムは、騒音や振動を低減し、最適なベアリング動作条件を確保して寿命を延ばし、システムのダウンタイムを最小限に抑え、長期間にわたって安定したポンプ性能を保証します。永続的な潤滑を備えた独自のセラミック ボール ベアリングにより、オイルやメンテナンスが不要になり、どの方向でもポンプを操作できます。 Agilent ターボ ポンプは、コンパクトなサイズでスペース要件が厳しい業界のニーズを満たす実際のアプリケーションで最適なパフォーマンスを発揮できるように設計されています。これらの新しい Agilent TwisTorr 84 FS ターボ ポンプは、メンテナンスを最小限またはまったく必要としません。

このパッケージ取引のアプリケーションには次のものが含まれます。

• 質量分析法
• ガスクロマトグラフィー質量分析 (GC/MS)
• 液体クロマトグラフィー質量分析 (LC/MS)
• 誘導結合プラズマ質量分析 (ICP-MS)
• 飛行時間型質量分析法 (TOF)

研究開発における真空:

• 高エネルギー物理学
• 融合技術
• 一般的な UHV 研究
• シンクロトロン光源 粒子加速器

ナノテクノロジー機器:

• 電子顕微鏡法
• 走査型電子顕微鏡 (SEM)
• 透過型電子顕微鏡 (TEM)
• 集束イオンビームシステム (FIB)
• 表面分析
• 半導体製造

工業用真空処理:

• 薄膜堆積:
• ガラスコーティング装置（建築用・自動車用ガラス、フラットパネルディスプレイ）
• 薄膜太陽電池の製造（太陽光発電）
• 光データメディア (CD、DVD、光磁気ディスク)
• 磁気記憶媒体
• 表面処理
• 光学コーティング (眼科用、精密オプトエレクトロニクス)
• フィルムまたはフォイルへのロール/ウェブコーティング
デバイスの処理:
• テレビおよびモニター受像管の製造
• ランプの避難（高速道路の照明、ビーマー）
• X線管と電子機器
一般的なプロセス:
• 真空炉
• 冶金
取扱説明書とパンフレットは、以下のダウンロードセクションから入手できます。