Varian Agilent XGS-600 マルチゲージ真空コントローラー - 基本コントローラー、デュアルアナログ入力カード 1 枚を搭載し、2 つのアクティブゲージを制御可能、PN XGS600H0M0C0A1。 4 つのゲージ カードのうち最大 6 枚まで受け入れます:
- (コントローラデュアルアナログ入力カード)
- (ConvecTorr 対流ゲージ/熱電対ゲージ カード)
- (ホットフィラメントイオンゲージ (HFIG) カード)
- (逆マグネトロン (IMG) 冷陰極またはペニングゲージカード)
XGS-600 真空ゲージ コントローラは、コスト効率に優れた標準ハーフラック パッケージで、これまでにない容量、パフォーマンス、柔軟性を提供します。プログラム可能なドット マトリックス LCD により、表示の柔軟性が高まり、シンプルな画面構成とナビゲーションにより、ユニットの使いやすさが格段に向上します。ドロップダウン ゲージ選択により、放出電流、感度、および過圧が自動的に設定されます。画面には最大 8 つのゲージと圧力が同時に表示され、ユーザーは各ゲージにラベルを付けることができます。8 つの設定ポイント、完全にプログラム可能な RS232/RS485 シリアル通信、およびユニバーサル電圧互換性は、すべてのユニットの標準です。大きなフォント機能により、最大 20 フィートからでも視認できます。
この Web サイトで入手可能な PCB カードを使用すると、現場での拡張や再構成が簡単に行えます。カードのないコントローラ (最大 4 枚のカードを受け入れることができます) は、コンピュータ インターフェイスからのみ設定ポイント コマンドを発行できます。この XGS-600 には、スロット 1 ~ 4 から最大 5 台の冷陰極 (IMG ゲージ) または 4 台のホット イオン ゲージのみを装着できます。(制限については、センサー カードのインストールを参照してください。) XGS-600 は、MultiGauge および SenTorr ラック マウント コントローラの両方を置き換えます。XGS-600 は、実質的に下位互換性があるように設計されていますが、一部の設計上の特徴により、新製品は 100% 下位互換性がありません。(互換性の制限については、XGS-600 の取扱説明書の A-9 ページを参照してください。) XGS-600 は、他の競合他社のゲージとも互換性があります (相互参照については、取扱説明書の 2 ~ 4 ページを参照してください)
PCBボード/カードのインストール:アドオンカードのインストール手順:
- スロットは、XGS-600 の前面から見て左から右に番号が付けられます。
- オプション スロット 1 ~ 4 は長いハイ プロファイル スロットで、あらゆるカード/ボードを収容できます。HFIG ボードは長いハイ プロファイル カードで、スロット 1 ~ 4 にのみインストールできます。
- オプション スロット 5 ~ 6 は短く、ロー プロファイルのスロットで、次の制限付きで対流ボードまたは IMG ボードのみを収容できます。スロット 4 に他のボードが取り付けられている場合、IMG ボードをスロット 5 に取り付けることはできません。スロット 5 に他のボードが取り付けられている場合、IMG ボードをスロット 6 に取り付けることはできません。
アドオン カードの現場でのインストールの詳細については、「利用可能なダウンロード」までスクロールして、.pdf (交換用カードの説明書と真空測定パンフレットの 11 ページ) を参照してください
。完全な仕様、ユーザー マニュアル、交換用カードの説明書については、以下の (利用可能なダウンロード) の .pdf を参照してください。