XGS-600 真空ゲージ コントローラは、コスト効率に優れた標準ハーフラック パッケージで、これまでにない容量、パフォーマンス、柔軟性を提供します。プログラム可能なドット マトリックス LCD により、表示の柔軟性が高まり、シンプルな画面構成とナビゲーションにより、ユニットの使いやすさが格段に向上します。ドロップダウン ゲージ選択により、放出電流、感度、および過圧が自動的に設定されます。画面には最大 8 つのゲージと圧力が同時に表示され、ユーザーは各ゲージにラベルを付けることができます。8 つの設定ポイント、完全にプログラム可能な RS232/RS485 シリアル通信、およびユニバーサル電圧互換性は、すべてのユニットの標準です。大きなフォント機能により、最大 20 フィートからでも視認できます。
この XGS-600 には、すべての Varian ホット フィラメント ゲージと、ヌード UHV タイプを含むほとんどのその他の Bayard-Alpert 型ホット フィラメント イオン化ゲージを操作できるホット フィラメント イオン ゲージ HFIG ボードが装備されています。このボードはすべての Varian ホット フィラメント ゲージ用に設定でき、ゲージ放出電流、感度値、ガス補正係数を設定できます。UHV 範囲と E-Beam 脱ガスは標準で、デュアル フィラメント制御、放出とフィラメント選択のリモート I/O 制御、0 ~ 10 V アナログ出力も標準です。このデュアル コンベクション カードと一緒に他のカードも使用できます。
HFIG ボードは、10-3 ~ 10-10 Torr の高真空から超高真空の範囲にある次のゲージと互換性があります。- 563(高電圧)
- 564(高電圧)
- 571(HV)
- 572(HV)
- MBA-100、MBA-200(HV)
- UHV-24、UHV-24p (UHV)
- 競合他社のゲージとも互換性があります (相互参照については、XGS-600 取扱説明書/ユーザー マニュアル .pdf の 2 ~ 4 ページを参照してください)。
XGS-600 コントローラは、使用可能な 4 つのゲージ カードのうち最大 6 枚までを受け入れます。- (コントローラデュアルアナログ入力カード)
- (ConvecTorr 対流ゲージ/熱電対ゲージ カード)
- (ホットフィラメントイオンゲージ (HFIG) カード)
- (逆マグネトロン (IMG) 冷陰極またはペニングゲージカード)
この Web サイトで入手できる PCB カードを使用すると、現場での拡張や再構成が簡単に行えます。 XGS-600 は、MultiGauge および SenTorr ラック マウント コントローラの両方に代わるものです。XGS-600 は実質的に下位互換性を持つように設計されていますが、新製品が 100% 下位互換性を持たない設計上の特徴がいくつかあります。(互換性の制限については、XGS-600 取扱説明書の A-9 ページを参照してください。)
仕様、ユーザー マニュアル、交換カードの手順など、さらに詳しい情報については、利用可能な PDF を参照してください。