BRUKER DektakXT-Advanced スタイラスプロファイロメーター、DXT-A 表面プロファイル測定システム、3D 自動表面プロファイリング

Bruker DektakXT-A スタイラスプロファイロメーター、DXT 表面プロファイル測定システム。
この DektakXT-A システムには以下が含まれます。

• Dell OptiPlex PC、Win10 Pro オペレーティング システム、Bruker Vision64 ソフトウェア搭載
• 4つの空気分離脚
• 6インチの移動距離を持つ電動X/Yステージ、電動360度回転
• システムに標準で2〜3、4〜6、または8インチの真空チャックが含まれています
• LIS 3、1～15mgの力の低慣性センサー
• 倍率選択可能な3.1メガピクセルカラーカメラ
• スタータースタイラス（2umまたは12.5umを選択）
• スキャン長55mmの光学的にフラットなスキャンブロック
• 4 Å ステップ高さの再現性、1μm ステップで 1 シグマ
• 最大200mmのスキャンのステッチング
• 3Dマップの収集と広範なデータ分析
• 無制限の数の場所で自動収集機能
• 1年間の限定工場保証

Dektak XT 施設要件、寸法、重量、熱負荷




表 1 に DektakXT システムの設備要件を示します。表 2 に寸法、重量、熱負荷を示します。

力
DXT-110V - 100/115 VAC 動作
100/115 VAC 動作用に電源を構成します。米国および 100/115 ボルトで動作する標準 3 ピン米国コンセントを備えた国での動作に対応しています。

環境エンクロージャDXT-ENC - DXT 環境エンクロージャが付属します。

コンピューター
Bruker の 64 ビット デスクトップ コンピューターが含まれています。Dell OptiPlex、Win10 Pro オペレーティング システム、3.2GHz プロセッサ、Intel Core i5、4GB (1x4G) 1600MHz DDR3L メモリ、500GB ハード ディスク ドライブ、Vision64# 操作および分析ソフトウェア。

コンピュータ モニターVGA 互換モニターが必要です。モニターは 1920x1080 @ 60HZ 解像度をサポートし、DVI-D ポートを備え、DisplayPort 互換である必要があります。システムにはモニターは付属しておらず、基本価格にも含まれていません。ただし、ご要望に応じて、新品の互換モニターを請求して提供することも可能です。

XYステージ
DXT-AUTO - 電動 XY 150 x 150MM ステージ、 R ステージ

DXT-R-AUTO - 電動 R-THETA DXT-S/A サンプル プラッター オプション
DXT-SET-WVC - ウェーハ真空チャックパッケージ 1,620.00 1,620.00
ウェーハ真空チャックパッケージ
このウェーハ真空チャック パッケージは、2 ～ 3 インチ (838-203)、4 ～ 6 インチ (838-189)、および 8 インチ (838-195) のウェーハ真空チャックで構成されています。価格は基本システム価格に追加されます。

スタータースタイラス
DXT-STYL-2UM-B - スタイラス、LIS 3、2UM RAD-TYPE B
このスタータースタイラスは半径 2um のスタイラスチップを備えており、このシステムに無料で付属しており、インストール後すぐに使用できます。チップの SEM 画像は含まれていません。アプリケーション パッケージ

DXT-STITCH - スティッチング機能Vision64#Stitching 機能により、DXT-A システムは複数のスキャンをスティッチングして、6 インチ (150 mm) の電動移動をカバーするシームレスなスキャンを生成できます。これは、シリコン ウェーハおよび同様の平坦度のサンプルの 2D フィルム応力測定に最も役立ちます。スティッチング機能は、この DektakXT Advanced System (DXT-A) に含まれています。 DXT-3D MAP - 3D マッピングおよび分析機能Vision64 3D マッピング機能には、DXT-A Advanced Systems で収集された 3D マップのリアルタイム視覚化が含まれます。3D マッピングでは、スティッチングを使用した大きなマップを含む、あらゆるサイズの 3D データセットを生成できます。データセットの高度なフィルタリングと操作のために、この機能で Vision64 3D 分析の完全なスイートを利用できます。

DXT-2D 応力 - 2D 応力測定機能Vision64 2D 応力測定機能は、引張応力と圧縮応力を同時に計算します。5 次多項式近似とユーザーが選択できる弾性定数を使用することで、2D 応力機能は正確な結果を実現します。ステッチ機能と組み合わせて使用することで、DXT-Advanced システムの平坦なウェーハ上のより広い領域を測定できます。ウェーハ真空チャックと一緒に注文されたシステムには、クロムメッキされたボール ベアリングとペン マグネットが含まれます。

DXT-AUTOMATION - 自動測定収集Vision64 Automation 機能は、複数の場所でのラインスキャンと 3D マップの自動収集を提供します。オペレーターは、自動化レシピを使用して、ボタンをクリックするだけで一連の分析を実行できます。この DXT-A 標準機能は、サンプルの複数の場所で繰り返し測定する必要がある製造 QA/QC 環境で役立ちます。

カスタマー インストール キットDektakXT は、このキットを使用してセルフ インストールできるように設計されています。開梱、セットアップ、システム機能の初期検証の手順をお客様に説明する説明ビデオが提供されます。また、オペレーターにデータの収集と分析の手順を説明するビデオ セットも提供されます。この包括的な短いビデオ セットにより、オペレーターは DXT の操作をすぐに習得でき、システムの運用寿命全体にわたって参照として使用できます。