Brooks CTI Cryo-Torr CT-8F クライオポンプ 15K チャコール アレイ。
15K 木炭アレイのみ
これは、CTI Cryo-Torr CT-8F クライオ ポンプの交換用 15k チャコール アレイです。
CTI-Cryogenics Cryo-Torr CT-8F ポンプは、Cryo-Torr ポンプ システムを構成する 2 つの主要コンポーネントのうちの 1 つです。 2 番目のコンポーネントは Compressor (この Web サイトでも販売されています) です。 Cryo-Torr CT-8F クライオポンプは、10-3 ~ 10-9 Torr の範囲のすべてのガスを高速かつクリーンにポンピングします。標準的な用途には、半導体、航空宇宙、真空コーティング、研究開発などが含まれます。
クライオポンプは、ガスを凝縮して極めて低い蒸気圧に保持できるという原理に基づいて動作し、高速性とスループットを実現します。このポンプは信頼性が高く、堅牢なユニットであり、必要なメンテナンスは最小限です。クライオポンプは可動部品、作動流体、または補助ポンプを真空にさらさないため、クライオポンプ自体によるシステムまたはプロセスの汚染の可能性が排除されます。
説明、インストール、再生成、およびメンテナンスの手順は、横のダウンロード セクションにある .pdf で説明されています。