CTI クライオトール CT-100 クライオポンプ 15k アレイ キット
メンテナンスキットのみ
これは、Edwards CTI Cryo-Torr CT-100 クライオ ポンプの交換用 15k アレイです。これには、トップ プレートとインジウム ガスケットを含む、CTI クライオトール CT-100 クライオ ポンプのチャコール アレイを交換するために必要なすべてのコンポーネントが含まれています。
Edwards CTI-Cryogenics Cryo-Torr CT-100 ポンプは、Cryo-Torr ポンプ システムを構成する 2 つの主要コンポーネントのうちの 1 つです。 2 番目のコンポーネントは Compressor (この Web サイトでも販売されています) です。 Cryo-Torr CT-100クライオポンプは、10-3 ~ 10-9 Torr の範囲のすべてのガスを高速かつクリーンにポンピングします。標準的な用途には、半導体、航空宇宙、真空コーティング、研究開発などが含まれます。クライオポンプは、ガスを凝縮して極めて低い蒸気圧に保持できるという原理に基づいて動作し、高速性とスループットを実現します。このポンプは信頼性が高く、堅牢なユニットであり、必要なメンテナンスは最小限です。クライオポンプは可動部品、作動流体、または補助ポンプを真空にさらさないため、クライオポンプ自体によるシステムまたはプロセスの汚染の可能性が排除されます。説明、設置、再生、およびメンテナンス手順は、以下からダウンロードできるクライオ トール ポンプの設置、操作、およびメンテナンス手順 .pdf に完全に記載されています。