Edwards CTI Brooks Cryo-Torr 250F 超高真空半導体クライオポンプ、LF ISO 250、3 相、リビルド、6500 l/s 水、2200 l/s 空気、1800 l/s アルゴン、リビルド。
エドワーズ CTI ブルックス部品番号: 8116086G002。 Edwards CTI-Cryogenics (現 Edwards) Cryo-Torr OB250F、三相クライオポンプは、半導体産業で使用するための性能向上と狭いスペース要件に合わせて特別に設計および構築されています。
このクライオポンプには、ISO 250 入口フランジと標準の KF-25 粗引きポンプ フランジが付いています。以下の定格排気速度で 10-8 Torr の超高真空 (UHV) が可能です。
- 水 ………。 6500リットル/秒
- 空気 ………..…。 2200リットル/秒
- 水素……。 3200リットル/秒
- アルゴン……。 1800リットル/秒
この Brooks/Edwards CTI Cryo-Torr OB250F 三相ポンプは、三相電源でのみ動作します。電力は特別な CTI 三相モーター コントローラーによって供給されます。
CTI 三相 Cryo-Torr 250F クライオポンプは、可動部品、作動流体、補助ポンプを真空にさらさないため、システムの逆流やクライオポンプ自体からのプロセス汚染の可能性が排除されます。