Edwards iXL120N ドライ真空ポンプ、200-460VAC、窒素パージ接続、カスタマイズされた、3/8 QC クイックディスコネクト給水継手が追加されました。
エドワーズ部品番号: A54114010。 XL120 は、ウェーハ処理やその他のクリーン用途向けのコンパクト、低エネルギー、110 m3h-1 ドライ ポンプです。非常に低いエネルギー消費でロード ロック チャンバーの高速ポンプダウンを実現します。 iXL120 は、ロード ロックおよびクリーン アプリケーションに使用できるポンプの中で最小かつ最軽量のポンプの 1 つです。振動と騒音レベルが低いため、ツール上または工場のワッフルフロア内に取り付けるのに最適であり、貴重な工場の床スペースの節約に役立ちます。グリーン モードにより、アイドル期間中の光熱費の使用量が削減され、光熱費が削減され、環境の節約に役立ちます。
クラスをリードするチャンバーポンプのダウンタイムにより、総平均サイクルタイム (TACT) が短縮されます わずか 0.55kW の消費電力で、お客様の所有コストを最小限に抑えることができます。 グリーン モードにより、アイドル期間中の消費電力を最大 92% 削減できます。 最大 35℃ の給水により、施設の冷却水の要件が削減されます。非常に小型軽量で、貴重な製造スペースの節約に役立ちます オイル潤滑の高精度ベアリングにより、定期メンテナンスなしでスムーズで低振動の動作が保証されます 独自のデュアル入口配置により、効率的なフォアラインルーティングと位置オプションが可能になります ゼロ窒素パージオプションにより、窒素供給の必要性がなくなり、設置費用が節約されますおよび運営コスト
Edwards iXL120N の機能と利点:
- オイル潤滑の精密ベアリングにより、定期的なメンテナンスを必要とせずにスムーズで低振動の動作が保証されます。
- 独自のデュアルインレット配置により、効率的なフォアラインルーティングと位置オプションが可能になります。
- グリーン モードにより、アイドル期間中の消費電力を最大 92% 削減できます。
- クラス最高のチャンバーポンプダウン時間により、総平均サイクルタイム (TACT) が短縮されます。
- 最大 35°C の給水により、施設の冷却水の必要量を削減できます
- わずか 0.55 kW1 の消費電力により、顧客の所有コストを最小限に抑えることができます
- 単一のバリエーションで供給電圧範囲 200 ~ 460 V、50/60 Hz をカバーします。
- 非常に小型で軽量なので、貴重な工場スペースの節約に役立ちます