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Edwards iXM 200 ドライ真空ポンプ 200-230 VAC 50/60 Hz 3 ph。 PN A56106958

状態:
  新しい
部品番号:
  P1011376
保証:
  Full Manufacturer's Warranty

在庫切れ   

¥5,995,946.92

の上 セール: ¥4,496,960.19

Edwards iXM 200 ドライ真空ポンプ 200-230 VAC 50/60 Hz 3 ph。 PN A56106958 4496960.19
通貨: Japanese Yen (JPY)

説明

Edwards iXM 200 ドライ真空ポンプ 200-230 VAC 50/60 Hz 3 ph。
エドワーズ部品番号 A56106958


Edwards iXM 200 は、環境に優しい製造のために構築された新しいドライ ポンプ シリーズです。非常に低いエネルギーを使用する効率的なルーツメカニズムは、入力電力を前世代のドライポンプより 60% 低い 1.3 kW に劇的に削減するために開発され、環境への影響を軽減し、所有コストを削減します。ガスバリア技術と熱設計の改良により、iHシリーズ製品と比較して4倍の耐食性を実現しました。高度な粉末処理機能により、iXM は多層エッチング プロセスで最大の信頼性とポンプ寿命の延長、CVD プロセスでの消費電力の削減を実現します。

Edwards iXM 200 シリーズ ポンプはコンパクトで軽量な設計で、非常に低い騒音と振動を備えているため、iXM は Edwards シリーズの中で最も汎用性の高いドライ ポンプとなっています。 iXM は、ドライ真空ポンプ技術に対するお客様の期待を変革し、環境への影響を最小限に抑えながら、真のメリットと稼働時間の向上を実現します。 iXM ポンプは、入力電力を大幅に削減しながら、ほとんどの半導体プロセスで使用できるように設計されています。完全な取扱説明書については、横の「ダウンロード」を参照してください。

機能と利点:
  • 主にクリーンから光過酷な化学用途向け (下記の用途範囲を参照)
  • ピーク排気速度 200 m3/h-1 (118 CFM)
  • 到達圧力 1.5 X 10-2 Torr
  • プライマリポンプのみが含まれます
  • 予防メンテナンスは不要です
  • 3/8 インチのクイックコネクト注水器
  • 水道および電源接続用嵌合ハーフ
  • SS水冷システム
  • バリモードガスモジュール

    アプリケーション:
    • ロードロック
    • 移行
    • 気象学
    • リソグラフィー
    • 物理蒸着 PVD プロセス
    • 物理蒸着 PVD プレクリーン
    • 急速熱アニール RTA
    • ストリップ/アッシング
    • エッチング
    • インプラントソース
    • 高密度プラズマ化学蒸着 HDP CVD
    • 急速熱処理RTP
    • 亜大気化学蒸着 SACVD
    • タングステン化学蒸着 WCVD
    • 改良型化学蒸着 MCVD
    • プラズマ化学蒸着 PECVD
    • 低圧化学蒸着 LPCVD

ダウンロード

パンフレット

Marca de agua con el logotipo de Ideal Vacuum
お問い合わせ
Ideal Vacuum Products , LLC
5910 Midway Park Blvd NE
Albuquerque, ニューメキシコ州 87109-5805 USA

電話: (505) 872-0037
ファックス: (505) 872-9001
info@idealvac.com



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