Edwards iXM 600 ドライ真空ポンプ 200-230 VAC 50/60 Hz 3 ph。
エドワーズ部品番号 A56126958
Edwards iXM 600 は、環境に優しい製造のために構築された新しいドライ ポンプ シリーズです。非常に低いエネルギーを使用する効率的なルーツメカニズムは、入力電力を前世代のドライポンプより 60% 低い 1.3 kW まで劇的に削減するために開発され、環境への影響を軽減し、所有コストを削減します。ガスバリア技術と熱設計の改良により、iHシリーズ製品と比較して4倍の耐食性を実現しました。高度な粉末処理機能により、iXM は多層エッチング プロセスで最大の信頼性とポンプ寿命の延長、CVD プロセスでの消費電力の削減を実現します。
Edwards iXM 600 シリーズ ポンプはコンパクトで軽量な設計で、非常に低い騒音と振動を備えているため、iXM は Edwards シリーズの中で最も汎用性の高いドライ ポンプとなっています。 iXM は、ドライ真空ポンプ技術に対するお客様の期待を変革し、環境への影響を最小限に抑えながら、真のメリットと稼働時間の向上を実現します。 iXM ポンプは、入力電力を大幅に削減しながら、ほとんどの半導体プロセスで使用できるように設計されています。
完全な取扱説明書については、横の「ダウンロード」を参照してください。機能と利点:- 主にクリーンから光過酷な化学用途向け (下記の用途範囲を参照)
- ピーク排気速度 600 m3/h-1 (353 CFM)
- 到達圧力 3.75 X 10-3 Torr
- 予防メンテナンスは不要です
- 3/8 インチのクイックコネクト注水器
- 水道および電源接続用嵌合ハーフ
- SS水冷システム
- バリモードガスモジュール
アプリケーション:- ロードロック
- 移行
- 気象学
- リソグラフィー
- 物理蒸着 PVD プロセス
- 物理蒸着 PVD プレクリーン
- 急速熱アニール RTA
- ストリップ/アッシング
- エッチング
- インプラントソース
- 高密度プラズマ化学蒸着 HDP CVD
- 急速熱処理RTP
- 亜大気化学蒸着 SACVD
- タングステン化学蒸着 WCVD
- 改良型化学蒸着 MCVD
- プラズマ化学蒸着 PECVD
- 低圧化学蒸着 LPCVD