Edwards nEXT85D ターボ ポンプ パッケージには、KF-40 インレットと nXDS6i ラフィング ドライ スクロール ポンプ、TAG コントローラー、および ACX85 強制空冷キットが含まれます。 KF-40 入口フランジを備えたこの Edwards nEXT85D ターボ ポンプ パッケージには、Edwards nXDS6i ドライ スクロール ルージング ポンプが含まれています。 nEXT85D ターボ ポンプの排気速度は 61 l/s、到達圧力は 10
-8 Torr です。ポンプの速度または真空圧力を表示する大型 LED ディスプレイを備えた TAG (ターボ & アクティブ ゲージ) コントローラー、および nEXT85D ターボ ポンプと真空計に電力を供給できる電源と AC 電源コードが含まれています。このパッケージには、ターボポンプの動作を低温に保つための強制空冷キットも含まれています。ファンは半径方向または軸方向のいずれかで取り付けることができます。ポンプのアクセサリ ポートに差し込み、ポンプから電力を供給します。このターボ ポンプ パッケージには粗引きポンプが含まれていますが、粗引きライン、真空チャンバー、圧力測定ゲージ、ベント バルブは含まれていません。アップグレードには、システムの自動化と制御を向上させるための TIC コントローラーと TIC リレー ボックス、水冷キット、ポンプ、電源、コントローラー間の距離を延長するための延長ケーブルが含まれる場合があります。これらのアイテムはすべて、Ideal Vacuum によって個別に入手および販売されます。
KF-40フランジ付nEXT85DターボポンプについてKF-40 入口フランジを備えた Edwards nEXT85D ターボ分子高真空ポンプは、排気速度が 61 リットル/秒 (l/s)、到達圧力が 10
-8 Torr です。この nEXT85D ポンプには、吸気スクリーンと ISO KF-16 排気フォアライン フランジが付属しています。 nEXT85D シリーズ ターボ ポンプは、最大 120 ワットで 24 ～ 48 VDC の入力電力を必要とします (通常の動作は 80 ワット未満です)。ポンプには、永久的に取り付けられた DB15 電源および制御ケーブルが標準装備されています。すべての nEXT85D ターボ ポンプには、RS232、RS485、および USB インターフェイスを備えたコンパクトなオンボード コントローラー、5 つのステータス LED、および空冷ファンまたはソレノイド ベント バルブのいずれかを制御する機能が備わっています (両方のファンの接続には「Y」コネクタが利用可能です)およびバルブ）。 USB ポートを使用すると、Edwards nST2 PC ソフトウェア (以下のリンクから無料ダウンロード) を使用できます。この nEXT85D ターボ ポンプには、Edwards 部品番号 B8G210A01 があります。
nXDS6iドライスクロール粗引きポンプについてこの Edwards nXDS6i ドライ スクロール粗引き/バッキング ポンプの排気速度は 3.6 cfm (6.2 m
3 /hr)、到達真空度は 0.015 Torr (0.020 mbar) です。 KF-25（NW25）の吸入口と吐出口を備えています。 100 ～ 240 VAC の単相電源が必要で、標準の C14 電源コネクタが付いています。 nXDS6i は 10A@120VAC (6A@240VAC) を消費します。 nXDS6i スクロール ポンプの騒音レベルは、競合製品に比べて最大 20 分の 1 の 52 dB(A) です。ポンプにはオンボードのインバータ コントローラが搭載されており、使いやすい押しボタンを使用して手動でポンプを制御したり、Edwards TIC または TAG コントローラに接続した場合の RS232/RS485 インターフェイスやユーザー提供のソフトウェア インターフェイスを介してリモートでポンプを制御したりできます。ポンプには AC 電源コードが付属しています。この Edwards nXDS6i ドライ スクロール ポンプの部品番号は A73501983 です。
TAG（ターボ＆アクティブゲージ）コントローラーについてEdwards TAG (ターボ & アクティブ ゲージ) コントローラには、200 ワットの外部電源と 2 メートルの長さの 115 VAC US 電源コード (5-15P から C13 コネクタ) が付属しています。 TAG は小型で低コストの 24 VDC ポンピング システム コントローラで、スペースが限られているベンチトップやモバイル プラットフォームでの使用に最適で、幅広い真空アプリケーションに適しています。 TAG は、ターボ ポンプの速度を表示するためのシリアル インターフェイスを提供し、nEXT85D、nEXT240D、nEXT300D、または nEXT400D ターボ ポンプに電力を供給し、Edwards APG、AIM、ASG、または WRG 真空計を制御できます。 TAG の押しボタン インターフェイスを使用すると、大型 LED ディスプレイに表示されるポンプ速度または真空圧力を簡単に切り替えることができます。この TAG コントローラの Edwards 部品番号は D39592000 で、電源は D39592800 です。
ACX85 ラジアル/アキシャル空冷コンビネーションキットについてACX85 強制空冷キットは、nEXT85D ターボ ポンプ用に特別に設計されています。このキットは軸方向または半径方向に取り付けることができ、アクセサリ ポート コネクタで終端された長さ 0.3 メートルの電源ケーブルを備えています。ファンはポンプのアクセサリ ポートに接続され、ポンプから電力が供給されます。このキットには、ファンをどちらの方向にも取り付けるために必要なハードウェアがすべて含まれています。軸方向に取り付ける場合、ファンユニットはポンプの底部に取り付けられ、ポンプのシャフトと同一線上に強制空気流を提供します。放射状に取り付ける場合、ファンユニットはポンプの側面に取り付けられ、ポンプに対して垂直な強制空気流を提供します。この Edwards 組み合わせアキシャル/ラジアル強制空冷キットの部品番号は B8G200820 です。
このパッケージ取引のアプリケーションには次のものが含まれます。- 質量分析法
- ガスクロマトグラフィー質量分析 (GC/MS)
- 液体クロマトグラフィー質量分析 (LC/MS)
- 誘導結合プラズマ質量分析 (ICP-MS)
- 飛行時間型質量分析法 (TOF)
研究開発における真空:- 高エネルギー物理学
- 融合技術
- 一般的な UHV 研究
- シンクロトロン光源 粒子加速器
ナノテクノロジー機器:- 電子顕微鏡法
- 走査型電子顕微鏡 (SEM)
- 透過型電子顕微鏡 (TEM)
- 集束イオンビームシステム (FIB)
- 表面分析
- 半導体製造
工業用真空処理:- 薄膜堆積:
- ガラスコーティング装置（建築用・自動車用ガラス、フラットパネルディスプレイ）
- 薄膜太陽電池の製造（太陽光発電）
- 光データメディア (CD、DVD、光磁気ディスク)
- 磁気記憶媒体
- 表面処理
- 光学コーティング (眼科用、精密オプトエレクトロニクス)
- フィルムまたはフォイルへのロール/ウェブコーティング
デバイスの処理:- テレビおよびモニター受像管の製造
- ランプの避難（高速道路の照明、ビーマー）
- X線管と電子機器
一般的なプロセス:このパッケージ取引は、多くの個別の部品で構成されるキットとして在庫に保管されており、各部品は以下の
「キット コンポーネントの入手可能性」セクションにリストされています。取扱説明書およびEdwards nEXTシリーズの製品パンフレットをダウンロードしてご利用いただけます。
