Edwards nEXT85D ターボ真空ポンプ、ISO-K 63 入口フランジ付き、ポンピング速度 84 l/s、空冷または水冷。品番: B8G210B01

Edwards nEXT85D ターボ分子高真空ポンプの排気速度は 84 リットル/秒 (l/s)、到達圧力は 8 x 10 ^-8 mbar (6 x 10 ^-8 Torr) です。この nEXT85D ポンプには、ISO-K 63 入口フランジ、付属の入口スクリーン、および ISO KF-16 排気フォアライン フランジが付いています。 nEXT85D シリーズ ターボ ポンプは、最大 120 ワットで 24 ～ 48 VDC の入力電力を必要とします (通常の動作は 80 ワット未満です)。すべての nEXT85D ターボ ポンプには、RS232、RS485、および USB インターフェイスを備えたコンパクトなオンボード コントローラー、5 つのステータス LED、および空冷ファンまたはソレノイド ベント バルブのいずれかを制御するためのアクセサリ ポートが備わっています (両方の接続には「Y」コネクタが利用可能です)ファンとバルブ)。必要なのは、適切な電源と開始/停止ロジックだけです。実験室での使用には、小型の nEXT ポンプの電源およびリモート コントローラーとして機能する Edwards ターボ計器コントローラー (TIC) またはターボ アクティブ ゲージ (TAG) をお勧めします。当社は、TIC および TAG コントローラ、強制空冷および水冷キット、電磁ベントバルブなど、さまざまなオプションのアクセサリを提供しています。この nEXT85D ターボ ポンプには、Edwards 部品番号 B8G210B01 があります。

Edwards nEXT85D ターボポンプの仕様:

• 部品番号: B8G210B01
• 入口フランジ: ISO-K 63
• 基本圧力: 8 x 10 ^-8 mbar (6 x 10 ^-8 Torr)
• 動作速度: 90,000 RPM
• 動作位置：水平から垂直（入口が上）
• ポンピング速度: 84 l/s
• 冷却: 強制空気または水
• エキゾーストフランジ：KF-16
• 動作電圧: 24-48 VDC
• 最大電力: 120 ワット (通常動作 < 80 ワット)
• 電源と通信: DB15 シリアル RS232/RS485 インターフェイス、USB
• アクセサリポート 1 つ
• 推奨荒引きポンプ：nXDS6i

nEXT ターボ ポンプは、高レベルの信頼性を維持しながらポンプの性能を最適化するように設計されたローターを備えています。 nEXT ターボ ポンプの「D」バージョンは、より高いバッキング ライン圧力に対する耐性を向上させるためにターボ分子ステージと抗力ステージの両方を備えており、すべてのガス種にわたって優れた排気速度と圧縮を備えています。 nEXT85D ターボ ポンプは、性能の向上に加えて、現場で保守可能なオイル カートリッジとシャフト ベアリングを備えているため、ダウンタイムが大幅に短縮されます。 nEXT D ターボ ポンプは、ポンプの動作とスタンバイ速度を制御し、ソレノイド ベント バルブ (TAV5、TAV6) と空冷ユニット (24 VDC アクセサリ ポート経由) を操作するための駆動電子機器を備えたコンパクトなオンボード コントローラの恩恵を受けます。統合コントローラには、RS232 および RS485 シリアル通信およびポンプ電力供給用の DB15 インターフェイスが備わっています。 USB ポートを使用すると、Edwards nST2 PC ソフトウェア (下記から無料ダウンロード) を使用できます。コントローラには、ポンプの一般的なステータス、動作、およびサービス ステータスを知らせる 5 つのインジケータ LED もあります。オプションの TIC ターボ機器コントローラー、または TAG ターボおよびアクティブ ゲージ コントローラーは、ポンプへの電力供給と制御の両方を行うことができます。

CF フランジを備えた Edwards nEXT ポンプは、到達圧力が 10 ^-10 Torr の範囲に達する真の超高真空 (UHV) ポンプです (全金属吸気シール ガスケットが使用され、真空チャンバーが完全に洗浄およびベークアウトされている場合)。 ISO フランジを備えたターボ ポンプは、(ゴム/エラストマー O リング シールの浸透とガス放出によって) 到達圧力が 10 ^-8 Torr の範囲に制限されます。 Con flat フランジ付き nEXT85D ポンプの吸気口は、ターボが水冷される場合、最大 120 °C まで加熱される可能性があります。 Conflat ポンプ用のヒーターバンドは別売りです。

真空システム統合アプリケーションの場合、nEXT85D ポンプは、ユーザーが供給する適切な 24 ～ 48 VDC 電源によって電力を供給できます。実験室用途には、Edwards TIC ターボ計器コントローラまたは TAG ターボ & アクティブ ゲージ コントローラをお勧めします。どちらも電力供給とポンプ制御の両方が可能です。 TIC シリーズのコントローラは、ベンチトップまたはラックに取り付け可能なリモート ユーザー インターフェイス/電源であり、RS232/RS485 を介して Edwards nEXT シリーズ ポンプと通信し、ターボ ポンプの完全な監視と制御を提供し、オプションで 1 つ以上の真空計機器の監視と制御を提供します。 。 Edwards リレー ボックスを追加すると、TIC コントローラーと主電源バッキング ポンプ、ターボ ポンプ フランジ ヒーター バンド、およびバッキング ライン分離バルブの間の制御インターフェイスになります。 TAG ターボおよびアクティブ ゲージ コントローラーは、nEXT85D ターボ ポンプと真空計に電力を供給することができ、大型 LED ディスプレイにはポンプ速度や真空圧力を表示できます。

ポンプの取扱説明書と Edwards nEXT ポンプの製品パンフレットは、ダウンロード セクションから入手できます。

一般的なターボ ポンプの用途には次のものがあります。

• 一般的なクリーンポンプ用途
• 走査型電子顕微鏡 - SEM
• ビームラインと高エネルギー物理学
• 質量分析法
• 電子顕微鏡法
• サンプルの準備
• 研究開発
• 高エネルギー物理学
• 産業用
• 半導体
• コーティング
• 表面科学機器