Edwards nEXT930D ターボ ポンプ パッケージには、Conflat CF 10.0 インチ インレットおよび XDS20i ラフィング ドライ スクロール ポンプ、EPS 800 電源、TAG コントローラー、および水冷キットが含まれます。この Edwards nEXT930D ターボ ポンプ パッケージは、DN200 CF、Conflat CF 10.0 インチ入口フランジに対応しており、Edwards nXDS20i ドライ スクロール粗引きポンプが含まれています。 Con flat CF 10.0 インチ フランジを備えた Edwards nEXT930D ターボ ポンプのポンプ速度は 925 リットル/秒 (l/s)、到達圧力は 6 x 10
-10 mbar (4.5 x 10
トル）。 AC 電源コード付きの EPS 800 電源と、電源をポンプに直接固定するための取り付けブラケットが含まれています。また、ポンプの速度や真空圧力を表示する大型 LED ディスプレイを備えた TAG (ターボ & アクティブ ゲージ) コントローラーと、電源および AC 電源コードも含まれています。このパッケージには、ターボポンプの動作を冷却するための水冷キットが含まれています。このターボ ポンプ パッケージ取引には、粗引きポンプ、粗引きライン、真空チャンバー、圧力測定ゲージ、ベント バルブは含まれません。アップグレードには、システムの自動化と制御を向上させるための TIC コントローラーと TIC リレー ボックス、強制空冷キット、ポンプ、電源、コントローラー間の距離を延長するための延長ケーブルが含まれる場合があります。これらのアイテムはすべて、Ideal Vacuum によって個別に入手および販売されています。
Conフラット CF 10.0 インチ フランジ付き nEXT930D ターボ ポンプについて
DN200 CF、Conflat CF 10.0 インチ入口フランジを備えた Edwards nEXT930D ターボ分子高真空ポンプは、排気速度 925 リットル/秒 (l/s)、到達圧力 6 x 10 -10 mbar (4.5 x 10 トル）。この nEXT930D ポンプには ISO KF-40 排気フォアライン フランジが付いています。オプションの入口スクリーン (粗目または細目) も利用できます。 nEXT930D シリーズ ターボ ポンプは、最大 600 ワットで 48 VDC の入力電力を必要とします (通常の動作は通常 500 ワット未満です)。ポンプには、永続的に取り付けられる長さ 0.6 メートルの 48 ボルト電源ケーブルと長さ 0.95 メートルの制御ケーブルが標準装備されています。 nEXT930D ターボ ポンプには、RS232、RS485、および USB インターフェイスを備えたコンパクトなオンボード コントローラー、5 つのステータス LED、および空冷ファンまたはソレノイド ベント バルブのいずれかを制御する機能が備わっています (ファンとソレノイド ベント バルブの両方を接続するために「Y」コネクタが利用可能です)。バルブ）。 USB ポートを使用すると、Edwards nST2 PC ソフトウェア (以下のリンクから無料ダウンロード) を使用できます。この nEXT930D ターボ ポンプは、Edwards 部品番号 B8K200F00 です。
nXDS20iドライスクロール粗引きポンプについて
Edwards nXDS20i ドライ スクロール粗引き/バッキング ポンプの排気速度は 13 cfm (22.0 m3/hr)、到達真空度は 0.022 Torr (0.030 mbar) です。 KF-25（NW25）の吸入口と吐出口を備えています。 100 ～ 240 VAC の単相電源が必要で、標準の C14 電源コネクタが付いています。 nXDS20i は 10A@120VAC (6A@240VAC) を消費します。 nXDS20i スクロール ポンプの騒音レベルは、競合製品に比べて最大 20 分の 1 の 52 dB(A) です。ポンプにはオンボードのインバータ コントローラが搭載されており、使いやすい押しボタンを使用して手動でポンプを制御したり、Edwards TIC または TAG コントローラに接続した場合の RS232/RS485 インターフェイスやユーザー提供のソフトウェア インターフェイスを介してリモートでポンプを制御したりできます。ポンプには AC 電源コードが付属しています。この Edwards nXDS20i ドライ スクロール ポンプの部品番号は A73801983 です。
EPS800電源について
Edwards EPS 800 は 800 ワット電源で、最大 17.1 アンペアで 48 VDC 出力を提供し、nEXT シリーズ ターボ ポンプ モデル nEXT730D、nEXT930D、および nEXT1230H に電力を供給するように設計されています。 100 ～ 240 VAC 入力電源から 48 VDC クリーン ヒューズ付き電力を供給します。長さ 2.5 メートルの 115 VAC AC 電源コード (US 5-15P プラグ付き) が付属しています。 EPS 800 をターボ ポンプの側面に取り付けるための、このパッケージ取引にはアダプター取り付けキットも含まれています。電源はポンプに付属の 48 VDC 電源ケーブルに直接接続します。 EPS 800 電源は、(現在は廃止されている) EPS 500 ユニットに代わるもので、Edwards 部品番号 B8J200819 があります。
TAG（ターボ＆アクティブゲージ）コントローラーについて
Edwards TAG (ターボ & アクティブ ゲージ) コントローラには、200 ワットの外部電源と 2 メートルの長さの 115 VAC US 電源コード (5-15P から C13 コネクタ) が付属しています。 TAG は小型で低コストの 24 VDC ポンピング システム コントローラで、スペースが限られているベンチトップやモバイル プラットフォームでの使用に最適で、幅広い真空アプリケーションに適しています。 TAG は、nEXT ターボ ポンプのターボ ポンプの速度を表示するためのシリアル インターフェイスを提供し、nEXT85D、nEXT240D、nEXT300D、または nEXT400D ターボ ポンプに電力を供給でき、Edwards APG、AIM、ASG、または WRG 真空計を制御できます。 TAG の押しボタン インターフェイスを使用すると、大型 LED ディスプレイに表示されるポンプ速度または真空圧力を簡単に切り替えることができます。この TAG コントローラの Edwards 部品番号は D39592000 で、電源は D39592800 です。
水冷キットについて
Edwards 水冷ユニットはポンプのベースのスロットにスライドして挿入され、4 本の M4 ネジで固定されます。供給ホースと排出ホース用のプッシュフィットコネクター（外径6mmプラスチックホース）が付いています。ホース接続部のネジを外して取り外すと、統合された G 1/8 インチネジを使用できます。ポンプの温度をより適切に制御するために、大型のターボ ポンプでは水冷が推奨されており、CF フランジ ポンプでフランジ ヒーター バンドを使用する場合には水冷が必要です。 Edwards nEXT ターボ ポンプは、ガスのスループットが高い場合、周期的な動作、および/または周囲温度が高い場合にも水冷の恩恵を受けます。長期間にわたってトラブルなく動作できるようにするには、冷却水が清浄で、油、グリース、浮遊物質が含まれていない必要があります。この水冷キットには Edwards 部品番号 B8J200820 があります。
このパッケージ取引のアプリケーションには次のものが含まれます。- 質量分析法
- ガスクロマトグラフィー質量分析 (GC/MS)
- 液体クロマトグラフィー質量分析 (LC/MS)
- 誘導結合プラズマ質量分析 (ICP-MS)
- 飛行時間型質量分析法 (TOF)
研究開発における空白:- 高エネルギー物理学
- 融合技術
- 一般的な UHV 研究
- シンクロトロン光源 粒子加速器
ナノテクノロジー機器:- 電子顕微鏡法
- 走査型電子顕微鏡 (SEM)
- 透過型電子顕微鏡 (TEM)
- 集束イオンビームシステム (FIB)
- 表面分析
- 半導体製造
工業用真空処理:- 薄膜堆積:
- ガラスコーティング装置（建築用・自動車用ガラス、フラットパネルディスプレイ）
- 薄膜太陽電池の製造（太陽光発電）
- 光データメディア (CD、DVD、光磁気ディスク)
- 磁気記憶媒体
- 表面処理
- 光学コーティング (眼科用、精密オプトエレクトロニクス)
- フィルムまたはフォイルへのロール/ウェブコーティング
デバイスの処理:- テレビおよびモニター受像管の製造
- ランプの避難（高速道路の照明、ビーマー）
- X線管と電子機器
一般的なプロセス:このパッケージ取引は、多くの個別の部品で構成されるキットとして在庫に保管されており、各部品の入手可能性は以下の「キットのコンポーネント」セクションに示されています。取扱説明書およびEdwards nEXTシリーズの製品パンフレットをダウンロードしてご利用いただけます。
