Edwards 交換用センサー APG100-XLC アクティブ ピラニ ゲージ (耐腐食性) CF 1.33、10-4 Torr

Edwards APG100-XLC 交換用ゲージ チューブ センサー (耐腐食性プラチナ/イリジウム フィラメント) は、DN16CF (Conflat CF 1.33 インチ) 真空フランジを備えており、APG100-XLC Active Pirani Electronics ハウジングに適合するように設計されています。これらは費用対効果の高い修理ソリューションです。新しい Edwards ゲージは、すべての Edwards TIC、ADC、TAG 計測器コントローラ、およびその他のアクティブ ゲージ コントローラおよびディスプレイと互換性があります。 APG100 には 2 つのバージョンがあります。「M」バージョン (標準タングステン/レニウム フィラメントを含む) は 10-3 Tor までの圧力を測定でき、一般的な用途に適しています。 「LC」バージョン (耐食性プラチナ/イリジウム フィラメントを含む) は 10-4 Torr までの圧力を測定でき、腐食性アプリケーションでの使用にも適しています。

APG100 は任意の方向に取り付けることができますが、ゲージ チューブは工場で個別に垂直に窒素中で校正されます。選択したゲージの向きで正しい圧力を表示するには、ゲージを大気圧で再校正する必要があります。 Edwards では、ゲージ内でのプロセス微粒子や凝縮性蒸気の蓄積を最小限に抑えるために、ゲージ チューブを垂直に取り付けることをお勧めします。 APG100 は窒素中で使用できるように校正されており、乾燥空気、酸素、一酸化炭素でも正しく読み取ります。他のガスタイプの場合、正しい圧力測定値を取得するには、変換が必要です。一般的なガス (窒素、アルゴン、二酸化炭素、ヘリウム、クリプトン、ネオン)。

また、鉛フリー構造のため、CSA、C/US の承認を受けており、RoHS にも完全に準拠しています。圧力範囲は 10 ^-3 Torr まで。信号ケーブル、真空計コントローラは別売りです。これらの Edwards APG100 シリーズ ゲージの取扱説明書は、以下の PDF 形式で入手できます。これらの Edwards APG100-XLC アクティブ ピラニ真空ゲージ交換用センサーには、DN16CF (Conflat CF 1.33 インチ) 真空フランジと Edwards 部品番号 NRD713000 が付いています。

特徴は次のとおりです。

• コンパクトな筐体で信号ケーブルに簡単にアクセス
• センサーは 150°C (300°F) までベーキング可能で、センサーはユーザーによる交換が可能です
• シンプルなプロセス制御とインターロックのための調整可能な設定点
• 遠隔校正可能
• 耐食性
• 圧力範囲 10 ^-4 Torr

ピラニと対流強化ピラニ ゲージの背景
ピラニ真空計は、加熱されたワイヤの抵抗を測定して真空圧力を決定する熱電対ゲージに非常によく似た熱伝導率ゲージとして分類できます。ピラニ ゲージは、加熱されたフィラメントがホイートストン ブリッジ回路のアームの 1 つを形成する場所での抵抗の不均衡を測定するように設計されています。真空圧が増加すると、ガス分子がフィラメントから熱を運び去り、圧力センサーの抵抗がより低い値に移動し、回路のバランスが崩れます。したがって、真空圧力は、ホイートストン ブリッジ回路内の圧力による不均衡から計算されます。熱電対ゲージと同様に、分子衝突による熱伝導率は、0.001 ～ 1 Torr の圧力範囲にわたって圧力とともに直線的に増加します。ただし、圧力がさらに増加して粘性流状態になると、熱の除去は非線形になり、ガスとガスの衝突により分子が加熱されたワイヤーの方向に再配向される可能性があります。分子はセンサーの外側の本体 (サーマルシンク) に到達するまでに何度も衝突する必要があります。対流強化型ピラニ ゲージは、センサー内の従来の電流を利用して、圧力測定範囲を大気圧まで拡張します。

ピラニゲージは、測定値がガスの種類に依存する間接的な圧力測定センサーです。重いガスは熱伝達率が低いこと、および標準的な慣例強化ピラニゲージは N2 用に校正されている (基本的には空気と同じ校正) という事実から、若干の注意が必要です。これにより、真空システムにアルゴンなどの重いガスを逆充填するときに、危険な過圧状態が発生する可能性があります。真空システムのオペレータがゲージ表示の読み取り値を正しいガスタイプに修正しない場合に危険が生じます。たとえば、チャンバー内のアルゴンが 760 Torr のときに、N2 用に校正された標準ゲージでは 24 Torr が表示されます。オペレーターは、チャンバーがまだ真空下にあると騙されて、システムを重大な過圧状態まで上昇させ続ける可能性があります。対流強化ピラニゲージが正しく取り付けられていない場合、別の誤差の原因が生じる可能性があります。ほとんどの市販センサーは地面と平行に取り付ける必要があります。これにより、センサー内の従来の電流が設計された方向に流れ続けます (従来の強化型ピラニ センサーが水平に取り付けられていない場合、20% 以上の誤差が簡単に発生する可能性があります)。

これらの対流強化型ピラニ センサーを急速に排気すると、数秒の短期間に重大な測定誤差が生じます。急速に送り出されたガスが膨張すると、圧力センサー フィラメントからの熱の除去は通常の対流ではなく、強制対流によって引き起こされます。真空圧が急速に低下すると、ガスが膨張して冷却され、これが高温のセンサー ワイヤーから熱を除去するための二次経路となります。対流強化ピラニゲージは、システム排気中に最大 1000 Torr の高圧を誤って表示する可能性があります。ガスの流れが停止すると、圧力測定値は再び現実的な測定値に安定します。これらの理由により、対流強化型ピラニゲージは、動的なポンピング条件下での圧力変化の測定にはあまり適していません。全体として、対流強化ピラニは、大気圧から 1x10-4 Torr まで測定できる人気の費用対効果の高い粗真空圧力計であり、1 Torr 未満の測定値が最も正確です。