ExploraVAC PVD ボックスコーター、20 インチ立方ステンレス鋼、金属蒸着、法医学 VMD、金属薄膜、熱蒸発堆積、共堆積、4 つのサーマルボート、自動手動操作モード、タッチスクリーンインターフェイス

このボックス型真空コーター システムは、法医学的金属蒸着 (VMD) プロセス、特にラボ環境での潜在指紋の開発用に設計されています。チャンバーの容積は 20 x 20 x 20 インチの立方体で、ステンレス製です。蒸発ボート、ロッド、るつぼのいずれかの熱蒸発源が 4 つあります。布、ガラス、紙などの平らな基板用の 6 インチ回転基板ホルダーなど、多くの機能を備えています。これは、弾丸の薬莢、ウォーターグラス、ナイフ、ドアノブ、武器などの不規則なサンプル用の水平チャックスピンドルと交換可能です。基板プレート放射ヒーター 2 台、Inficon QCM センサー 2 台、手動および自動プロセス モードを備えた内蔵の厚さコントローラーを備えています。堆積プロセスは、シーケンシャルまたは 2 ポケット共堆積が可能です。その他の機能としては、2 つの反応性堆積ガス入口ポート、重力シャッターと印刷の進行を観察するためのチャンバー照明を備えたドア ビューポート、空気圧ソースと基板シャッター、水冷式電極フィードスルー、フェイルセーフ機構、スタック ライトとアラームの形での視覚的および音声的ステータス インジケーターなどがあります。

システムには、すべてのチャンバーと堆積プロセス機能を制御できるオンボード Windows コンピューターで実行される、期限のない基本バージョンのAutoExplor ^™ソフトウェアを搭載した 15.5 インチのタッチ スクリーン ディスプレイが組み込まれています。すべての電子部品は北米向けの UL 認定を受けています。システムには、2 つのボート ソース電源 (4kW、400A)、2 つのバリアク - 45A があります。システムには、ボートの直接皮相電力、電圧、負荷電流測定モジュール、および下部キャビネットのディスプレイ ユニットが取り付けられています。

このシステムは、VMD 用の一般的な金属 (金、銅、ニッケル、亜鉛、クロム、アルミニウム) を気化できます。チャンバーは、Edwards nXDS20i ドライ スクロール ポンプによって粗引きされ、Pfeiffer HiPace 300 ターボ分子ポンプによって適切に調整されたベース圧力 3 x 10-7 Torr まで微引きされます。

VMD プロセスに合わせてレシピをカスタマイズできます。出荷前にプロセスを徹底的にテスト実行します。ご要望に応じて、SOP の対面または仮想トレーニングも提供されます。当社のシステムには、標準で 1 年間の保証が付いています。リードタイムは、注文確定後 90 日です。

ExploraVAC PVD ボックスコーター、20 インチ:

• 内部シールドを備えた完全密閉型 20 インチ溶接 SS 真空チャンバー
• 4 つのソース、1.0 cc、2 - 4 インチ ボート - タングステン、モリブデン、タンタル、ロッド、るつぼ
• VMD金属：Au、Zn、Cu、Ni、Ti、Cr、Al、Sn、Ag、In
• 回転基板ホルダー/スピンドル
• 空気圧シャッター
• 2つのQCMセンサー
• 基板放射ヒーター
• 重力シャッター付き6インチビューポート付きドア
• クイックラッチフロントドアクロージャー
• ビューポートを通したLEDチャンバー照明
• 15.5インチLCDタッチスクリーンディスプレイ
• Edwards nXDS20i ドライスクロール真空ポンプ
• ファイファー ハイペース 300 ターボポンプ
• 見かけのボートパワー測定と表示
• 蒸発器電源 - 4kVA、400A
• 視覚と音声による実行ステータスインジケーター
• フェイルセーフ機構

熱PVDの概要
図 1. PVD プロセス中のボート内のターゲット材料の熱蒸発の概略図。

熱蒸発 物理蒸着法 (PVD) は、真空環境で基板上に材料の薄膜を蒸着するシンプルな方法です。この方法では、金属と非金属の両方の薄膜を蒸着できます。蒸着プロセス中、材料は熱加熱されて溶融して蒸発し、その後蒸気が蒸発して低温の基板上に凝縮し、薄膜を形成します。Cr などの一部の材料は溶融せずに昇華するため、最適な蒸着蒸気圧が得られます。蒸気分子の平均自由行程は、チャンバー内の残留ガスとの衝突を避けるのに十分な長さでなければなりません。これは、蒸発を開始する前にベース圧力が計算されたしきい値を下回るようにすることで実現されます。

当社のチャンバーは、Pfeiffer HiPace ターボ分子ポンプによって数分以内に 10-7 Torr 未満まで精密排気されます。このガス圧では、蒸気の平均自由行程は 40 インチ以上に増加します。これは、堆積プロセスの到達距離の約 4 倍です。これにより、当社のシステムの効率的で汚染のない堆積が保証されます。QCM センサーは、PVD チャンバーに組み込まれた一般的な膜厚モニターで、堆積速度と膜厚に関するフィードバックを常に提供します。

用途: 法医学、真空金属蒸着法 (VMD) を使用した指紋マーク画像化
指紋画像化は、法執行機関やその他の関連政府機関、民間組織が犯罪捜査で利用する強力なツールです。真空金属蒸着 (VMD) では、犯罪現場から回収された材料に存在する可能性のある潜在指紋をコーティングして現像するために、一対の金属薄膜が使用されます。指紋の残留物は、主に汗、油、その他の体液などの有機化合物で構成されています。これらの物質は、紙、ガラス、布地、木材、金属表面などの基質とは物理的および化学的に異なる層を形成します。VMD では通常、最初に蒸着されるフィルムは金で、次に亜鉛が蒸着されます。潜在指紋の現像には、クロム、銀、スズ、銅、アルミニウムも使用されています。 図 2. (a) VMD によって生成された、弾丸の薬莢、ドル紙幣、窓ガラス、ファーストフード店の紙のレシート上の潜在指紋。 (b) 生成された指紋の顕微鏡画像。DNA を抽出してさらなる法医学的分析を行うことができる領域を示しています。

亜鉛は金属であるため、指紋残留物の有機物質と効果的に結合しません。したがって、潜在指紋現像のための VMD 技術では、主に接着力を高め、金が指紋残留物に対して高コントラストの背景を作成するコントラスト向上のために、最初に金フィルムが堆積されることがよくあります。コーティングされたフィルムを 300～400nm の範囲で励起すると、指紋マークの視覚的な結果が最適になります。2 番目の金属層 (通常は亜鉛) が堆積されると、残留物のない領域に強力に接着することで指紋の隆起が強調され、法医学分析に使用できる明確で明確なパターンが作成されます。金は化学的に不活性でもあり、指紋残留物や後続の金属層と反応しません。これにより、潜在指紋の完全性が維持され、正確で信頼性の高い現像と DNA 回収が保証されます (図 2(b))。

図 3. VMD が ExploraVAC PVD ボックスコーターで銅とクロムのフィルムスタックを使用して開発した窓ガラスの指紋。画像はコントラストを向上させるために画像処理ソフトウェアで処理されました。

VMD は、布地や寝具などの大きな証拠品、あるいは水中に投げ込まれた武器など数か月間放置された証拠品の指紋を再現できる唯一の方法であることが証明されています。このため、このツールは、新たに発見された物理的証拠品を使って未解決の刑事事件を解決する際に役立ちます。