MKS Granville Phillips 355 マイクロイオン ATM モジュラー真空圧力トランスデューサー、デジタルディスプレイ、DeviceNet、イットリアコーティングイリジウムフィラメント、2.75 CF

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MKS Granville Phillips 355 Micro-Ion ATM モジュラー真空圧力トランスデューサー、デジタル表示 Torr 読み出し、DeviceNet、イットリアコーティングされたイリジウムフィラメント、2.75 CF インレット。1x10-9 Torr の圧力測定 MKS 部品番号: 355620-2-YG-T。MKS Granville-Phillips 355 Micro-Ion ATM モジュールは、実績のある Micro-Ion イオン化ゲージ技術と小型の Conductron 熱損失センサーを組み合わせて、高真空から大気圧までの正確で連続的な圧力測定を提供します。ダイアフラムセンサーを使用することで、この製品は大気圧までの正確な絶対圧力と、周囲からの真空チャンバー差圧の正確な表示を提供できます。独自のセンサー設計により、高圧での熱損失センサーの性能に影響を与える可能性のある熱の影響が排除されます。この小型モジュールは、4 つのセンサーと制御電子機器をすべてコンパクトなモジュラー設計に組み合わせて、チャンバーに必要なゲージの数を減らし、必要なスペースを最小限に抑えます。フルレンジの圧力測定は、DeviceNet デジタル インターフェイスによる出力信号です。これは、プロセス制御用に構成できるセットポイントを持つ DeviceNet バージョンで、真空圧力範囲の任意の圧力または特定の差圧値にリレーを割り当てることができます。利点は次のとおりです。 • 1 x 10-9 の高真空から大気圧までの連続圧力測定。 • 大気圧での高精度差圧測定。 • 個別の大気圧スイッチが不要。 • 3 つの個別のセンサーが不要。 • イオン化ゲージのイットリア コーティングされたイリジウム フィラメントにより、機器の稼働時間が増加。 • イオン化ゲージの有効化と無効化の自動化。 • プロセス制御用のセットポイント リレー。 • 現場で交換可能なゲージ アセンブリ。 • DeviceNet 出力。モジュラー真空ゲージは、フロント パネルのディスプレイやコントロールが不要なアプリケーションに最適なソリューションです。これらのコンパクトで便利、信頼性が高く、コストを節約できるモジュールでは、制御電子機器がゲージに直接取り付けられています。オールメタル パッケージは、堅牢な筐体と電気ノイズに対する高いレベルの耐性を提供します。ミニコンベクトロン モジュールは、最新の電子技術を使用して Granville-Phillips®Convectron® ゲージを操作します。コンベクトロン ゲージは業界標準となっています。これは、圧力測定がセンサー ワイヤからの熱損失率に基づいている、熱伝導率ゲージのユニークなバリエーションです。伝導熱損失のみを使用する従来の熱電対ゲージやピラニ ゲージとは異なり、コンベクトロン ゲージは高圧での対流による熱損失を利用します。これにより、正確で繰り返し可能な測定範囲が大気圧まで拡張されます。