HVA 超高真空 UHV 空気圧ゲート バルブ Con flat CF 14.0 インチ フランジ、バイトン ゲートおよび OFHC 銅ボンネット シール、304 ステンレス鋼、PN: 11220-1200R

これらの HVA ブランドの空気圧操作シリーズ 11000 ゲート バルブは米国製で、3/8-24 UNF ブラインドタップ穴付きの Con flat CF 14.0 インチ (DN300) 真空フランジを備えています。これらは超高真空 (UHV) に対応しており、ISO 3669:2020 に記載されているナイフエッジ フランジの真空技術規格に準拠しています。 HVA 部品番号: 11220-1200R。

HVA 空気圧操作の超高真空ゲート バルブは、電力または空気圧の喪失時にバルブをロックした状態に保つポジティブ ロックオーバー センター機構を備えています。ゲートシールはバイトンフッ素エラストマー (FKM) 素材で作られています。ボンネットシールはOFHC銅製です。ベローズはボンネットに溶接されており、漏れのない動作が可能です。これらのバルブは耐食性 304 ステンレス鋼のゲートとバルブ本体で作られており、保守が必要になるまでの標準寿命は 100,000 サイクル (プロセスによって異なります) です。

HVA バルブ ボディの内部表面積は、真空バルブ業界で最も小さいものの 1 つです。本体とすべての主要な内部コンポーネントは、独自のプロセスを使用して 1100°C、1x10 ^-6 Torr で真空炉でろう付けされており、接合部の完全性を最大限に確保し、動作中のガス放出を最小限に抑え、実質的な漏れや閉じ込め領域の可能性を排除し、本体の歪みを最小限に抑えます。従来の溶接バルブの場合。

Con flat CF フランジを備えた HVA ゲート バルブは超高真空用途向けに評価されており、金属間のボンネット シールにより 10 ^-10 Torr の範囲の到達圧力を達成できます。 HVA ゲート バルブのヘリウム リーク レートは 1.5 x 10 ^-10 Torr l/秒で、バルブを開いた状態で 200 °C、バルブを閉じた状態で 150 °C までベーク可能です。

開位置および閉位置センサーは空気圧アクチュエータに組み込まれており、すべての HVA 空気圧ゲート バルブに標準装備されています。これらのオン/オフ スイッチは、インジケータ ライトを作動させるために使用したり、より複雑または自動化された真空保護システムを制御するために使用したりできます。空気圧バルブ用のソレノイドは DC24 V と AC120 V の種類があり、別売りです。当社が取り扱うすべての HVA ゲート バルブの修理キットをご利用いただけます。

HVA ゲート バルブは、次のサイズの高真空および超高真空の種類で利用可能です。

• クイックフランジサイズ KF-16、KF-25、KF-40、KF-50
• ISO LF フランジ ISO-63、-100、-160、-200、-250、-320、-400、および -500 サイズ
• ASA ANSI サイズ 2、4、および 6 インチ サイズ
• コンフラット (CF) 1.33、2.75、3.375、4.5、6、8、10、12、13.25、14 インチ サイズ

インストールマニュアルと操作説明書はダウンロードで入手できます。