Ideal Vacuum AnalyzaVAC TM残留ガス分析装置 (RGA)、1 ～ 100 AMU、電子増倍管およびファラデー カップ検出器、AutoZ+ 基本ソフトウェアが含まれています。
このリストは、次のコンポーネントを備えた Ideal Vacuum AnalyzaVAC 残留ガス分析装置の販売です。
- 理想的な真空分析VAC RGA
- 1〜100 AMUのスキャン範囲。
- 電子増倍器信号増幅器。
- ファラデーカップ検出器。
- 大まかな真空測定が可能なピラニゲージを内蔵。
- 高真空測定用の熱陰極イオンゲージを内蔵しています。
- Conflat (CF) 2.75 インチ取り付けフランジ。
以下も含まれます: 24 VDC ユニバーサル電源 (120/240 VAC 入力) と 6 フィートのケーブル。 USB から DB-9 オス RS-232 シリアル通信ケーブル、長さ 1 フィート。 DB-9 オス - メス RS-232 シリアル延長ケーブル、長さ 25 フィート。 CF 2.75インチ銅ガスケットとボルトキット。 Ideal Vacuum AutoZ +基本バージョンソフトウェア。 Ideal Vacuum AnalyzaVAC RGA は、真空チャンバー内の残留ガスの識別と濃度の判定に役立つコンパクトな質量分析計です。リーク検出、ガス放出分析、コーティングおよびエッチング アプリケーションにおける供給ガスの品質管理、プロセス トラブルシューティングなどに使用できます。AnalyzaVAC RGA プローブにはピラニ ゲージとベヤード アルパート熱陰極ゲージが組み込まれており、不適当な高圧での動作から保護し、システムの複雑さを軽減してコストのかかるメンテナンスを回避します。各システムには、四重極プローブ、制御および通信ユニット (CCU)、Microsoft Windows® 10 用の AutoZ
+ Basic ソフトウェア、および電源と通信に必要なすべてのケーブルが付属しています。
AnalyzaVAC は、現場で交換可能な 2 つのトリウム イリジウム フィラメントから熱電子放出される電子を使用して、プローブの先端にあるガスをイオン化することで動作します。結果として生じる陽イオンは、四重極フィルターに適用されるさまざまな無線周波数と DC 電圧の組み合わせを使用して、質量電荷比によって分離されます。正に帯電したイオンは四重極の中心を移動し、電子増倍管によって増幅されるか、プローブの端にあるファラデー カップ検出器によって直接検出されます。各ガスは、その元素の自然な同位体存在比と RGA の高エネルギー電子イオン化によって生じる分子の断片化を組み合わせた、独自のスペクトル フィンガープリントを生成します。
RGA は、1×10
-6 Torr 未満の全圧、最適には約 2×10
-7 Torr で連続動作するよう設計されています。RGA を高圧で動作させると、イオン化装置、フィラメント、四重極の寿命が大幅に短くなります。内蔵の圧力ゲージは、RGA への致命的な損傷を防ぐために、内部と AutoZ
+ソフトウェアの両方で使用されます (ほとんどの場合)。
RGA プローブは高真空チャンバーに直接取り付けることもできますが、チューブと遮断バルブを使用して RGA をチャンバーから分離することがベスト プラクティスです。これにより、チャンバーの通気時や新しいサンプルまたは機器の導入時に汚染や偶発的な損傷を防止できます。RGA を使用して低真空チャンバー内のガスを測定する場合は、RGA を小さな別のチャンバーに保管し、リーク バルブを介してメイン チャンバーに接続された独自の高真空ポンプ システムを使用する必要があります。Ideal Vacuum は、最大 1000 torr の圧力でガスを安全に測定するために必要なすべての機器を備えた RGA キットを提供しています。
すべての AnalyzaVAC プローブには、1.5×10
-12 Torr
*までの繰り返し可能で定量的かつ直線性の高い検出を提供するファラデー カップ検出器が付属しています。オプションの電子増倍管により、定性測定の感度が驚異の 6×10
-15 Torr
*まで向上します。標準検出器と電子増倍管付き検出器はどちらも、適切に較正すると、10% ピーク高さで 0.5 AMU (またはそれ以上) の解像度を備えています。
Ideal Vacuum の有効期限のない基本 AutoZ
+ソフトウェアは、デスクトップまたはラップトップ コンピューターから AnalyzaVAC RGA システムを制御できる Windows 10 アプリケーションです。AutoZ
+ を使用すると、オペレーターはすべての取得パラメータを制御できます。AutoZ
+はリアルタイムのデータ ストリーミングを提供し、収集したデータをアナログ スペクトル、質量ヒストグラム、および時間の経過に伴う傾向として表示できます。不要なピークやスペクトルの寄与を除去するために、ユーザーは以前に収集したスペクトルを使用してデータをベースライン化できます。
Ideal Vacuum のオプションのプレミアム AutoZ
+ソフトウェア アップグレードには、基本ソフトウェアのすべての機能が含まれており、高度なデータ ロギング、平均化、Ideal Vacuum の物質ライブラリへのアクセスによるスペクトル フィッティング、ライブラリへの化合物の追加機能が追加されます。プレミアム AutoZ
+ は、強力な最小二乗アルゴリズムを使用して、一般的な残留ガスの部分圧を計算し、現在表示されているスペクトルへの寄与を識別し、未知のピークを分離します。プレミアム ソフトウェアは毎年更新する必要があります。そうしないと、基本バージョンに戻ります。
RGA アプリケーションの例:- リークテスト
- プロセス監視
- ポンプダウンとベークアウトの監視
- 真空診断
- 供給ガス品質管理
- ガスおよび汚染物質の識別
ご注文前に必ずお読みください:
* AnalyzaVAC プローブは精密機器です。プローブの不適切な使用、誤った取り扱い、または長時間の高圧操作は、プローブを汚染したり損傷したりする可能性があります。したがって、プローブは元のパッケージから取り出した後は保証されません。その他のコンポーネントについては、製品の欠陥に対する保証となります。
RGA の最適な総動作圧力は、ほとんどのガスに対して 2×10 -7 Torr です。長時間にわたって高圧で動作させると、プローブの早期劣化、ゲインの損失、スペクトル ドリフト、フィラメントとイオン化装置の焼損が発生します。RGA は、次の圧力領域で、対応する時間だけ使用できます。
10 -4 Torr、数時間
10 -5 Torr、数日
10 -6 Torr、数か月
10 -7 Torr、数年
10 -8 Torr、無制限
フィラメントとイオナイザの煤汚染を防ぐために、有機蒸気は大気ガスの 2 倍低い圧力に保つ必要があります。フィラメントとイオナイザのガラス堆積を防ぐために、シリコン蒸気は大気ガスの少なくとも 10 倍低い圧力に保つ必要があります。腐食性蒸気も、通常のガスよりも RGA にダメージを与えます。圧力を適切に管理することで、RGA を使用してこれらのガスを測定でき、費用のかかる修理は必要ありません。
**窒素ガス、5 秒の滞留時間、1 amu フルピーク幅、10% の高さ、70 eV の電子エネルギー、6 eV のイオンエネルギー、2 mA の電子放出で測定し、ベースライン ノイズから 3 つの標準偏差を計算します。
