理想真空 デルタ-P アンチサックバックシステム保護弁
NW KF-25フランジ、DC24Vソレノイド付き
デルタ P バルブ (DPV) は、粗真空システムまたは高真空システムの重要なコンポーネントです。 DPV は、サックバック防止機能を備え、停電時に機械式補助ポンプから真空システムを隔離します。これにより、真空システムへの逆流や汚染物質 (ロータリー ポンプ オイルやスクロール ポンプ チップのシール粒子など) の移動が防止されます。また、高真空ポンプを損傷から保護します。
特徴:- 停電時にチャンバーの真空圧を維持
- 停電時自動閉(約25ms)
- 真空が回復すると自動的に再び開きます
- 動作するために追加の電源やガスは必要ありません
- 周囲雰囲気と粗引きポンプの真空レベルの差圧で作動
- 高真空ポンプおよび/または真空チャンバーシステムを機械ポンプから隔離します。
- 真空システムへの油や粒子状汚染物質の逆流や移動を防止します。
- 機械式粗引きポンプの入口側に直接取り付けます
- コンパクトなデザイン - 直径 3 インチ、長さ 4-1/4 インチ (KF50 フランジ端で 5 インチ)
- 垂直、水平、反転など、どの向きでも動作します。
- 4 つの利用可能なフランジ接続サイズ: KF16、KF25、KF40、および KF50
- KF-50 より小さいフランジ サイズの非制限流量
- 3 つのソレノイド電圧オプション: 110VAC、220VAC、または 24VDC
- 米国で真空対応素材のみを使用して製造
- 10,000 サイクルを超える平均故障間隔 (MTBF) 評価
- すべてのバルブは出荷前に 1x10-9 atm cc/秒のヘリウムでリークテストが行われます
- 清潔で乾燥した空気または不活性ガスで使用してください。
デルタ P バルブは、周囲雰囲気と粗引き/逆引きポンプの真空レベルの間の差圧 (デルタ) 圧力 (P) で動作します。停電時には、機械式ポンプの入口フランジから大気への排気が行われ、破片が機械式ポンプに向かって押し出されます。これにより、ポンプの再起動時に、望ましくない物質がシステムに流入するのを防ぎます。
DPV は、機械式ポンプの入口フランジに直接取り付けるコンパクトなインライン ユニットです。 KF-16、KF-25、KF-40、または KF-50 真空フランジ、および 120 VAC、220 VAC、または 24 VDC のソレノイド電圧で使用できます。 DPV は、追加費用なしで、両端に異なるフランジを備えたカスタム構成で提供できます (お問い合わせください)。
DPV の閉鎖速度は約 25 ミリ秒で、他の隔離バルブよりも高速です。これは、当社の先進的なピストン設計により移動質量が軽減されたためです。 KF-50 より小さいフランジ サイズでは流れが制限されません。高い排気速度と KF-50 入口フランジを備えたポンプでは、コンダクタンスがわずかに低下することがあります。 DPV はどの向きでも取り付けることができます。垂直、水平、または反転。
DPV を構成するすべての部品は、真空システムの互換性と寿命を考慮して慎重に選択されています。お客様にお届けする Delta-P バルブが最高品質であることを保証するため、すべての製造と組み立ては米国ニューメキシコ州アルバカーキにある自社の製造施設で行われます。さらに、すべての Delta-P バルブはヘリウム漏れ検査を受けており、当社の厳格な品質管理を満たしている必要があります。当社の施設から出荷される前に基準を満たしている必要があります。 Delta-P バルブは納品後、新規または既存のシステムにすぐに設置できる状態になっています。
デルタ P バルブは、清浄な乾燥空気または不活性ガスでの使用を目的としています。腐食性ガスまたは有毒ガスを使用または生成するプロセスの場合、バルブのソレノイド ブリーザー ベントを、施設の排気口へ出る排気ラインに置き換える必要があります。