説明

これは、予算が限られた真空アプリケーションに最適な、エントリーレベルのExploraVAC TVAC 熱真空テストチャンバーシステムです。これは、16 インチキューブの溶接ステンレススチール製真空チャンバー、ビューポート付きのヒンジ付きステンレススチール製ドア、および 2.4 立方フィートの容積を備えた、完全に統合されたターンキー式の粗真空システムです。このシステムには、Edwards nXDS10i ドライスクロール粗真空ポンプ、およびチャンバーの真空圧測定を提供する統合型 Convectron ゲージコントローラーが含まれています。このエントリーレベルのExploraVACシステムは、7 mTorr の到達圧力に達することができ、重量は 564 ポンドで、単相、208 ～ 240 VAC、50/60 Hz、17 A が必要です。

粗真空チャンバーは、多くの科学プロセスや工業プロセスで使用されています。多くの敏感なサンプルや製品は、劣化を防ぐために真空状態で保管する必要があります。多くの科学機器は、空気やその他のガス粒子の干渉や吸収を避けるために真空状態で行われます。真空スパッタリング、物理蒸着 (PVD)、化学蒸着 (CVD) などの真空コーティングプロセスは、部品や基板に非常に薄い機能、保護、または装飾のコーティングを施すために使用されます。粗真空は、凍結乾燥やプラスチックやエポキシの硬化などで、サンプル、前駆物質、または高純度部品から水やその他の残留蒸気を除去するためにも使用できます。粗真空は、熱処理プロセス中に不純物の除去を強化し、高温の酸素による基板の損傷を防ぐために使用されます。

ExploraVACエントリーレベルシステム構成:

16インチキューブ溶接ステンレススチールチャンバー
ビューポート付きステンレススチールフロントチャンバードア
Edwards nXDS10i ドライスクロール真空ポンプ
数量 2 LF-200 サイドポート (チャンバーの両側からさまざまなフィードスルーを追加できます)

ExploraVACシリーズの TVAC 熱真空チャンバープロセスおよびテスト機器は、正確な環境を作り出し、オペレーターがチャンバー内の圧力と温度を完全に制御できるようにします。これらはイノベーションを念頭に置いて構築されています。製品の研究開発段階で真空内でプロトタイプデバイスを探索したり、小バッチ処理で正確なプロセス制御を行ったりできます。これらの熱真空テストチャンバー機器は、製品が真空と温度の極度のストレス要因にさらされるときに、ユーザーが実験を迅速にカスタマイズして製品分析および診断データを収集できるように設計されています。

ExploraVAC TVAC 熱真空テストチャンバーは、多数の利用可能なシステムオプションを使用して完全に構成可能です (上記の製品コンフィギュレータを参照)。

ExploraVACシステム構成オプション:

粗引きポンプ（乾式スクロールまたは乾式多段ルーツ、各種速度）
高真空（さまざまな速度）
完全な真空圧力制御
加熱・冷却プレート
チャンバー壁加熱
統合チャンバー照明
閉ループ冷却またはLN ₂極低温冷却システム
自動ソフトウェア制御
リモコン操作
パージポート、チャンバーシェルフ、その他

ExploraVACには、(内部) 立方サイズ (12、16、20、または 24 インチ) の溶接ステンレス鋼チャンバーや、(内部) 立方サイズ (9、12、または 24 インチ) の Ideal Vacuum Cube™ モジュラーチャンバーなど、幅広い真空チャンバーが用意されています。チャンバーは、アルミニウム製またはステンレス鋼製のドアで構成でき、ビューポートの有無を選択できます。

ExploraVAC TVAC システムキャビネットには、すべてのチャンバー機能を制御するカラー LED プッシュボタンインターフェイスを備えた、便利な角度のフロントパネルコントロールサーフェスがあります。PID コントローラとゲージは、ユーザーが選択したオプションに応じてインストールされます。PLC は、効率的なポンプダウンサイクルのためのポンプとバルブのシーケンス、機器の損傷を防ぐための安全インターロックなどのシステム機能を管理します。前面からアクセスできる NEMA スタイルの組み込みエンクロージャには、システム操作に必要な電子機器が収納されています。

LF-200 の広々としたサイドポートには、デバイス監視や衝撃試験用の電子フィードスルー、放射加熱や温度差試験用の赤外線ランプアレイ、電離放射線試験用の紫外線ランプアレイなど、ユーザーが選択または設計したアクセサリを取り付けることができます。このシステムは、キャビネットの外側に真空ポンプを追加することで、任意の上昇率が得られるようにカスタマイズできます。

キャビネットの背面には、チャンバーの通気、ポンプの排気、パージガスオプション用のバルクヘッドフィードスルーパネルがあります。デジタルフィードスルーバックパネルには、 Auto Explor ™ ソフトウェアを使用して Microsoft Windows10 または 11 を実行しているワークステーションまたはラップトップからシステムをリモートで実行するための DB9 コネクタを含む複数のポートがあります。

AutoExplorの (無期限の) 基本バージョン (P1012102) を使用すると、ユーザーはシステムを保護しながらデバイスを手動で制御できます。AutoExplorはポンプを適切に順序付け、特定の要求に対して適切なバルブを自動的に操作します。ユーザーは圧力と温度の設定値、ランプレート、ソーク時間、およびベント (システムにこれらのハードウェアオプションが装備されている場合) をプログラムできます。ソフトウェアはリアルタイムのグラフィカルデータストリーミングを提供するため、ユーザーはシステムの動作を視覚化できます。AutoExplorは内部予防保守スケジュールを維持し、システムサービスが期限切れになるとユーザーに通知します。たとえば、スクロールポンプのチップシールの交換が必要な時期やセンサーのキャリブレーションの時期を通知します。これにより、システムを最高の動作パフォーマンスに保つことができます。また、デバイス障害が発生した場合は、障害およびエラーメッセージと具体的なトラブルシューティング情報が提供され、問題をできるだけ早く修正できます。

AutoExplorのプレミアムバージョン (P1012100) には、基本ソフトウェアパッケージ (上記) のすべての機能に加えて、自動レシピ制御、データロギング、およびログエクスポート機能が含まれています。複雑なテストレシピをステップバイステップのプロセスとして作成でき、各ステップで複数のデバイスのオン/オフ状態、セットポイント、およびランプレートを制御できます。各レシピステップの 1 つまたは複数の終了条件は、論理演算子を使用して設定できます。プレミアムバージョンでは、レシピデータログファイルから環境 TVAC テストレポートをすばやく生成できます。ログを確認して、対象のプロセスパラメータが達成されていることを確認できます。プレミアムバージョンには、 AutoExplor IP Clientも含まれています。これにより、ソフトウェアは複数の外部ネットワーククライアントを管理できるホストとして使用できます。また、 AutoExplor API (アプリケーションプログラミングインターフェイス) も含まれています。これにより、科学者またはプログラマは、 AutoExplor のソフトウェアインターフェイスを使用せずに、 ExploraVac機器を既存のソフトウェアテストスイートに統合できます。プレミアムバージョンは毎年更新する必要があります。そうしないと、基本バージョンに戻ります。

ExploraVACシリーズの TVAC 圧力および温度制御テストチャンバーは、多くの製品テスト要件に最適なソリューションです。

サンプルアプリケーション