理想的な真空 UltraLock 超高真空 UHV 手動ゲートバルブ Con flat CF 6.0 インチ フランジ、ボール溝ロック、バイトン ゲートおよび銅製ボンネット シール、304 ステンレス鋼。
CF 6.0 インチ ボルトダウン フランジ、5/16-24 UNF ネジ付きこれらの Ideal Vacuum UltraLock™ 手動ゲート バルブには、5/16-24 UNF ブラインドタップ穴付きの Con flat CF 6.0 インチ (DN CF100) 真空フランジが付いています。これらは超高真空 (UHV) に対応しており、ISO 3669:2020 に記載されているナイフエッジ フランジの真空技術規格に準拠しています。
当社の新しい UltraLock シリーズのプレミアム手動真空ゲート バルブは、革新的なボールと溝のロック機構を使用して構築されており、保守が必要になるまでの標準寿命は 100,000 サイクルです。ゲートとバルブ本体は耐腐食性の 304 ステンレス鋼で作られています。当社の UltraLock シリーズの手動ゲート バルブにはすべて、目に見える外部位置インジケーター (アクチュエーターの下に便利に取り付けられた白いリング) が含まれています。
UltraLock ロック機構:
当社の UltraLock 超高真空ゲート バルブは、バルブをロックするために独創的なボールと溝の機構を採用しています。バルブ本体の内部には、無潤滑ボール ベアリングを備えたローリング キャリッジがあり、その上にゲートが取り付けられています。バルブが作動すると、キャリッジがバルブ本体の端に到達するまで、キャリッジとゲートが真空ポートに向かってスライドします。これにより、ゲートがポートと同心円状に配置されます。キャリッジに継続的に圧力がかかると、一連のステンレス鋼のボールがキャリッジとゲートの間の深さの減少する溝に乗り、ゲートに外向きの圧力を加えます。この外向きの力により、ゲートが閉じた位置に押し込まれます。外向きの圧力によってゲートの O リング シールがバルブ本体のシール面に押し付けられるため、漏れのないシールが得られます。これらのバルブは、保守が必要になるまでに 100,000 サイクルの長い寿命を達成するのが一般的です。
UHV バージョンと HV バージョン:
当社の Con flat CF フランジ ゲート バルブは UHV 定格です。ベローズはボンネット プレートに溶接され、無酸素高熱伝導率 (OFHC) 銅シール ガスケットとフランジ ナイフ エッジがボンネット プレートとバルブ本体の間に必要な金属間のシールを形成します。当社の Con flat UHV UltraLock バルブは、リーク量が 3.75 x 10 -10 Torr l/sec 未満と低く、ゲートが開いている状態で 200 °C (ゲートが閉じている状態で 150 °C) までベーク可能です。
当社の KF および ISO-F フランジ ゲート バルブは、ベローズとボンネット プレート シールにバイトン O リングを使用しているため、到達圧力が 3x10 -8 Torr までの高真空 (HV) 用途に限定されます。 KF および ISO-F シリーズの UltraLock バルブのリーク量は 1.5 x 10 -9 Torr l/sec で、150 °C までベーク可能です (バルブが開いているか閉じていても)。
仕様:
当社の理想真空 UltraLock ゲート バルブは、信頼性の高い高真空および超高真空 (UHV) 用途向けに設計されており、多くの場合、クライオ、ターボ、およびイオン高真空ポンプと組み合わせて使用されます。利用可能なサイズには、Conflat CF 2.75、4.5、6、8、10、および 12 インチ サイズが含まれます。 ISO-F DN -63、-100、-160、-200、-250、-320、-400、-500、および -630 サイズ。クイック フランジ サイズ KF-40 および KF-50。
詳細については、ダウンロードを参照してください。